Способ автоматического управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
:союзнля -ТЕК 11 ЯЧГКУЯ ПИСАНИЕ ЗОБРЕТ ЕНИЯ АВТОР СИОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ виЛетельстваимое от ав ено 05.с 11.1168254523-26) М, Кл, В 011 1732 Сс 05 с 1 1102вкноелпнение ит 973. БсЬллетень21 15,ДК 669.782.094,1, 2.661 .96:65,011.56:62-98 (088.8) иков я описания 2 Л 111.1973 опхолико Авторы зобретен аявите СПОСОБ АВТОМАТИЧЕСКОГО УПРА РОСТА НИТЕВИДНЫХ КРИСТАЛЛОВ ЕНИЯ ПРОЦЕССОМ ИТРИДА КРЕМНИЯ 2 Изобретение относится к автоматическомууправлению процессами высокотемпературног;,газофазного осаждения.Известный способ управления процессом,ыращивания нитевицных кристаллов нитрнда 5 кремния путем стабилизации соотношения расходов азота и пропана на входе в реактор нелает возможности поддеркивать оптимальныеусловия роста нитевидных кристаллов.С целью устранения указанного недостат ка по предлагаемому способу изменяют соотношение расходов азота и пропана на вхолев реактор в соответствии с концентрацией ьолорола в отхолящих из реактора газах.Способ состоит в определении концентрации 15 водорода в азоте, поступающего в зону реакции и концентрации водорода в отходящих иззоны газах, По измеренным значениям коннентрации волорола в газах на входе и вььх- Ле из реакционной зоны автоматически вы числяется количество пропана, необхолимсголля подлеркания требуемой концентрации вэ- Сп лорола в зоне. Эта величина используется сом лля управления расходом пропана в реакци-, крех онную зову. 25 ходоНа чертеже приведена "схема реализацйпот;ссс пРедлагаемогос Снс 1 еоКса - .:-;:. оптсДатчиком 1 измеряесйт конГФйтрайгиФ"войсс- ": нбцТ рола в азоте на вх;оде в реактор ивводится" вре. ее значение в суммируюсцее устройство 2,:ку 30 Лоро ла вволится также текуьцее значение концент. рации волорола в отходящих газах с помощью датчика концентрации . Суммирующее устройство 2 вычисляет текущее значение концентрации водорода в реакционной зоне, когорое сравнивается на элементе сравнения 4 с заданным. Заданное значение концентрации поступает от залатчнка б. Сигнал рассогласования поступает на регулятор, б расхода пропана, который в зависимости от величины и знака рассогласования изменяет расход пропана регулирующим органом 7, что приводит к изменению расхода пропана на входе в реактор 8 и, следовательно, к изменению концентра ции водорола в реакционной вонюче. Текущее значение расхода пропана опрелеляется с помощью датчика раскола пропана 9,Прелмет изобретен с особ автоматического управления процес- роста ннтевилных кристаллов нитрняа ния путем стабилизации соотношения ран азота и пропана на входе в реактор, сасосссисссл тем, что, с целью поддержания мадьных условий роста, . изменяют соотейие расходов азота и: пропана на входе Йтор".всоответствии с концентрацией вода: в отходящих нз реактора газах.380344 Составитель В. Лейбови Техред Г, Дворина Корректор И. Бо Редактор Е, Левин Типография, пр. Сапунова,Заказ 2086/6 Изд. Мз 519 Тираж 678 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прн Совете Министров СССРМосква, Ж, Раушская наб д. 4/5
СмотретьЗаявка
1682545
Авторы изобретени А. Г. Творожников, В. М. Бирюков, А. В. Захаров, В. И. Москвец, В. П. Мухин, В. А. Силаев, В. Н. Федорук
МПК / Метки
МПК: C30B 25/16, C30B 29/38, C30B 29/62
Метки: кремния, кристаллов, нитевидных, нитрида, процессом, роста
Опубликовано: 01.01.1973
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-380344-sposob-avtomaticheskogo-upravleniya-processom-rosta-nitevidnykh-kristallov-nitrida-kremniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ автоматического управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния</a>
Предыдущий патент: Ан ссср
Следующий патент: H, ударно-вибрационная дробилка
Случайный патент: Способ получения 3 -хлор-24r-этилхолест-5-ен-4 -ола