Тигель для испарения материалов в вакууме
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
ОПИСАНИф ИЗОБРЕТЕН ЙЯ Сове Советских Социалистических Республик(22) Заявлено 31.07,72 с присоединением 181601 л. С 23 с 13 явки Ле осударственный комите Совета Министров ССС по делам изобретений.и открытий 2) Приоритет Опубликовано 05.01.75. Бюллст Дата опубликования описания 53) УДК 621,93.14,.002.52 (088.8) ь Л 7.02.75 72) Авторы изобретенц Д. Клебанов и В. арок 71) Заявитель ИСПАРЕНИЯ МАТЕРИАЛОВ В ВАКУУМ 4) ТИГЕЛЬ Тигель 1 выполнен из диборида титана с молибденовой связкой и органическим пластифцкатором и имеет в дне капцллярные каналы 2. В рабочем положении тигель подвешивают на вольфрамовой проволоке 3 к водоохлаждаемому держателю 4. Поток электронов 5 от,нити накала 6, ускоренных высоким напряжением, приложенным между нитью и тиглем, нагревает тигель 1, преимущественно дно. Расплавленный металл 7 вытекает через капилляры на внешнюю поверхность тигля, преимущественно дно, и, испаряясь, создает поток нейтральных атомов 8. Крышка 9 устраняет испарение материала вверх, выполняет функции экрана. Боковые отверстия 10 служат для откачки виутренней полости тигля,мет изобретени Тигель для ис ме, отличающ вышения качеств электрбэнергиц п 25 противоположнох ля, стенки и дно капиллярными кИзобретение относится к области нанесенияпокрытий в вакууме и может быть использовано для получения покрытий методом термического испарения.Известен тигель для испарения материаловв вакууме. Для получения потока паров в направлении вне зоны видимости открытой поверхности испаряемого материала в тигле егооснащают экранами, нагреваемыми до высокой температуры, установленными над тиглем 10и направляющими поток нейтральных атомоввниз. Однако отмечается необходимость нагрева экранов до температуры порядка температуры испарения материалов покрытия, чтосопровождается резким усложнением конструкции устройства, увеличением энергетических затрат и наличием мертвой зоны внижней полусфере цз-за экранирующего действия собственно тигля,Цель изобретения - повышение качества 2покрытий, снижение затрат электроэнергиипри испарении в направлении, противоположном открытой поверхности тигля, Это достигается тем, что стенки и дно тигля снабженысквозными капиллярными каналами.На чертеже представлен предложенный тигель,411 456053 парения материалов в вакууи й с я тем, что, с целью по- а покрытий, снижения затрат рц испарении в направлении,открытой поверхности тцгтигля снабжены сквозными аналами,Заказ 284/17 Изд.266 Тираж 962 Подписное ЦНИИПИ Государственного комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий Москва, Ж, Раушскаи наб д, 4/5 Типография, пр. Сапунова, 2
СмотретьЗаявка
1816013, 31.07.1972
ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ А-7697
КЛЕБАНОВ ЮРИЙ ДАНИЛОВИЧ, СУМАРОКОВ ВЯЧЕСЛАВ НИКОЛАЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 13/12
Метки: вакууме, испарения, тигель
Опубликовано: 05.01.1975
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-456053-tigel-dlya-ispareniya-materialov-v-vakuume.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Тигель для испарения материалов в вакууме</a>
Предыдущий патент: Способ химико-термической обработки полых деталей
Следующий патент: Электролит для получения перекиси свинца
Случайный патент: Электронный коммутатор