C23C 13/10 — C23C 13/10

Номер патента: 451807

Опубликовано: 30.11.1974

Авторы: Клименко, Ковалев, Лысаков, Ткачев, Чурсин

МПК: C23C 13/10

Метки: вакуумных, запыления, защиты, камер, смотровых, стекол

...в по Е 1 Из ГЛ 1 О Г 11 И К 1 КИ 1 Ек гтекпуизбР жив иовок от загрязнения.заесто устройство дпя защиты смотровых стекол вакуумных камер от зат рязнения содержа 1 ее источник защитного агента, расиопоженньив камере экран с отверстием и доопнительную камеру, соединенную с источником защитного агента и смонтированную между стеклом и экраном.Однакооступление зятцитного агента из дооиитепьной камеры непосредственно в рабочий объем камеры влияет ня рабочий ироиегс, ис 1 ьипает требования к откачивяю ей систел 1 е и отрицательно сказывяетоя ня качестве обработки.1 ель изобретения - новьпение качества обработки путем искпючения впияния зятиит 111 о я 1 ентя на рябочукт атмосферу.Достич яется э го тем, чго устройство снябж ио систмл 1 ой...

Номер патента: 457353

Опубликовано: 25.07.1975

Авторы: Макеев, Титов, Чуриков

МПК: C23C 13/10

Метки: вакууме, нанесения, покрытий

...закрепленным на стержне, причем одна из траверс выполнена с возможностью перемещения относительно стержня, а на ней смонтирован груз.На чертеже показано описываемое уст ство,Устройство состоит из камеры 1, испарителя в виде проволоки 2, токоподводов 3 и 4, груза 5 для компенсации термического расширения, стержня 6, траверс 7 и 8, ограничителя 9, закрепленного на стержне 6. Верхний конец испарителя 2 неподвижно закреплен в траверсе 7. Траверса 7 крепится к неподвижному токоподводу 4, а траверса 8, неподвижно закрепленная на испарителе 2, соединена с токоподводом 3. К траверсе 8 прикреплен груз 5. Соосно с испарителем через изоляторы 10 и втулки 11 устанавливают покрываемую трубу 12.Параллельно испарителю в траверсе 7 неподвижно закреплен...

Номер патента: 503939

Опубликовано: 25.02.1976

Автор: Ладислав

МПК: C23C 13/10

Метки: транспортировочное

...1, расположенные между дисками ротора 2, 20 снабжены выемками 22, спужашими дпя прохода заготовок 1 1 с одного яруса нв другой, и звкреппены на оси ствтора 1 таким образом, что каждая из них.смещена относительно предыдущей на длину выемки, 5оРаботает транспортировочное устройство следующим образом.Цилиндрические заготовки 11 загружают- ся в устройство через патрубки 4. Под действием собственного веса уложенных в стоп-З 0 бик заготовок 11 поспедняя прижимается к стенкам отверстия 23 распределительногоп,форированного диска 14, при вращениикоторого вместе с ротором 2 некоторые отверстия 24 диска 14 оказываются под3заготовкой, которая опускается в него иупирается в плоскую опорную пластину 5,При дальнейшем вращении ротра 2 заготовьки...

Номер патента: 506641

Опубликовано: 15.03.1976

Авторы: Демьянович, Романов, Савельев, Семенов, Сумароков

МПК: C23C 13/10

Метки: нанесения, покрытий

...и увеличения производительности устройства испаритель дополнительно снабжен средством перемещения его из одной емкости в другую через шлюзовое устройство, причем средство перемещения испарителя выполнено в виде тележки с закрепленными на ней экранами.На фиг. 1 показан продольный разрез вакуумной камеры; на фиг. 2 - разрез по А - А на фиг. 1.Вакуумная камера предлагаемогова содержит емкость 1, где осущепокрытие изделия, емкости 2, где прся удаление отработанного испарите сти 1 и 2 автономны и соединяются шлюзовыми устройствами 3 и 4, Испаритель 5 выполнен подвижным и снабжен средством перемещения, выполненным в виде тележки 6, движущейся по рельсовому пути 7 с помощью зубчатореечной передачи 8. На тележке 6 закреплены экраны 9,...

Номер патента: 515833

Опубликовано: 30.05.1976

Авторы: Белов, Дементьев, Плышевский, Пономаренко, Романов

МПК: C23C 13/10

Метки: вакууме, материалы, нанесения, покрытий, рулонные

...10 каретки.В отсеках перемотки 4, 5 смонтированы разматывающцй ц цаматывающцй механизмы 11, 12 с направляющими ролцкамп 13.Устройство работает следующим образом.Каретка 7 с ролцкамц 9 прп помощи обхватывающей его стальной ленты перемещается10 по направляющим 6, втягивает ленту из отсека перемотки 4 в камеру металлизации 1 и, находясь з крайнем фиксированном положеппц с помощью мехапзма 11 цксацци 10, герметизпрует проем между камероц 1 и отсеком15 перемотки 5. Металлцзацця ленты осуществляется путем протяжки се цад испарцтслем 2 с помощь 0 разматыГающе О и тиматьвоощего меха;11.змов 11 и 12 и роликов 13 ц 9.При работе камеры 1 ц отсека 4 в отсеке20 перемотки 5, отсеченном от камеры 1 вакуумным затвором 8 каретки 7, производится...

Номер патента: 515834

Опубликовано: 30.05.1976

Авторы: Белов, Дементьев, Петров, Плышевский, Пономаренко, Романов, Сороко

МПК: C23C 13/10

Метки: вакууме, материалы, нанесения, покрытий, рулонные

...11, 12, и механизма фиксации каретки, выполненного в виде расположенных в камере металлнзацнн 1 упоров 13,14 и толкателей 15, 16. Части 9, 10 кареткиснабжень 1 элементамн зацепления 17. В отсеках перемотки 4, 5 смонтированы разматывающий 18 н наматывающцй 19 механизмы сроликами 20.Устройство работает следующим образом.Для подачи ленты в металлнзацнонную камеру 1 пз отсека 5 конец металлнзпрованнойленты в отсеке 4 жестко фиксируется в разматывающем механизме 18 с одновременнымутаплпванием фиксирующих упоров 14, прнэтом состыкованные части 9, 10 каретки с помощью ленточной петли, обхватывающей ролик 8, перемещаются по направляющим 6 дотолкателя 15 с упором, втягивая прп этом ленту 21 из отсека 5. Затем происходит расстыковка частей 9, 10...

Номер патента: 590371

Опубликовано: 30.01.1978

Авторы: Бабад-Захряпин, Лысенко

МПК: C23C 13/10

Метки: изделия, нанесения, парогазовой, покрытия, трубчатые, фазы

...3 и цилиндр 4, установлен предохранительный клапан 9, Рабочая камера 1 снабжена патрубком 10 для подачи рабочей газовой смеси и патрубком 11 для откачки отработанного газа.Подвпхкный захват 2 и неподв3 подкл 1 о сны к источнику токава обрабатываемого изделия,.гегуоов 5,а о Заки. 34)Т) Ивд. 331 Оо Соле по ислам3 О 3;, .Т) о с к а,виунова,которому устаР 10 В;1 спы экрань 1 о.35 ПслюДСНИЯ П КОНТРОЛ 51 32 ПРОЦСССОв РЯООЯЯ 1,2.Сра 1 сняожсн)1 смот 1)овы: 01 НО,"51 14,Устройство работает следу)оц):м образо.1.В рабочую камеру 1 через цагрубок 10 подя)от п 2170 гязОВу 10 смссь к прсдВяритс;1 ьцо усТЯЦОВЛЕННОМ 5, В Е)СПОДВР)ЖЦОМ .52 ГР)тс 3 И ПОд 1)ИЖ 105 3 КЯТЕ 2 Изд(.ц 10, ца 1 рГОМ),10 2д) ц пой 3 мцрГу ы. 1.5Рцтцц 1 30 ГС.к)КОС)ь 6 Г;)З,...

Номер патента: 901356

Опубликовано: 30.01.1982

Автор: Ломовцев

МПК: C23C 13/10

Метки: вакуумная

...установке управление откачнойшлюзовой камеры осуществляется двумя параллельными клапанами, жесткозакрепленными на штоке, При этом отпадает необходимость в отдельномприводе клапанов, что повьппает надежность работы установки.На Фиг. 1 изображена установкапри загрузке-выгрузке изделий; наФиг. 2 - то же, после. окончаниязагрузки изделий,Установка содержит корпус 1 скрышкой 2, на которой размещенакрышка 3 шлюза. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установленына пружинах 5 цилиндрические подложкодержатели 6, которые могут герметизировать шлюз при помощи Фланца 717-образной формы и прокладок 8и 9. На днище корпуса 1 герметичнозакреплен откачной натрубок 10, Воткачном патрубке 1 О посредствомсильфона 11 установлен фланец 7.Для...

Номер патента: 968097

Опубликовано: 23.10.1982

Авторы: Дубровский, Рогачев

МПК: C23C 13/10

Метки: вакуумной, металлизации, пленки, полимерной

...центры, и кроме ого, происходит трибоэлектризация пленки. При этом электростатические заряды создают электрическое поле, обеспечивающее при проскальзывании пленки плотное прилегание ее к водоохлаждаемому барабану.На чертеже схематично изображена установка, общий вид.Установка состоит из системы протягивания полимерной пленки, выполненной в виде сматывающего барабана 1, водоохлаждаемого барабана-подложкодержателя 2 и приемного барабана 3, а также роликов 4, электрозарядного, трибоактивирующего валика 5 с регулятором 6 скорости вращения и испарителя 7. Электрозарядный валик 5 с помощьюподпружиненных контактов 8 и 9 электрически соединен с наносимым металлическим покрытием на металлизируемую сторону полимерной пленки 10, причем...

Номер патента: 1077949

Опубликовано: 07.03.1984

Авторы: Бутузов, Бычко, Грушевский, Даев, Филатов

МПК: C23C 13/10

Метки: вакууме, двухсторонней, ленты, металлизации

...производится уже на другую сторону ленты.Предлагаемое устройство имеет болеепростую конструкцию, обеспечивает напы 35 ление однородного материала одинаковойтолщины на обе стороны ленты и позволяет улучшить равномерность покрытий потолщине на разных сторонах ленты до12% по сравнению с +6% в прототипе, что40 практически устраняет перекручивание ленты и обеспечивает ее плоскостность, атакже улучшить физико-химическую однородность покрытий на разных сторонах ленты различие в адгезии не хуже 15% по45 сравнению с +12% и различие во временитравления не хуже +3% по сравнению с +6%в прототипе).1Изобретение относится к вакуумной техникев частности к технологии напыления тонкихпленок в вакууме на обе стороны ленточныхрулонных материалов, и...