Способ изготовления автоэлектронного катода

.К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союа Советских Социалистических РеспубликКомитет по делам иаобретеиий и открытий при Совете Мииистров СССРАвторизобретения В. В. Чесноков Заявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ АВТОЭЛЕКТРОННОГО КАТОДА 1Изобретение относится к электронной технике.Известен способ изготовления автоэлектронных катодов лезвийного типа путем вырубки из металлической ленты полосок или дисков, электролитического затачивания кромок этих заготовок до малой толщины и сборки заточенных катодов в пакет. Однако при таком способе трудно . осуществить точный контроль за технологией и обеспечить воспронзводимость геометрии изготавливаемых катодов.Цель изобретения - устранение этого недостатка, а также повышение механической прочности катода. Предлагаемый способ отличается от известного тем, что на плотскую подложку наносят последовательно рельефную пленку с отверстиями и пленку катодного материала значительно меньшей толщины, удаляют пленку катодного материала с верхней поверхности рельефа, а затем пленку рельефа. На пленку рельефа может наноситься несколько катодных пленок, а после удаления рельефа сничают только верхнюю часть всех слоев катодной пленки кроме одного.На чертеже представлены стадии технологического процесса изготовления такого катода,На плотскую подложку 1 катода напылением в вакууме через маску или другим способом панасят пленки рельефа 2 (см. черт. а).Стенки уступов рельефа должны быть крутыми, Поверх полученной структуры наносят пленку 3, материала катода слоем равномерной толщины (см. черт. б). Затем сошлифовывают катодную пленку с верхних поверхностей рельефа (см, черт. в). Катодная пленка остается только на дне и боковых стенках углублений рельефа. После этого пленка рельефа избирательным травлением убирается (см. черт. г), а на подложке остаются вертикальные ребра катодной,пленки, 15 верхние кромки которых эмиттируют электроны при наложении достаточного поля. Возможность изготовления автоэлектронных катодов по предлагаемой технологии 20 была подтверждена экспериментально. В качестве подложек были взяты сапфировые пластины, пленки рельефа образовывались напылением в вакууме через маску кварца толщиной 3 мам.25 Материал катодной пленки - молибден,толщина ее 0,05 - 0,1 мкм, Вытравливание кварца после шлифовки структуры производилось плавиковой 40 ОО кислотой.Ребра катодсв были высотой -3 лькм, тол щиной 0,05 - 0,1 .чкль На первых образцах346766 д Составитель Г Жуковараванская Техред Л, Куклина Корректор Е. Миронова едактор И. Заказ 3212/10 Изд,1308 Тираж 4 Ц 1-1 ИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий прнМосква, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Подписное овете Министров СССРТипография, пр. Сапунова катодов при вытягивающем напряжении 200 в получен ток эмиссии до 200 л 1 ка.Описанный способ позволяет получать структуры с ребрами 0,05 - 0,1 мкм толщиной. Дальнейшее снижение рабочего напряжения автоэлсктронных катодов возможно при уменьшении этой толщины, т, к. при этом уменьшается радиус, закругления кромки ребра и увеличивается степень концентрации вы 1 тягивавщего поля. Но уменьшение толщины ребра уменьшает механическую прочность структуры.Выходом из положения может явиться следующее видоизменение способа, показанное на чертеже (д, е). Здесь 4 - подложка, б и б - слои катодной пленки. Катодную пленку наносят ,в несколько слоев (см, черт. д) и после окончания вытравливания пленки рельефа производят неболышое подтравливание катодной пленки избирательным травлением так, чтобы в области кромки ребер удалялись все слои, кроме одного, толщиной 0,01 - 0,02 мкм (см. черт. е). Почти по всей высоте ребра его толщина будет порядка 0,1 - 0,2 як,и, это обеспечит катоду механическую прочность, кромка будет иметь толщину в 5 - 10 раз меньшую, что обеспечит низкое вытягивание напряжения.5Предмет изобретения1, Способ изготовления автоэлектронногокатода лезвийного типа для элеитронных ламп, отличающийся тем, что, с целью повышения воспроизводимости геометрии катодов, на плоскую подложку наносят последовательно рельефную пленку, имеющую отверстия с отвесными стенками, и пленку материала катода, толщина которой много меньше толщины пленки рельефа, удаляют пленку ка 1 тодного материала с верхней поверхности рельефа, а затем - пленку рельефа,2. Способ по,п. 1, отличающийся тем, что,с целью повышения механической прочности катода, на плоскую подложку с пленочным рельефом наносят несколько слоев различных катодных материалов, а после удаления пленки рельефа снимают верхнюю часть всех слоев катодной пленки кроме одного,