Самарска

Номер патента: 259209

Опубликовано: 01.01.1970

Авторы: Дмитриев, Дыньков, Евтеев, Ленинградский, Самарска

МПК: H05K 3/14

Метки: микросхем, напыления, пленочных

...наподвижных платформах установлены испарнтели маски-трафареты и подложки, разделенные экранирующей перегородкой.В известных устройствах для наблюденияза раоотой испарителей используют прозрачные окна, которые в процессе напылениясильно загрязняются.С целью улучшения визуального наблюдения за работой каждого из испарителей в предлагаемом устройстве используется перекрывающий смотровые окна прозрачный цилиндр,поворачиваемый в процессе напыления при помощи биметаллического элемента.На фиг. 1 изображен блок испарителей; нафиг. 2 - биметаллическая петля с вилкой; нафиг. 3 - приводной механизм.Предлагаемое устройство работает следующим образом,Каждый блок 1 испарителей изолирован огсоседних блоков перегородкой, верхняя частькоторой выполнена в...