Устройство для измерения толщины металлических

Номер патента: 1025287

Опубликовано: 27.05.2012

Авторы: Гурский, Зеленин, Кисляк, Конюшенко

МПК: H01L 21/28

Метки: контактов, полупроводниковых, приборов

Способ изготовления контактов полупроводниковых приборов, включающий нанесение алюминия в места формирования контактов, создание контактных площадок и присоединение золотого вывода, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности контактов путем исключения образования интерметаллических соединений, на слой алюминия дополнительно наносят пленку алюминия с добавлением сурьмы в количестве 0,1-0,5 вес.% и после присоединения вывода контакты обрабатывают в среде водорода при температуре 623-723 K в течение 0,25-4,0 ч.

Номер патента: 458062

Опубликовано: 25.01.1975

Авторы: Морозов, Петров

МПК: G01R 1/067, G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: диэлектрических, емкостных, зонд, полупроводниковых, структур, характеристик

...лемент 3, с 2. аботает сл я емкостных харак х и полупроводник полусферу 1, втулк оединяющий полусф м образом,Изобретение относится к электронике и может использоваться для исследования полупроводниковых и диэлектрических структур.В настоящее время С(Р) -характеристики снимаются при помощи контактных металлических пленок, напыленных или осажденных на поверхность структуры полупроводник-диэлектрик.Однако использование известных контактных пленок не обеспечивает контроля пара метров образца до напыления в процессе обработки и невозможность снятия С-характеристик в любой точке образца. Помимо этого, сам процесс напыления пленочного контакта может изменять свойства структуры, что 1 затрудняет процесс исследования.Целью...

Номер патента: 397857

Опубликовано: 01.01.1973

МПК: G01R 31/26, H01L 21/66

Метки: контактов, надежности, омических, полупроводниковых, приборов

...характеристики р-и перехода прибора. При наличии нарушений омцческого контакта наблюдаются высокочастотные деформации вольт-амперной характеристики. Импульс напряжения, возникающий на контролируемом прибора при пропусканци через397857 ваемые на входы нуль-органа 9, не совпадают.Нуль-орган 9 срабатывает, возбуждая исполнительное устройство 12. В случае посто янного обрыва на выходе генератора 1 формируется прямоугольный импульс и подчеркивается высокочастотная составляющая спектра.В случае постоянного короткого замыкания 10 перехода исследуемого прибора работает блокобнаружения постоянных коротких замыканий 10, выходной сигнаал которого через логическую схему 11 возбуждает исполнительное устройство 12,15 Устройство контроля...

Номер патента: 536442

Опубликовано: 25.11.1976

Авторы: Денис, Каружа, Скучас, Ярмалис

МПК: G01R 29/14

Метки: зонд, исследования, поля, сверхвысокочастотного, структуры

...тока. Величина измснеция сопротивления зависит от ориентациипродольной оси перемычки 3 относительно на 5 правления электрическоц со тавляющсй сверхвысокочастотного поля.Для измсрсци 5 Измспсп:я сопротпвлсп 11 япредложсцного зонда через него пропускаютпостоянный по велцчпцс ток, а падение напряжения на зонде, пропорциональпос изменению536442 Составитель Г, ЧелейТехред Е. Подурушина Корректор А. Галахова Редактор Н. Данилович Заказ 3015/3 Изд,377 Тираж 1029 Подписное ЦИИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапунова, 2 его сопротивления, регистрируют индикатором, Направление электрической составляющей сверхвысокочастотного поля...

Номер патента: 1569912

Опубликовано: 07.06.1990

Авторы: Немцев, Немцева, Симонов

МПК: H01J 37/28

Метки: диаметра, зонда, микроскопе, растровом, электронного, электронном

...переходной области на этихуровнях. Поэтому измеряют протяженность участка нарастания сигнала отуровня Я, + 0,3(Б - Б) до уровня1 Б + 0,69(Я - Я) на резком участке переходной области (т.е. времяпрохождения зондом расстояния, равно 55го параметру 6 в распределенииГаусса),При этом с увеличением энергииэлектронов зонда РЭМ не сказывается расширение области взаимодействияпервичных электронов с краями вольФрамовой пленки, и точность определениядиаметра зонда не изменяется,П р и м е р. Для измерения диаметра электронного зонда изготавливаютспециальный объект, представляющийсобой набор участков вольФрамовойпленки на кремниевой подложке,Изготовление объекта осуществляют методом ФотолитограФии.Приготовленный объект устанавливают в камеру РЭМ и...