Домахина

Номер патента: 1217196

Опубликовано: 10.05.1996

Авторы: Глуздакова, Домахина, Иванцова, Чесноков

МПК: H01L 21/312

Метки: рентгеношаблона

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ РЕНТГЕНОШАБЛОНА, включающий формирование на подложке слоя прозрачного для рентгеновского излучения и получение на нем маскирующего рисунка из материала, поглощающего рентгеновское излучение, формирование мембраны и опорного кольца по периферии подложки путем избирательного травления подложки, отличающийся тем, что, с целью увеличения выхода годных рентгеношаблонов путем предотвращения разрушения мембраны, перед избирательным травлением подложки на слой мембраны с маскирующим рисунком наносят упрочняющий слой, а после травления упрочняющий слой удаляют.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве материала упрочняющего слоя используют медь.

Номер патента: 1178934

Опубликовано: 15.09.1985

Авторы: Быков, Домахина, Зарецер, Колиух

МПК: F03C 1/04, F04B 1/04

Метки: гидромашина

...ком 5 выходного вала 6, установленного па подшипниках 7. Гидромашина имеет распределительное устройство, включающее аксиально расположенные золотники 8, кинематически связанные при помогци ползунов 9 с установленным на выходном ва. валу 6 кулачком О, имеющим профилированное управляющее звено в вице установленного на наружной его поверхности упругого кольца 1и контактирующих с ним сьемных торцовых обкладок 12 для изменения профиля управляющего звена.Обкладки 12 крепятся к кулачку 10 винтами 13.1Кулачок 10 зафиксирован от угловогоперемещения относительно выходного вала6 при помощи шпонки 14. В корпусевыполнены каналы, 5 для попеременного со 78934 2общения рабочих камер 16 при помощи зо.лотников 8 с коллекторами 17 и 8 подвода .и...

Номер патента: 609144

Опубликовано: 30.05.1978

Авторы: Гайлес, Домахина, Сименштейн, Чесноков

МПК: H01J 9/02

Метки: автоэлектронным, катодно-сеточного, катодом, узла

...(пленка вольфрама) слоев. С помощью литографии в верхнем слое изготавливают отверстие, сквозь которое, используя слой металла в качестве защитного слоя, вытравливают отверстие в пленке изолятора, причем травление проводят до тех пор, пока не вскроется область подложки, большая по диаметру, чем отверстие в пленке металла. Образуется полость. На полученную структуру напыляют любым известным способом например напылением в вакууме или катодным распылением) пленку маскирующего слоя, например, окиси алюминия. Толщина маскирующей пленки должна быть меньше толщины изолирующего слоя. При напылении материал маскирующего слоя осядет по всей поверхности заготовки, в том числе и на дне полостей, образуя тем круглый островок, по форме и размерам...

Номер патента: 374677

Опубликовано: 01.01.1973

Авторы: Гаврюшкин, Гайлес, Домахина, Чесноков, Янина

МПК: H01J 1/304

Метки: автоэлектронный, катод

...механическим нагрузкам, а проводящая пленка - иметь толщину, достаточную для необходимой концентрации электрического поля у эмиттирующей кромки лезвия еличение механиченизковольтных авто 30 Авторыизобретения В. В, Чесноко 2При испытаниях предлагаемого автоэлектронного катода подтвердились высказанные выше предположения, однако катод работал нестабильно, имели место пробои вакуумного промежутка катод - анод, При этих пробоях развивалась вакуумная дуга, распространяющаяся по всей ширине лезвия катода, разрушая проводящую пленку и оставляя характерный след в виде ажурных узоров. В дальнейшем оказалось, что разрушение катода вакуумной дугой имеет место только при определенных толщинах проводящей пленки - не меньше определенного...