Способ изготовления ферритовых пленочиых элементов памяти

Номер патента: 245179

Авторы: Беккер, Клейман

ZIP архив

Текст

ОПИСАН И ЕИЗОЬРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликКомитет по лелем обретений н открытий рн Совете Министров СССР1969, Бюллетень М ата опубликования описания 11.Х 1.19 Авторыизобретени Е, Клейман и Я. М. Беккер явител ПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХПЛЕНОЧНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ ПАМЯТИ 2 Предмет из ете леночных феррита работкой,получениритовыхиспарений термооцелью Изобретение относится к области запоминающих устройств и может быть использовано при изготовлении интегральных ферритовых пленочных элементов памяти для запоминающих устройств.5Известен способ изготовления ферритовых пленок с помощью дугового разряда, состоящий в том, что феррит плавят и испаряют с помощью дугового разряда, Катод из ферритовой пластины закрепляют в керамическом 10 держателе, анодом служит молибденовый стержень. Источником постоянного тока, который должен обладать стабильностью не хуже 0,1%, создается дуговой разряд. При этом в ферритовой пластине образуется лунка, в которой 15 содержится испаряющийся расплавленный феррит.К числу недостатков этого способа следуег отнести неравномерность испарения вследствие колебания тока в дуговом разряде, приводя щую к неоднородности пленки; появление примесей; испарение в очень маленькой лунке, а не с поверхности пластины, что ухудшаег свойства пленок, вызывает малую скорость роста и неоднородность пленок, 25При предложенном способе все перечисленные недостатки исключены. Способ заключается в том, что источник феррита нагревают до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300 - 400 С, Зо после чего источник феррита нагревают токами высокой частоты.Способ поясняется чертежом.Источник феррита в виде ферритовой пластины 1 нагревают электрическим нагревателем 2 до температуры примерно 300 в 4 С, При этом электропроводность феррита значительно возрастает. Дальнейший нагрев и испарение производят токами высокой частоты с помощью высокочастотного нагревателя 3. При этом ферритовая пластина равномерно разогревается, и феррит испаряется,на подложку 4, закрепленную держателем 5.Полученную пленку подвергают последующей термообработке в печи, например при 1000 С в течение 1 час.Применение способа испарения феррита за счет увеличения его теплопроводности позволяет повысить скорость испарения с поверхности всей пластины, увеличить однородность получения пленки, исключает появление примесей и обеспечивает более стационарный рост пленок. Способ изготовления феэлементов памяти путемна подложку с последующотличаощийся тем, что,Заказ 2679/18 Тираж 480 Подписное ЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 однородных магнитных пленок, улучшения их магнитных свойств, повышения скорости испарения и устранения примесей, нагревают источник феррита электрическим нагревателем до температуры, при которой возрастает электропроводность феррита, например до 300 -400 С, и подвергают источник феррита нагревутоками высокой частоты.

Смотреть

Заявка

1220015

Б. Е. Клейман, М. Беккер

МПК / Метки

МПК: G11C 11/14

Метки: памяти, пленочиых, ферритовых, элементов

Опубликовано: 01.01.1969

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-245179-sposob-izgotovleniya-ferritovykh-plenochiykh-ehlementov-pamyati.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ изготовления ферритовых пленочиых элементов памяти</a>

Похожие патенты