Хавкик

Сплав для изготовления тонкопленочиых

Загрузка...

Номер патента: 376816

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Грамм, Кондратов, Марин, Минаков, Рогова, Тюрин, Хавкик

МПК: H01C 7/02

Метки: сплав, тонкопленочиых

...свойств во времени.Включенные в интегральную схему упомянутые резисторы значительно улучшают ее раоочие характеристики за счет компенсации отрицательной температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов, трансформаторов и других элементов,Г 1 р и м е р. Сплав, содержащий, вес. %; хрома 56, вольфрама 5 и кремния 39, получают сплавлением чистых компонентов (крем ния, хрома и вольфрама) на воздухе в кварцевом тигле с применением высокочастотного индукционного нагрева. Он может быть получен в виде литых пластин, стержней или порошка с определенной крупностью.Для получения резистивных пленок методом вакуумно-термического нанесения сплав используют в виде порошка с крупностью частиц 0,03 - .0,08 мм, испаряемого с...