Патенты с меткой «тонкопленочиых»

Способ изготовления тонкопленочиых резисторов

Загрузка...

Номер патента: 294182

Опубликовано: 01.01.1971

Авторы: Крыжановский, Черезова

МПК: H01C 7/06

Метки: резисторов, тонкопленочиых

...- повышение стабильно сти резисторов. Для этого в качестве исходной резистивной композиции используется смесь двуокиси титана и двуокиси кремния.Сущность изобретения заключается в получении тонкопленочного сопротивления из смс си двух компонентов двуокиси титана и двуокиси кремния. На подложку из керамики илц кварца методом химического просветления из смеси спиртового раствора этилового эфира ортотитановой кислоты с этиловым эфиром 15 ортокрсмневой кислоты, наносят смешанный слой Т 10 - ЯО, который затем обрабатывают в токе сухого аммиака при температуре 900 - 1000 С. Меняя содержание двуокиси кремния в слое, можно получить покрытия с 20 удельным поверхностным сопротивлением от 10- до 1010 ои/кв. Причем с увеличением содержания окисла...

Сплав для изготовления тонкопленочиых

Загрузка...

Номер патента: 376816

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Грамм, Кондратов, Марин, Минаков, Рогова, Тюрин, Хавкик

МПК: H01C 7/02

Метки: сплав, тонкопленочиых

...свойств во времени.Включенные в интегральную схему упомянутые резисторы значительно улучшают ее раоочие характеристики за счет компенсации отрицательной температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов, трансформаторов и других элементов,Г 1 р и м е р. Сплав, содержащий, вес. %; хрома 56, вольфрама 5 и кремния 39, получают сплавлением чистых компонентов (крем ния, хрома и вольфрама) на воздухе в кварцевом тигле с применением высокочастотного индукционного нагрева. Он может быть получен в виде литых пластин, стержней или порошка с определенной крупностью.Для получения резистивных пленок методом вакуумно-термического нанесения сплав используют в виде порошка с крупностью частиц 0,03 - .0,08 мм, испаряемого с...