Способ изготовления трафаретов

Номер патента: 337853

Авторы: Ивченко, Карпенко

ZIP архив

Текст

О П И С А Н И Е 337853ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельства МеЗаявлено 22,Ч 11,1969 (Мо 1350073/26-25)с присоединением заявки Ме 1, К 11 7/64 51 3/18 Иомитет по делам зобретеиий и открытий при Совете Министров СССРиоритет юллетень Юо 15 публиковано 05 Ч,197 УДК 621,328(08 Дата опубликования ания 7,И.197 вторыобретен Э. С, Карпенко и В. С. Ивченк аявитель СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАфАРЕТО Изобретение относится к технологии получения полупроводниковых приборов и микросхем методом термического напыления.Известный способ получения трафаретов (масок) включает: температурный отжиг заготовки трафарета (маски) для снятия остаточных напряженийполученный в процессе проката фольги из бронзы БрБ 2,5; химическую обработку заготовки (для активизации поверхности); нанесение светочувствительной эмульсии и получение топологического рисунка; никелирование; температурный отжиг для снятия внутренних напряжений, полученных в процессе осажден)ия никеля и рекристаллизации осадка; травление топологического рисунка.В известном способе полученные трафареты недостаточно устойчивы в температурномле, т. е. поддаются температурным дефорациям в процессе напыления, что вносит :погрешности при напылении элементов микросхем,Кроме того, с помощью известного способа нельзя получить микросхемы с напыленными элементами до 50 лк с большой плотностью топологического рисунка; технологический цикл получения трафарета по такому способу длитслен, так как имеет две операции откига.По предлагаемому способу, с целью получения трафаретов (масок), устойчивых в температурном лоле и обеспечивающих получение микросхем,с элементами до 50 мк с большой .плотностью топологического рисунка,трафарет,перед никелированием растягивают5 до появления в нем напрякений, обратныхзнаку, а по величине больше или равных напряжениям, возникающим в трафарете притермическом напылении,Предлагаемый способ заключается в сле 10 дующем.Трафарет, лредставляющий собой тонкуюметаллическую пласттинуперед никелированием,помещают в рамку специального натякного устройства и растягивают до появления15 в нем предварительного напряжения, обратного по знаку температурному,напрякению,возникающему в процессе нагрева всей систсмы совмещения при термическом напылениииз-за разницы в,коэффициентах линейного20 расширения материала трафарета и его держателя.,При этом внутренние напряжения,созданные растяжением, должны быть больше или равны температурным напряжениям.Получив напряжения, трафарет фиксируют25 в рамке специального натяжного устройстваи,помещают в гальваническую ванну для никелирования с целью фиксации созданногопредварительного напряжения,Трафареты, полученные с использованием30 описываемого способа, не деформируются в337853 Составитель В. ГришинТехред Л. Богданова Редактор А. Батыгин Корректор В. Жолудева Заказ 1531/15 Изд. М 674 Тираж 448 Подписное ЦНИИПИ Комитста по делам изобретений и открытий при Совете Мпписгров СССР Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Типография, пр. Сапупова, 2 3температурном поле, что обеспечивает получение напыляемых элементов, соизмеримых с толщиной трафарета (50 мкм),Предмет изобретен ияСпособ изготовления трафаретов для микросхем получаемых методом термического напыления, включающим отжиг, химическую обработку, нанесение светочувствительного слоя,получение топологического рисунка, никелирование, отличающийся тем, что, с целью повышения качества, трафарет перед никелированием растягивают до появления в нем на пряжений, обратных по знаку, а,по величинебольше или равных напряжениям, возникающим в трафарете при термическом напылении.

Смотреть

Заявка

1350073

Э. С. Карпенко, В. С. Ивченко

МПК / Метки

МПК: H01L 21/48

Метки: трафаретов

Опубликовано: 01.01.1972

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-337853-sposob-izgotovleniya-trafaretov.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления трафаретов</a>

Похожие патенты