Катод для реактивного распыления кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
Союз Советских Социал исти цеских,Республикц 424449 ОП ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ 61) Зависимое отс присоединением заявки Лев ооударотвеииыи комитетСовета Министров СССРоо делам иаооретеиийи открытий 32) Приоритет -публиковано 15,05.7 юллетень Хе 1(088,8) Дата опубликования гцсацця 20.03."5 2) Авторы изооретения А, Г. Петрик, Э. С, Фалькевич, Л. Я, Шварцман,(54) КА да кремния ос:цествляют вплавленцем тонкого слоя кремния 150 - 100 лксм) в графит цлп нанесением карбида кремния на графит цз парогазовой фазы. Затем наносят слой кремния также цз парогазовой фазы.Прц расположении кремниевого слоя на промежуточном слое карбида кремния получают свободный от трещин ц напряжений кремниевый слой. Вследствие того, что слой кремния наносят цз газовой фазы, графцтовая основа покрывается кремнием со всех сторон, что исключает цеобходцмость маскирования обратной стороны кремниевого катода.Использование таких монолитных катодов в установках катодного распыления позволяет повысить их производительность ц выход годной продукции.Предмет цзобрстеция нцякремдичеи грточи100 -2,промтолц 1 ро Изобретение относится к области техцолоии полупроводниковых материалов и прибоов. Кремниевые катоды используются в,уставовках реактивного распыления для получе- Ь ция тонких слоев двуокиси кремния, ццтрида кремния, легированных поликристаллцческих кремниевых слоев и пассивации поверхности полупроводниковых приборов.Известен катод для реактивного распыления, представляющий собой графитовую основу, покрытую слоем кремния. Однако вследствие различных коэффициентов линейного расширения кремция и графита, а также различия температурной зависимости этих коэффициецтог такие катоды имеют трещины на поверхности и малый срок службы.С целью увеличения срока службы катодапредлагают располагать между кремниевым слоем ц гр афнтовой основой промежуточный 20 слой карбида кремния толщиной в 100 - 600 раз меньше толщины кремниевого слоя. Обычно толщина слоя карбида кремния составляет 5 - 15 лилиНа чертеже показано уст йство катода 25для .реактивного распыления. Он представляет собой графитовую основу 1, промежуточный слой карбида кремния 2 и кремниевый слой 3.Образование промежуточного слоя карби- ЗО Катод для реактивного распыления кремца графцтовой основе, покрытой слоем гия, отличаюсцийся тем, что, с целью увегця срока службы, между слоем кремния афцтовой основой расположен промежуый слой карбида кремния толщиной в 600 раз меньше толщины слоя кремния.Катод по и. 1, отличи(видайся тем, что ежуточцый слой карбида кремния имеет ипу 5 - 15 л 1 кль424449 Составитель Л. ШварцманРедактор Л. Новожилова Техред 3. Тараненко Корректор В. Г ПодписноСССР Тип, Харьк. фил, пред. Пат аказ 69/282 Изд.1622ЦНИИПИ Государственного кпо делам изобрМосква, Ж, Р Тираж 875митета Совета Министртений и открытийаушская наб., д. 4/5
СмотретьЗаявка
1607659
А. Г. Петрик, Э. С. Фалькевич, Л. Я. Шварцман, В. М. Школьников, В. И. Кимарский, Е. Г. Завь лец, А. П. Кауфман
МПК / Метки
МПК: C23C 14/34, H01J 23/04
Метки: катод, кремния, распыления, реактивного
Опубликовано: 15.05.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-424449-katod-dlya-reaktivnogo-raspyleniya-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Катод для реактивного распыления кремния</a>
Способ получения слоев карбида кремния
Номер патента: 561331
Опубликовано: 25.10.1977
Авторы: Белый, Гуманский, Соловьев, Ташлыков, Тишков
МПК: B01J 17/30
Метки: карбида, кремния, слоев
...- увеличениетолщины слоя карбида кремния и его од нородности.Поставленная цель достигаетсятем, что на поверхность монокристаллакремчия предварительно наносят слойуглерода толщиной 300 - 800 1, а бом бардировку ионами ведут импульсамидлительностью 1 - 20 мсек с частотойследования 15 - 20 импульсов в 1 сек.Способ поясняется чертежом,Ионы углерода, используемые для З 0 легирования, получают из графитовых561331 формула изобретения 1 О бородоваКорректор СПодписноенистров СССРийВ 4 Й Составитель ВезТехреп С,БецаТираж 947комитета Совета Иибретений и открытРаушская наб., ужгород, ул. Пр Л.Жаворонков Редакт 1/7 ИПИ Государстве по дел 113035 МоскваЗаказ ого изо Жт, г лиал ППП Пате оек электродов 1 и 2, разделенных изоляторами 3, ускоряются в...
Способ получения слоев карбида кремния
Номер патента: 1398484
Опубликовано: 30.10.1994
Авторы: Водаков, Мохов, Рамм, Роенков
МПК: C30B 23/02, C30B 29/36
Метки: карбида, кремния, слоев
СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ СЛОЕВ КАРБИДА КРЕМНИЯ путем конденсации паров источника на подложку карбида кремния в инертной атмосфере при температуре выше 1800oС и температурном градиенте, перпендикулярно поверхности подложки, отличающийся тем, что, с целью повышения морфологического и структурного совершенства слоев, конденсацию паров ведут на подложку с одной или несколькими выступающими квадратными площадками высотой 5 - 200 мкм, площадью 0,01 - 1,0 мм2 при дополнительном радиальном температурном градиенте 10 - 50 град/см, скорости роста не более 100 мкм/ч в течение не менее 10 мин.
Способ термической обработки двухслойных горячекатаных листов с основным слоем из низколегированной стали и плакирующим слоем из коррозионно-стойкой стали
Номер патента: 1668428
Опубликовано: 07.08.1991
Авторы: Белоконь, Быков, Карпушин, Киселев, Мыцик, Ногина, Родионова, Санчес-Болинчес, Столяров, Устименко, Хорошилов, Цуккер, Шульженко
МПК: C21D 9/46
Метки: горячекатаных, двухслойных, коррозионно-стойкой, листов, низколегированной, основным, плакирующим, слоем, стали, термической
...в муфельных печах, точность определения температуры составляла +10 С. Для каждой из исследованных плавок находили температуру отжига, обеспечивающую оптимальное сочетание прочности, пластичности и ударной вязкости. Затем методами регрессионного анализа получили линейную зависимость оптимальной температуры отжига от содержания углерода.Применение температур отжига ниже вычисленных по уравнению приводит к фор- . мированию в стали основного слоя структуры, состоящей из феррита и мелких карбидов по границам ферритных зерен. Та-. кая структура характеризуется низкой пластичностью и ударной вязкостью. При высоком содержании углерода необходимо проводить отжиг не ниже Ас 1, независимо от уравнения. Температура отжига ниже Ас 1 приводит...
Способ изготовления труб из кремния или карбида кремния и устройство для его осуществления
Номер патента: 593646
Опубликовано: 15.02.1978
МПК: B01J 17/32
...ета Совета Мииистровй и открьггидушскаи иаб., д, 4/5 го комит изобретеи ЖЗЬ, Р Государствеипо делам 35, Москва ППППа тъ,г.У род, уя. или ет токовые контакты, снабженные патрубками для ввода и вывода газов, содержащих кремний или карбид кремния. Кожух может быть снабжен средствами ввода и вывода инертного газа, чтобы защитить графитовый носитель от обжига во время нагревания.На чертеже изображено предлагаемое устройство. Оно содержит трубчатое полое тело из графита 1 с токовыми контактами по бокам 2 и 3, которое используется в качестве .носителя для внутреннего осаждения полупроводникового материала, Для этой цели графитовая трубка 1 снабжена затворами для впуска 4 и выпуска 5 газа для реакции. Для защиты тлеющего графитового тела 1 во...
Способ получения частиц кремнезема с покрытием из углерода для производства кремния или карбида кремния в электропечи
Номер патента: 1080740
Опубликовано: 15.03.1984
Автор: Герт-Вильгельм
МПК: C01B 33/02
Метки: карбида, кремнезема, кремния, покрытием, производства, углерода, частиц, электропечи
...противотоком водяного пара и инертного газа. жидком виде с температурой 250 ОС,кипящий слой используют при 500-700 Си полученные частицы кремнезема спокрытием иэ углерода при 600-800 Сотводят иэ нижней части кипящегослоя, причем частицы, покрытиекоторых содержит углерод в количестве, меньшем стехиометрического, смешивают с исходным кремнеземом ирециркулируют в кипящий слой.Кипящий слой создают и поддерживают подачей противотоком водяногопара и инертного газа,На чертеже представлена установкадля осуществления предлагаемого способа.В реактор 1 по трубопроводу 2вдувают кремнезем с температурой600-800 ОС. При помощи водяного параи инертного газа, подаваемых раздельно по трубопроводам 3, 4, создаетсяи поддерживается кипящий слой 5...
Предыдущий патент: 361716
Следующий патент: 237035
Случайный патент: Способ контроля состояния газовой защиты при автоматической дуговой сварке