Ампула для восстановления в газовой фазе материала полупроводниковой чистоты
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ИЯ Союз Советских Социалистических Республик(л. 12 д, 1728 Котвитет по делам изобретений и аткрыти ари Совете Министров СССРМПК В 011172 орите Опубликовано 03.1 Х.1 Я 70. Бюллетень28Дата опубликования описания 21 Х 11,1970 ДК 621,315.5 (088.8) Калашник, В. А. Кириченко и Кузнецо аявитель АМПУЛА ДЛЯ ВОССТАНОВЛЕНИЯ В ГАЗОВОЙ фАЗ МАТЕРИАЛА ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ЧИСТОТЫ Изобретение относится к области химической технологии материалов полупроводниковой чистоты, а именно к ампулам для восстановления в газовой фазе материала полупроводниковой чистоты, например, восстановления водородом мышьяка из его хлорида.Известны ампулы, предназначенные для этих целей, содержащие куб.-испаритель с входными штуцерами, соединенный трубкой с рабочей камерой, имеющей перегородки с отверстиями, вставку и выходной штуцер. Трубка имеет шлифовое соединение с рабочей камерой, а перегородки представляют собой плоские диски с отсечными сегментами, Однако известные ампулы пе обеспечивают полноту восстановления материала, так как его пары конденсируются между кубом-иопарителем и рабочей камерой.Кроме того, материал проникает в зазоры шлифового соединения и заклинивает его. Перегородки не обуславливают полного перемешивания продуктов реакции и реагирующих веществ.С целью полноты восстановления трубка выполнена в виде капилляра с теплоизолирующей рубашкой, а перегородки - в виде вогнутых дисков с центральным соплом и каплеотбойником.Кроме т а с выходным и из о бр ете и 25 1. Ампула для восс фазе материала полуп 1 например, восстановлет ка из его хлорпда, содер тановленпя в газовой оводнпковой чистоты, пя водородом мышьяжащая куб-пспаритель ого, рабочая камера соединен ттуцером при помощи шлифа. Авторыизобретения Э .П. Засецкий,11 а чертеже схематически пзооракена предлагаемая ампула.Ампула содержит куб-испаритель 1 с входными штуцерами для подвода водорода н три 5 хлорида мышьяка и рабочую камеру 2 с перегородками(в зоне воостановления) и вставкой 4 (в зоне конденсации), В хвостовой части ампулы имеется штуцер 5 вывода продуктов реакции. Перегородка представляет сооой 10 круглую вогнутую пластинку с каплеотбойнпком. В центре пластинки просверлено отверстие-сопло. Трубка 6 представляет собой капилляр, что позволяет резко увеличить скорость прохокдения паро-газовой смеси в зону Б восстановления. Конденсация мышьяка исключается. Теплоизолирующая камера 7 препятствует теплообмену между зоной восстановления и кубом-испарителем, а также между внешними стенками корпуса аппарата и капилляром 20 (заопвание капилляра и конденсация мышьяка в зоне восстановления исключаются).Теплоизолирующая камера 7 представляетгобой вакуумную камеру,280452 2 3 б 7 1 Составитель В. Г. ПостьгляковТехред Л. Я. Левина Корректор А, П. Васильева Редактор Н. Вирко Заказ 592 Тираж 480 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и откргятин при Совете Мипнстров СССР.Чосква, )К, Раушская наб., д. 4,5 Загорская типография с входными штуцерами, соединенный трубкой с рабочей камерой, имеющей перегородки с отверстиями, вставку и выходной штуцер, отличаюгг 4 аяся тем, что, с целью полноты восстановления, трубка выполнена в виде капилляра с теплоизолирующей рубашкой, а перегородки - и виде вогнутых дисков с центральным соплом и каплеотбойником.2. Ампула по п. 1, отлггчпюгцаяся тем, чторабочая камера соединена с выходным штуце ром при помощи шлифа.
СмотретьЗаявка
1241704
П. Засецкий, О. Н. Калашник, В. А. Кириченко, А. С. Кузнецов
МПК / Метки
МПК: C30B 25/00
Метки: ампула, восстановления, газовой, полупроводниковой, фазе, чистоты
Опубликовано: 01.01.1970
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-280452-ampula-dlya-vosstanovleniya-v-gazovojj-faze-materiala-poluprovodnikovojj-chistoty.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Ампула для восстановления в газовой фазе материала полупроводниковой чистоты</a>
Рабочая камера стекловаренной печи
Номер патента: 626049
Опубликовано: 30.09.1978
Авторы: Карапетьян, Корухчян, Костанян, Татевосян
МПК: C03B 5/02
Метки: камера, печи, рабочая, стекловаренной
...решения является неравномерность нагрева всего объема стекломассы.Наиболее близкой к изобретению по технической сущности и достигаемому результату является рабочая камера стекловаренной печи круглого сечения с электрическцтл нагревателями, рааположенными в стекломассе и,нал ней 2,Недостатком этой камеры является возможность падения нагревателя в бассейн и порча стекла, а также неравномерное температурное поле стекломассы по горизонтальному сечению, обусловленное теплопотерями в окружающую среду через ограждающие стены камеры. В результате этого появляются нежелательные потоки, что повышает свилцстость вырабатываемого стекла и в конечном счете,поникает процент выхода годной п)золт кц:ш.Целью изобретения является повышеиие качества...
Устройство для аэрации сыпучих материалов в рабочих камерах пневматических установок
Номер патента: 208524
Опубликовано: 01.01.1968
Авторы: Алейников, Раков, Терентьева, Чернышев
МПК: B65G 53/16
Метки: аэрации, камерах, пневматических, рабочих, сыпучих, установок
...аэрирующие элементы выполнены в виде,концентрично смонтированных в корпусе распределительных диафрагм с множеством концентричных отверстий, которые .прикрыты закрепленными на диафрагмах плоскими тарелями из эластичного материала.На фиг. 1 изображено о устройство в разрезе; на фиг. 2 в плане; на фиг, 3 изображен узел Для обеспечения возможности р воздуха, подаваемого к отдельньв щим элементам устройства, во вну ласти воздушной камеры корпуса ны перегородки 5. Подачу сжатог осуществляют по воздуховоду б.Под действием веса загруженног чую камеру сыпучего материала пл рели 4,плотно прижимаются;к пов распределительных диафрагм 2, что вует попаданию материала в полост устройства для аэрации. При подаче необходимых расходов сжатоговоздуха в...
Устройство для автоматического поддержания уровня кипящего хладагента в рабочей камере
Номер патента: 363077
Опубликовано: 01.01.1973
Авторы: Лузе, Петушков, Симакин
МПК: F25B 45/00, F25D 7/00, G05D 9/02
Метки: камере, кипящего, поддержания, рабочей, уровня, хладагента
...из сосуда 1 новая порция хладагента. Таским образом уровень хлай агента в камере 2 поддерживается неиаменным. Предмет изо ен,и я ддер рабо 0 жания Изобретсние может быть,примеотено в тех областях холодильной и криогенной технички, пде необходимо поддерживать определенный уровень хладагента в рабочей камере с охлаждаемым объектом внутри.Извествы устройства для автоматического поддержания уровня кипящего хладагента в рабочей камере с охлаждаемьвм объектом 1 виутри, содержашие сосуд для хладатента, ооединенньвй с;камерой при позвоши,каеталев,Целью изобретения является упрощение констру 1 кции и повьншение компактности уст,ройства.Для этого,в предложенном устройстве сосуд выполнен в виде торообразной емкости, размещенной соосно камере и...
Рабочая камера установки для облучения
Номер патента: 427655
Опубликовано: 15.05.1983
МПК: G21F 7/00
Метки: камера, облучения, рабочая, установки
...известной установки.Цель изобретения - сокращение эа- ЗО трат на загрузку, дозагрузку источников излучения в облучатель и выгрузку их из него с обеспечением радиационной безопасности.Цель достигается благодаря тому, 35 что защитный корпус рабочей камеры содержит защитный блок, подвижный в направлении, перпендикулярном каналам облучателя. В защитном блоке. выполнено одно или несколько сквоз ных ступенчатых отверстий, совмещаемых с каналами облучателя.Такое выполнение защитного корпуса позволяет загружать источники излучения в облучатель и выгружать их из него непосредственно на месте 45 эксплуатации без применения дорогостоящего дополнительного оборудования горячей камеры или водного защитного бассейна) . Кроме того, в данном случае...
Рабочая камера хлебопекарной печи
Номер патента: 655375
Опубликовано: 05.04.1979
Авторы: Володарский, Михелев, Ничиков, Рогулин, Сигал, Шульгин
МПК: A21B 1/10
Метки: камера, печи, рабочая, хлебопекарной
...5 и внушениями 6 стенками из листового металла и разделены по ширине на несколько продольных канадов 7, По поверхности внутренней стенки 6 нижнего газохода 2 перемешается сетчатый под 8, шарнирно связанный с тяговыми цепями 9.Наружные стенки 5 верхнего и нижнего газоходов выполнены с штампованными гофрами 1 О, имеющими 7 -образный профиль поперечного сечения. Вершины 11 профиля обращены внутрь полости газоходов и соединены с их внутренними стенками 6 по линиям разделения газоходов по ширине.Поскольку газоплотного соединения перемычек между соседними продольными каналами газоходов пе требуется, вершины гофров могут быть соединены с внутренними стенками гаэоходов, например, контактной точечной сваркой, прерывистой роликовой контактной...