Способ изготовления корпусов полупроводниковых приборов
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
бнбшоОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВМДЕТЕЛЬСТВУ 1 1423205 Союз Советских Социалистических Республик(32) ПриоритетОпубликовано 05.04.74. Бюллетень М 13 Гасударственный комитет Совета Министров СССР оо делам изобретений и открытий(72) Авторы изобретения П, Куракова, А. И, Курносов и В. А. Мозгалев,(71) Заявител 54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КОРПУСОВ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПРИБОРОВ2 металлокварцевых- 5"Самин. едмет изобретения Изобретение относится к технологии производства полупроводниковых приборов.Известные способы изготовления металло- кварцевых конструкций корпусов полупроводниковых приборов заключаются в последова тельном нанесении на кварц двух металлических слоев, например, из молибдена и золота с последующей пайкой; либо в металлизации кварца гидридом титана с последующим восстановлением титана в вакууме и пайкои ин дием или оловом. При этом наличие в спаях больших остаточных напряжений приводит к потере вакуумной плотности и разрушению спаев при эксплуатации в различных климатических условиях. 15Предлагаемый способ получения металло- кварцевых корпусов полупроводниковых приборов, обладающих малой паразитной емкостью и высокой механической прочностью, заключается в том, что на поверхность кварце вых конструктивных элементов наносят слой смеси из трехокиси молибдена и окиси никеля, например, в соотношении 5: 1, а затем припаивают к нему металлические детали мягким припоем. 25Кварцевые конструктивные элементы предварительно обрабатывают в бо 1 О-ном растворе перекиси водорода в течение 20 - 30 мин и промыва 1 от в проточной деионизованной воде, имеющей уд, сопротивление 10 Мом, После З 0 этого обрабатыва 1 от кварцевые элементы в разбавленной плавиковой кислоте для удаления поверхностного слоя кварца и придания ему шероховатости и промывают в деионизованной воде.На поверхность (торцовую или боковую в зависимости от вида корпуса) кварцевых элементов любым способом наносят слой водной суспепзии из порошков трехокиси молибдена и окиси никеля, например, толпцшой от 5 до 60 мкм (весовое соотношение порошков равно 5: 1).Нанесенный на поверхность кварца слой суспензип сушат при комнатной температуре и затем восстанавливают в атмосфере водорода при температуре 900 С в течение 10 - 15 мин.Соедигение ме 1 аллических деталеи из ковара или меди с кварцевыми элементами проводится путем пайк 11 в среде водорода. В ка. честве припоя моакет быть использован припой типа ПСр 2,5.Скорость охлаждениякомпозиций после пайки 3 Способ изготовления корпусов полупроводниковых приборов путем пайки в водороде кварцевых конструктивных элементов с ме423205 Составитель А. Мазур Техред Е. Борисова Редактор Т. Орловская Корректор Н. Аук Заказ 2216/15 Изд.699 Тираж 760 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 таллическими, о т ли ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения герметичности корпуса, на поверхность кварцевых конструктивных элементов предварительно наносят слой трехокиси молибдена и окиси никеля в соотношении5: 1 толщиной 5 - 60 мкм.
СмотретьЗаявка
1712687, 09.11.1971
Ю. П. Куракова, А. И. Курносов, В. А. Мозгалев
МПК / Метки
МПК: H01L 23/06
Метки: корпусов, полупроводниковых, приборов
Опубликовано: 05.04.1974
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-423205-sposob-izgotovleniya-korpusov-poluprovodnikovykh-priborov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления корпусов полупроводниковых приборов</a>
Предыдущий патент: Механизм формовки крючка держателя тела накала коммутаторных ламп
Следующий патент: Способ маркировки элементов интегральных схем
Случайный патент: Способ определения температурных границ зоны закаливания растений к низким температурам