Способ создания изоляции соединений в интегральных системах
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ Союз Советских Социалистических РеспубликЗависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 14 Х 11.1967 ( 1177944/26-25) 1 Л. 21 д. 11/02 аявкиприсо неиие. поритетуоликовс 1 но 10,1 П 1, Н О 1/Д 1(, 621.382.002 (088,8 Ко 1 аитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР969. Б юлл е теньописания 21 Х,1969 та опуоликован Авторыизобретени акова В. В, Жуков, В. В. федотова и Т вител ОЗДАНИЯ ИЗОЛЯЦИИ СОЕДИНЕНИЙИНТЕГРАЛЬНЫХ СИСТЕМАХ ОС ленкои фотосят снова, ное плои 1 адки и интегральных ю пленку подействует на е покрытия соединении снимают, а затем нано он защищает контактны хемные соединения в После этого алюминиев т в травитель, которыи н осл сттеперь внутри схемах мешаю Настоящее изобретение относится к микроэлектронике, может быть применено в производстве интегральных систем.Известен способ создания изоляции соединений в интегральных системах, состоящий в 5 том, что поверх соединений наносят изоляционный слой, в котором при помощи фотолитографии и травления проделывают отверстия ДЛ 51 ВЫХОДс 1 На КОНТЯ КТНЬЕ П,10 ЩЯДКИ, ЗЯТЕМ поверх изоляционного слоя в вакууме наносят 10 СЛОЙ с 1 Л 10 МИНИ 51, На КОТОРОХ 1 ЕТОДОХ ЛИТОГРЯ- фии и травления получают конфигурацию соединений второго слоя. Пр: гравлении в изоляционном слое окон над контактными площадками возникает ступенька, и для падеж ного соединения между интегральными схемами необходимо напылить толстый слой алюминия. В качестве изоляционого слоя используют моноокись кремния, получаемую напылением в вакууме, 20Получение пленки моноокиси кремния с высокими изоляционными свойствами сопрякено с Оольшими технологическими трудностями, причем пленка оказывается с большим количеством проколов, 25Цель настоящего изобретения заключается в получении изоляционных слоев с улучшенными характеристиками и в упрощении технологии их изготовления. Достигается она тем, что используют пленку окиси алюминия 30(А 1,0), полученную электрохимическим анодированием пленки алюминия, причем нужные места с проводящими сбластями от анодирования защшцаются фоторезистом на основе 24 О/о-ного нафтохинондиазида.Предложенный спосоо заключается в следующем.На кремниевую пластинку с готовыми интегральными схемами няиыляют в вакууме пленку ал 1 охННН 51. На этой пленке при помощи фотолитографии выполняют конфигурацию соединений между интегральными схемами, причем пленка оголена от фоторезиста по конфигурации соединений, в то время как остальная часть защищена фоторезпстом. КрезНиевую пластину помещают в электролит.Плен алюминия анодируют в Нслом электролите со свинцовыми электродки при постоянном напряжении 60 в.Состав электролита;Щавелевая кислота, г 30 Лимонная кислота, г 100 Дистиллированная вода, л 1Заказ 646/2 Тираж 465 ПодписноеЦНИИПИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совеге Министров СССРМосква, Центр, пр. Серова, д. 4 Типография, пр. Сапунова, 2 окись алюминия, защищающую конфигурацию соединений интегральных схем.Состав травителя:Хлорная медь, г 24Плавиковая кислотаил 4,5Дистиллированная вода, л,г 200 В результате травления получают первый слой межсхемных соединений интегральных схем, покрытых пленкой окиси алюминия. Снова напылив в вакууме слой алюминия, фотолитографией и травлением выполняют конфигурацию второго слоя соединений. Пленка окиси алюминия практически не дает ступеньки, что позволяет многократно чередовать слои с конфигурациями межсхемных соединений с изолирующими. При толщине пленки 0,4 мк удельная емкость пересечений 5000 аф/смз, пробойное напряжение 40 - 50 в. Предмет изобретения5 Способ создания изоляции соединений в интегральных системах, включающий напыление в вакууме алюминия и фотогравировку, отличающийся тем, что, с целью улучшения характеристик изоляции соединений в интегральных 10 системах и упрощения технологии их изготовления, проводят электрохимическое анодирование конфигурации межсхемных соединений пленки алюминия, напыленной в вакууме, затем защищают фоторезистом контактные пло щадки и внутрисхемные соединения и травятв травителе, не стравливающем пленку окиси алюминия.
СмотретьЗаявка
1177944
В. В. Жуков, В. В. Федотова, Т. С. Петракова
МПК / Метки
МПК: H01L 21/48
Метки: изоляции, интегральных, системах, соединений, создания
Опубликовано: 01.01.1969
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-234525-sposob-sozdaniya-izolyacii-soedinenijj-v-integralnykh-sistemakh.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ создания изоляции соединений в интегральных системах</a>
Устройство управления процессом извлечения соединений алюминия из руды
Номер патента: 976275
Опубликовано: 23.11.1982
Авторы: Агаев, Ахмедов, Гаджиев, Гасанов, Марьяновский, Орбеляни, Пронин, Сологуб, Шварцер
МПК: F27B 15/18
Метки: алюминия, извлечения, процессом, руды, соединений
...задатчиков соединен с дополнительным входом блока обнаружения неисправностей, а выходной канал блока тактовых сигналов соединен с входным каналом логическо-. го блока.На чертеже приведена принципиальная схема предлагаемого устройства.Устройство состоит издатчика 1 температуры, регулятора 2 температуры, датчика 3 расхбда восстановителя, регулятора 4 расхода восстановителя, регулирующего клапана 5, коммутирующего узла 6, 7, 8 и 9, блока 10 тактовых сигналов, блока обнаружения неисправностей, в состав которого входит логический блок 11, сигнальный блок 12, блок 13 обнаружения неисправностей, блоки 14-17 задатчиков скоммутирующими узлами 18-21, задатчика 22, сумматора 23. Блок обнаружения неисправностей состоит иэ входного коммутирующего...
Способ получения галоидалкильных соединений алюминия
Номер патента: 124440
Опубликовано: 01.01.1959
Авторы: Генусов, Позамантир
МПК: C07F 5/06
Метки: алюминия, галоидалкильных, соединений
...углерода: Предмет изобретения Способ получения галоидалкильных соединений алюминия из алюминийорганических соединений, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью упрощения процесса и расширения сырьевой базы, полные или смешанные алюминийорганические соединения обрабатывают галоидными алкилами, содержащими не менее трех атомов углерода. Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Гр, 50 Редактор А. К. Лейкина Подп к печ. 29.Х 11-59 иТираж 410 Цена 25 коп Информационно-издательский отдел. Оъем 0,17 и. л. Зак. 10848 Типография Комитста по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР Москва, Петровка, 4.КзА 1+КХ -КгА 1 Х+К - -К -КгА 1 Х+КХКА 1 Хг+КК -Реакция протекает гладко при комнатной температуре с...
Способ получения щелочно-органических комплексных соединений алюминия или бора
Номер патента: 176534
Опубликовано: 01.01.1965
Авторы: Герберт, Иностранцы, Рольф, Федеративна
МПК: C07F 1/00, C07F 5/02, C07F 5/06
Метки: алюминия, бора, комплексных, соединений, щелочно-органических
...А. А. Камышникова Корректор Ю. М. Федулова Заказ 3709/7 Тираж 675 Формат бум. 60 Х 90/8 Объем 0,16 изд. л. Цена 5 коп. Ц 1.ИИПИ Государственного комитета по делам изобретений и открытий СССР Москва, Центр, пр. Серова, д. 4Типография, пр. Сапунова, 2 Продолткительность реакции 12 - 14 час, После отделения хлорида калия и растворителя получают 37 г твердого кристаллического 1(СНа)в Л 10 Н т. е, 92% от теоретического количества.П р и м е р 4. Опыт проводят, как описано в примере 1, в качестве растворителя применяют тетрагндрофуран. Продолжительность реакции приблизительно 23 час. Выход после переработки практически количественный.П р и м ер 5. 1000 г 0,7%-ной амальгамы натрия (7 г натрия на 0,3 г атол) при температуре 50 С в сухом...
Способ получения соединений алюминия полииминового типа
Номер патента: 549087
Опубликовано: 28.02.1977
МПК: C08F 4/12
Метки: алюминия, полииминового, соединений, типа
...например диметиловый эфир, диэтиловый эфир, метилэтиловый эфир, простые циклические эфиры или их смесями с углеводородами или только углеводородами, Получаемые соединения представляют собой полезные компоненты каталитических систем для полимеризации соединений, содержащих по меньшей мере одну олефиновую ненасыщенность, совместно с соединением переходного металла.П р и м е р 1. 26 ммоль гидрида лития - алюминия в растворе в простом эфире (1 М) прибавляют за 5 мин к 176 мг. атом полииминоалана (в пересчете на А 1), растворенным в 300 мл смеси простого эфира с гептаном (30% диэтилового эфира) при отношении С 1 А 1=0,26, ХА 1=0,97, причем прибавление производится при 45 С и перемешивании. Такие условия поддерживаются в течение 4 час, после...
Способ получения галоидалкильных соединений алюминия
Номер патента: 110579
Опубликовано: 01.01.1957
Авторы: Антонов, Жигач, Казакова, Фрайман
МПК: C07F 5/06
Метки: алюминия, галоидалкильных, соединений
...и гязообразпом 3 идс, я и качестве 1 сточникд агио)Гиняя примеГяют ср 3 жку дораля мирки 16 т. с. силв я,иоминия с 4 - 5 Ч) мед). Процесс ведут в ко,Онпо ЯГ 1 пярятс пспрсрывнОГО дс 1- ствия ири температуре порядка 50.ЬГягодрл тому, что ГдгОцд;лкц з вводится в рея)кцип 3 г 3:300 брзно. иде, обесисчивястс 1 безопасность процесса, так кдк нс вошедший в рсяк 1)ию Гязоооразны Гя,оидГки,1 ие накапливается в реакционной зоне, я выходит из цсс ц конденсируется ог110579 метр). По мере образования вышеуказанной эквимолекулярной смеси она стекает через фонарь в сборник, 1(аждый час добавляют по 0,4 кг дюралевой стружки.Г 1 ри непрерывной работе колонны в течение 122 часов получено 208 к эквимолекулярной смеси хлоридов. Предмет изобретения...
Предыдущий патент: Устройство для измерения переходных характеристик полупроводниковых приборов
Следующий патент: Устройство для возбуждения разряда в газах сверхвысокочастотным полем
Случайный патент: Ленточно-цепной конвейер