Патенты с меткой «проводящую»
Устройство для измерения толщины диэлектрической пленки, нанесенной на проводящую подложку
Номер патента: 1033853
Опубликовано: 07.08.1983
Авторы: Кайбин, Калнин, Кулешов
МПК: G01B 7/06
Метки: диэлектрической, нанесенной, пленки, подложку, проводящую, толщины
...натянута полимерная пленка с металлнзированным покрытием, Цилиндр заполнен жидкой средойили тонкой суспенэией, давцение которойрегулируется, благодаря чему может бытьплавно изменена пластичность электрода,чтопозволяет контролировать неравномерное по",крытие с особо шероховатой поверхностью Я.Однако выполнение электрода емкостного преобразователя из металлцолимерного композиционного материала не позволяет измерять толщину диэлектрическогопленочного покрытия, меньшую чем 35 мкм на неболыцих участках поверхности,площадь которых не превышает десятыхдолей квадратного сантиметра.Целью изобретения является повьццениеточности измерения толщины тонких пленок порядка О, 015 - 3 мкм с большой50пористостью и повышение степени локааности...