Электронный микроскоп-анализатор

Союз СоветскихСоциалистическихРеслублин Зависимое от авт. свидетельстваЗаявлено 29.Х 1.1971 ( 1718748/26-25) М. Кл, Н 011 37(2 присоединением заявкиаоударотвенньй комитетСовета Инннотров АЗССРоо делам нзооретенийи открытий ПриоритетОпубликовано ОЗ.Х,1973. Бюллетень3Дата опубликования описания 14.11,1974 УДК 621.385.833 (088,Авторь изобрет ия П, П. Барзилович, Н, С, Пушкарь, В, А. Кобыляков, Т. П. Гладких,В. М. Яременко, В. Н, Капличный, Э, А, Шуляк, А. С, Капрельянц,А. А. Наконечный, Ю. А. Иткин, П. А. Павленко и А. А. Цуцаева Харьковский институт усовершенствования врачей и Сумской завод электронных микроскоповповышение15 Изобретение относится к электронным микроскопам просвечивающего типа с развертывающим лучом.Известно использование электронных микроскопов в качестве анализаторов. Такие 5 электронные микроскопы-анализаторы содержат лреобразователи электронно-оптического изображения в электрические сигналы, например при помощи различных типов телевизионных передающих трубок. 10Однако известные микроскопы-анализаторы имеют сравнительно низкую чувствительность и недостаточное разрешение.Целью изобретения являетсячувствительности и разрешения.Для этого в качестве преобразователя электронно-оптического изображения в электрические сигналы использован сцинтиллятор с фотоэлектронным умножителем, расположенные за неподвижной сканирующей диафраг мой по ходу электронного луча.Изобретение отояснено чертежом.На чертеже приведена блок-схема устройства.Электронный микроскоп-анализатор содер жит электронную пушку 1, анод 2, конденсатор 3, линзу 4 объективапромежуточную линзу 5 и диафрагму 6.Между линзой 4 объектива и лромежуточной линзой 5 установлена отклоняющая си стема 7. Против отверстия 8 установлен сцинтиллятор 9, за которым расположен фотоэлектронный умножитель 10, выход которого через видеоусилитель 11 соединен с кинескопом 12, а через катодный повторитель 13 и интегрирующую цепочку 14 соединен с амплитудным анализатором 15 или с коррелятором. Генератор 16 медленных разверток соединен с отклоняющей системой 7 микроскопа и разверткой кинескопа 12. В колонне электронного микроскопа электронный луч из электронной, пушки 1, ускоренный анодом 2 и сфокусированный линзой 4, попадает на объект 17.Электронно-оптическое изображение исследуемого объекта 17 при помощи отклоняющей системы 7 перемещается ло строкам и кадрам относительно диафрагмы 6. Благодаря этому перемещению, производится сканирование электронного изображения по строкам и кадрам. Электроны, выходящие из диафрагмы 6 с энергией, определяемой ускоряющим напряжением микроскопа, попадают на сцин. тиллятор 9 и вызывают вспышку, которая регистрируется фотоэлектронным умножителем (ФЭУ) 10. На выходе ФЭУ 10 получается поток импульсов, частота которых соответствует электронной плотности изображения объекта.Затем сигнал поступает через катодный повторитель 13 на интегрирующую цепочку 14. Затем непрерывный сигнал квантуется и с выхода интегрирующей цепочки 14 поступает на вход анализирующего устройства амплитудного анализатора 15 или коррелятора. При необходимости сигнал с выхода ФЭУ 10 подают на видеоусилитель 11 затем на модулятор кинескопа 12. Синхронность разверток кинескопа 12 и отклоняющей системы 7 микроскопа обеспечит получение изображения на телевизионном экране. В качестве датчика системы преобразования ,применен сцинтилляционный счетчик, способный фиксировать плотности электронного потока порядка 10 в " в 10 в " а/см, что обеспечивает высокую чувствительность прибора,Система преобразования включает в себя следующие основные элементы: генератор 1 б медленных разверток, отклоняющую систему 7, неподвижную диафрагму 6, сцинтилляционный счетчик (сцинтиллятор 9 в сочетании с фотоэлектронным умножителем 10).Электронный микроскоп-анализатор,позволяет, кроме визуального и фотографического исследований, проводить машинный анализ структур по их статистическим характеристикам, в основу которого положен анализ сигнала (в анализаторе 15), полученного при сканировании электронно-оптического изображения на выходе системы преобразования.Формирование сигнала, который подлежит обработке в амплитудном анализаторе, осуществляется следующим образом. Временное распределение импульсовполученное на выходе сцинтилляционного счетчика, несет информацию о пространственном распределении электронной плотности изображения исследуемого объекта (при сканировании,по строкам и кадрам электронно-оптического изображения).5 В блоке 14 импульсы усиливаются, формируются триггером Шмидта, затем интегрируются и подаются в анализатор 15, В результате амплитудного анализа рассчитываются первые четыре момента функции распределе ния амплитуд: математическое ожиданиеМдисперсия - О, асимметрия - 5 к, эксцесс - ЕхЭти параметры специфичны для каждоймикроструктуры и дают возможность описа ния микроструктуры электронно-микроскопического изображения в аналитической форме.Предмет изобретен и я20Электронный микроскоп-анализатор просвечивающего типа, например биологическихобъектов, содержащий электронно-оптическуюсистему, отклоняющую систему, обеспечиваю 25 щую медленные развертки электронного лучапо строкам и кадрам, диафрагму с регистрирующим устройством, включающим преобразователь электронно-оптического изображенияв электрические сигналы, отличающийся тем,З 0 что, с целью повышения чувствительности иразрешения электронного микроскопа-анализаторав качестве преобразователя электронно-оптического изображения в электрическиесигналы использован сцинтиллятор с фотоЗ 5 электронным умножителем, расположенные занеподвижной сканирующей диафрагмой походу электронного луча,Заказ 206/9ЦНИИП ПодписноСССР Типография, пр. Сапунова,Изд.4 о осударственного комитета по делам изобретений и Москва, Ж.35, Раушская