Москвец
Способ автоматического управления процессом роста нитевидных кристаллов нитрида кремния
Номер патента: 380344
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Авторы, Бирюков, Захаров, Москвец, Мухин, Силаев, Федорук
МПК: C30B 25/16, C30B 29/38, C30B 29/62 ...
Метки: кремния, кристаллов, нитевидных, нитрида, процессом, роста
...волорола в газах на входе и вььх- Ле из реакционной зоны автоматически вы числяется количество пропана, необхолимсголля подлеркания требуемой концентрации вэ- Сп лорола в зоне. Эта величина используется сом лля управления расходом пропана в реакци-, крех онную зову. 25 ходоНа чертеже приведена "схема реализацйпот;ссс пРедлагаемогос Снс 1 еоКса - .:-;:. оптсДатчиком 1 измеряесйт конГФйтрайгиФ"войсс- ": нбцТ рола в азоте на вх;оде в реактор ивводится" вре. ее значение в суммируюсцее устройство 2,:ку 30 Лоро ла вволится также текуьцее значение концент. рации волорола в отходящих газах с помощью датчика концентрации . Суммирующее устройство 2 вычисляет текущее значение концентрации водорода в реакционной зоне, когорое...