Резистивный материал

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОцИАЛИСГИЧЕСКИХРЕСПУЬЛИК 51)5 Н 01 В 1/О ЕТЕН рези- рэбоностьснитут им,2 вныи а ко): ко,3, - 2,0-2,5 14,0-14,3 ГОСУДА Р СТВЕ ННЫ Й КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(56) К,М.ч"чаге, О.,.Мсче, гоп бззбе аза тпегеоеесгс депегатог гпатега. Ргос.ЕЕ, 1964, ч.111, й 1, рр.178-182.Мьюрарка Ш. Силициды для СБИС М.,"Мир", 1986, 176 с,Веззтапсе патега Ьазеб оп тоуЬбепиезсбе, гоп зсбе апб дазз тгт, Ма 1 зозтаЕессг. лб. Со. арап КоМа 76 95,294 (С, Н 01В 1/04) 20 Аод. 1976 Арр, 75/21.199 12 ГеЬ.1975 Зрр. Изобретение относится к области резистивных материалов и может быть преимущественно использовано для изготовления резисторов и резистивных элементов схем, работающих в диапазоне 300-900 К.В литературе описан ряд материалов с содержанием дисилицида железа, описываемого формулой Ре 92. Дешевизна, недефицитность, жаропрочность, способность работать на воздухе, в вакууме и в агрессивных средах при повышенных температурах делают эти материалы перспективными для применения в изготовлении резисторов и реэистивных элементов интегральных схем. Основным параметром резистивного материала является удельное электросопротивление г и температурный коэффициент электросопротивления (ТКС), Недостатком имеющихся материалов является большая величина ТКС и узкий температурный диапазон. Известен также материал, описывае 1775733 А(54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ (57) Использование, для изготовления сторов и резистивйых элементов схем тающих в диапазоне 300-800 К. Сущ изобретения: материал обеспечивае жение ТКС по сравнению с известным раза. Это достигается тем, что резист материал включает дисилицид желе балы и/или никель и тантал (мэс.0 балы и/или никель 2,0-2,5, тантал 14,0 дисилицид железа - остальное. 1 табл мый формулой ЧзЯ 21, который обладает аналогичными электрическими свойствами. Недостатком этого материала является его относительно высокая стоимость и большая величина ТКС. Наиболее близким по технической сущности является материал, принятый за прототип 3), Он содержит дисилицид железа и дисилицид молибдена в соотношении (мас. Д) 10;90. Он работает в диапазоне 300-400 К, Недостатком данного материала является значительная величина ТКС, Целью изобретения является уменьшение величины ТКС. Указанная цель достигается тем, что известный резистивный материал, содержащий дисилицид железа, согласно формуле изобретен 1 я дополнительно содержит кобальт и/или никель и тантал при следующем соотношении ингредиентов (мас. ):кобальт и/или никельтанталдисилицид железа - остальное Дополнительное введение в состав известного резистивного материала новых компонентов - кобальта и/или никеля в количестве 2,0-2,5 мас, о/, и тантала в количестве 14,0-14,3 мась, как было установлено авторами, способствовало заметному уменьшению ТКС, При содержании кобальта и/или никеля менее 2,0 мас. и тантала менее 14 мас.=,ь и содержании кобальта и/или никеля более 2,5 мас,ф и тантала более 14,3 мас.величина ТКС больше, чем в материале прототипе, Исследования показали, что кобальт и никель и их смесь взятая в пределах указанных в формуле изобретения независимо от соотношения элементов, входящих в ее состав, оказывают одинаковое влияние на электрические свойства материала,При содержании кобальта и/или никеля и тантала в пределах, указанных в формуле изобретения величина ТКС меньше, чем в лучших резистивных материалах на основе дисилицида железа.Исходя из известных свойств тантала нельзя было предположить, что введение его в известный. материал уменьшит ТКС, о чем свидетельствует отсутствие в настоящее время сведений в патентной и научнотехнической литературе, касаюцихся влияния тантала на электрические свойства дисилицида железа, Что касается кобальта и никеля, то в литературе имеются сведения о их влиянии на электрические свойства дисилицида железа, но при этом зависимость электросопротивления от температуры имеет типично полупроводниковый характер, В тоже время, авторами в ходе экспериментальных исследований было установлено, что при одновременном введении кобальта и/или никеля и тантала происходит изменение механизма проводимости, следствием чего является резкое уменьшение ТКС, Что касается процентного содержания кобальта и/или никеля и тантала, а также соотноше ния всех ингредиентов предлагаемого резистивного материала, то они получены также в результате экспериментального исследования.Для приготовления образцов материала 10 нами использовались дисилицид железа,тантал, кобальт и/или никель. Синтез материала проводился путем сплавления в печи сопротивления в атмосфере аргона в корундизовых тиглях при температуре 1600 К ди силицида железа и добавок, взятых всоотношениях, указанных в таблице. С целью наиболее полного растворения добавок и уплотнения слитков во время плавки применялась вибрация с частотой 50-150 Гц.20 Для изменения фазового состава образцыматериала подвергались отжигу в атмосфере аргона при температуре 1000 К в течение 200 часов, Измерения электросопротивления полученных материалов приведены на 25 фиг.1, Величины ТКС приведены в таблице.Таким образом, заявляемый материал,как следует из анализа данных приведенных в таблице, имеет ТКС меньший, чем у материала-прототипа.30Формула изобретения Резистивный материал, содержащийдисилициджелеза,отличающийся тем, что, с целью уменьшения температурного 35 коэффициента электросопротивления, ондополнительно содержит кобальт и/или никель и тантал при следующих соотношениях ингредиентов,мас.:кобальт и/или никель - 2,0-2,5 40 тантал - 14,0-14,3дисилицид железа - остальное.