Сплав для изготовления тонкопленочиых

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕ Н ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских 2 бвб Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства-Заявлено 08.71.1971 (,% 166679226-9)с присоединением заявки-М. Кл. Н 01 с 7/02 Комитет по делам изобретений и открытий при Спеете 1 т 1 инистров СССРЗаявитель СПЛАВ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ РЕЗИСТОРОВ52 - 60 34 - 47 1 - 6 ХромКремнийВольфрам Изобретение относится к области материалов для изготовления радиодеталей, используемых в микроэлектронике, в частности тонкопленочных резисторов с определенной температурной зависимостью сопротивления. 5Известен сплав для изготовления тонкопленочных резисторов, содержащий хром, кремний и вольфрам. Однако резисторы, полученные на основе этого сплава, нельзя использовать для термокомпенсации отрица- О тельного температурного коэффициента параметров транзисторов, диодов, ферритов и других элементов схем, так как ТКС этих резисторов хоть и положителен по знаку, но недостаточно велик по абсолютной величине. 15 Кроме того, для получения стабильных резисторов с положительным ТКС10 - зград-) требуется отжиг при высокой температуре (600 в 8 С), который недопустим в случае тонкопленочных резисторов с удельным поверхностным сопротивлением 10 в 2 ом на квадрат, имеющих толщину 700 - 800 А.Цель изобретения - получение резисторов с большим положительным значением темпе д ратурного коэффициента сопротивления, постоянным в диапазоне температур от - (минус) 60 до + 150 С. Это достигается тем, что исходные компоненты сплава взяты в следующих соотношениях (в вес. ос):зо Предлагаемое соотношение компонентов позволяет получить тонкопленочные термокомпенсационные резисторы с величиной ТКС 10 - з град -и высокой стабильностью свойств во времени.Включенные в интегральную схему упомянутые резисторы значительно улучшают ее раоочие характеристики за счет компенсации отрицательной температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов, трансформаторов и других элементов,Г 1 р и м е р. Сплав, содержащий, вес. %; хрома 56, вольфрама 5 и кремния 39, получают сплавлением чистых компонентов (крем ния, хрома и вольфрама) на воздухе в кварцевом тигле с применением высокочастотного индукционного нагрева. Он может быть получен в виде литых пластин, стержней или порошка с определенной крупностью.Для получения резистивных пленок методом вакуумно-термического нанесения сплав используют в виде порошка с крупностью частиц 0,03 - .0,08 мм, испаряемого с вольфрамовой. (танталовой, молибденовой) лодочки, нагреваемой проходящим электрическим током до 1800 - 1900 С, Порошок не376816 Предмет изобретения ХромКремний Вольфрам 52 - 6034 - 47 1 - 6 20 Составитель Е. Ковалева Техред Т, Курилко Корректор О. Усова. Редактор О, Чижова Заказ 332/1081 Изд.466 Тираж 780 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССРМосква, Ж.35, Раушская наб., д. 4/5 Тип. Харьк. фил. пред, Патент прерывно и равномерно подают на нагретый испаритель с помощью вибрационного доза- тора. Испарение осуществляют в вакуумной камере при остаоом давлении 2. 10 - лл рт. ст. При скорости нанесенияо300 - 500 А/мин на ситалловой (СТ - 50 - 1) полированной по 13 - 14 классу подложке, нагретой до 360 в 3 С и находящейся от испарителя на расстоянии 275 м,я, конденси руется пленка, которая непосредственно после нанесения подвергается термостабилизации в вакууме путем 25 - 30 лин выдержки при 360 С, Затем подложка с пленкой охлаждается в вакууме до 300 С и производится напуск воздуха в вакуумную камеру, В качестве контактных площадок наносят двухслойную пленку хром-медь. Получают резистор, имеющий следующиепарамерты: удельное сопротивление (при толщине 800 А) 50 ол/квадрат, температурный коэффициент сопротивления в интервале 20 - : 125 С 1,8 10 "град-; удельная мощность рассеяния не менее 2 вт/см. Сплав для изготовления тонкопленочных 1 О резисторов, содержащий хром, кремний ивольфрам, отличающийся тем, что, с целью получения резисторов с большим положительным значением температурного коэффициента сопротивления, постоянным в диапазоне температур от - (минус) 60 до + 150 С, исходные компоненты сплава взяты в следующих соотношениях (в вес. %):