Сименштейн
Способ изготовления катодно-сеточного узла с автоэлектронным катодом
Номер патента: 609144
Опубликовано: 30.05.1978
Авторы: Гайлес, Домахина, Сименштейн, Чесноков
МПК: H01J 9/02
Метки: автоэлектронным, катодно-сеточного, катодом, узла
...(пленка вольфрама) слоев. С помощью литографии в верхнем слое изготавливают отверстие, сквозь которое, используя слой металла в качестве защитного слоя, вытравливают отверстие в пленке изолятора, причем травление проводят до тех пор, пока не вскроется область подложки, большая по диаметру, чем отверстие в пленке металла. Образуется полость. На полученную структуру напыляют любым известным способом например напылением в вакууме или катодным распылением) пленку маскирующего слоя, например, окиси алюминия. Толщина маскирующей пленки должна быть меньше толщины изолирующего слоя. При напылении материал маскирующего слоя осядет по всей поверхности заготовки, в том числе и на дне полостей, образуя тем круглый островок, по форме и размерам...