Патенты с меткой «тонкопленочиых»
Способ изготовления тонкопленочиых резисторов
Номер патента: 294182
Опубликовано: 01.01.1971
Авторы: Крыжановский, Черезова
МПК: H01C 7/06
Метки: резисторов, тонкопленочиых
...- повышение стабильно сти резисторов. Для этого в качестве исходной резистивной композиции используется смесь двуокиси титана и двуокиси кремния.Сущность изобретения заключается в получении тонкопленочного сопротивления из смс си двух компонентов двуокиси титана и двуокиси кремния. На подложку из керамики илц кварца методом химического просветления из смеси спиртового раствора этилового эфира ортотитановой кислоты с этиловым эфиром 15 ортокрсмневой кислоты, наносят смешанный слой Т 10 - ЯО, который затем обрабатывают в токе сухого аммиака при температуре 900 - 1000 С. Меняя содержание двуокиси кремния в слое, можно получить покрытия с 20 удельным поверхностным сопротивлением от 10- до 1010 ои/кв. Причем с увеличением содержания окисла...
Сплав для изготовления тонкопленочиых
Номер патента: 376816
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Грамм, Кондратов, Марин, Минаков, Рогова, Тюрин, Хавкик
МПК: H01C 7/02
Метки: сплав, тонкопленочиых
...свойств во времени.Включенные в интегральную схему упомянутые резисторы значительно улучшают ее раоочие характеристики за счет компенсации отрицательной температурной зависимости параметров полупроводниковых приборов, трансформаторов и других элементов,Г 1 р и м е р. Сплав, содержащий, вес. %; хрома 56, вольфрама 5 и кремния 39, получают сплавлением чистых компонентов (крем ния, хрома и вольфрама) на воздухе в кварцевом тигле с применением высокочастотного индукционного нагрева. Он может быть получен в виде литых пластин, стержней или порошка с определенной крупностью.Для получения резистивных пленок методом вакуумно-термического нанесения сплав используют в виде порошка с крупностью частиц 0,03 - .0,08 мм, испаряемого с...