Электронный микроскоп для исследования процессов молекулярно-лучевой эпитаксии

союз сОВетскихСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ 72702 РЕСПУБЛИК Й 23/225 АВТО Из тронно ованоГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯПРИ ГКНТ СССР ОПИСАНИЕ ИЗОБ КОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ(71) Институт физики полупроводников Сибирского отделения АН СССР(56) Авторское свидетельство СССР М 1069030, кл, Н 01.3 37/26, 198.Крошков А,А, и др, Устройство для диф- ференциальной сверхвысоковакуумной откачки электронного микроскопа. - ПТЭ, 1985, М 1, с,199 - 202 (прототип);(54) ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОПДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ(57) Изобретение относится к технике электронной микроскопии и может быть исполь- . зовано в технологии полупроводников, Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронномикобретение относится к технике элекй микроскопии и может быть использ в технологии полупроводников,Целью изобретения является повышение оперативности и качества электронно- микроскопических исследований процессов молекулярно-лучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации этих условий без нарушения сверхвысокого вакуума, в зоне исследований. Сущность изобретения иллюстрируется чертежом, на котором показан разрез микроскопа,сЕНИЯ, .;,,роскопических исследований процессов молекулярно-лучевой эпитаксии непосредственно в приборе за счет обеспечения более чистых условий взаимодействия молекулярного пучка с образцами и вариации этих условий без нарушения вакуумных условий в зоне исследований, Электронный микроскоп содержит полый цилиндр с отверстиями в торцевых крышках и в боковой стенке. Стенки цилиндра охлаждаются до криогенных температур. На оконечной части по. движного штока шлюзового устройства установлен источник молекулярного пучка и предусмотрено посадочное место для сменного объектодержателя, Оконечная часть штока по форме и размерам в поперечном сечении идентична отверстию в боковой стенке цилиндра и может служить заглушкой для этого отверстия. В результате обеспечивается быстрая смена образца и/или источника пучка.и более чистые условия исследований. 1 с,п.ф, 1 з,п,ф 1 ил. Электронный микроскоп содержит систему дифференциальной криогенной откачки, которая представляет собой полый цилиндр 1, установленный по оптической оси микроскопа. Боковые стенки цилиндра выполнены с внутренними каналами 2, которые соединяются с источником хладагента, например жидкого азота. В торцевых крышках цилиндра выполнены осевые отверстия 3 для входа и выхода электронного пучка. Внутри цилиндра размещен образец 4 на объектодержателе 5. В боковой стенке цилиндра напротив образца выполнено отверстие 6. которое в поперечном сечении идентично по форме и размерам оконечной части 7 штока 8 шлюзового устройства 91772702 Составитель В.ГаврюшинТехред М,Моргентал .Корректор Л,Ф актор Заказ 3841 ВНИИПИ Гос Подписноепо изобретениям.и открытия-35, Раушская наб, 4 И Тиражственного комите113035, Москва и ГКНТ СССР изводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул на, 101 микроскопа, На торце указанной части 7 установлен источник 10 молекулярного пучка и может быть выполнено посадочное место объектодержателя,Микроскоп работает следующим абра зом. После откачки колонн в каналы 2 цилиндра 1 подается жидкий азот для вымораживания остаточных газов в полости цилиндра. Образец закрепляется в объектодержателе и через шлюзовое устройство с 10 помощью штока 8 устанавливается внутри цилиндра. При этом оконечная часть 7 штока 8 проходит через отверстие 6 насквозь. При движении штока в обратном направлении оконечная часть штока устанавливается 15 в отверстии 6, выполняя роль заглушки и обеспечивал квазизамкнутость внутреннего объема цилиндра. При необходимости возможна индивидуальная схема источника 10 молекулярного пучка или образца через 20 шлюзовоеустройство или одновременно того и другого., Это позволяет обеспечить с одной стороны оперативность исследований различных процессов на разных образцах в одинаковых условиях, а с другой - 25 исключить влияние элементов конструкций, условий вакуума и др, за счет расположения источника молекулярного пучка непосредственно в зоне сверхвысокого вакуума вблизи исследуемого образца.Формула изобретения 1. Электронный микроскоп для исследования процессов молекулярно-лучевой эпитаксии, содержащий установленный по оптической оси полый цилиндр с отверстиями в торцевых крышках и боковой стенке и с выполненными в стенках каналами, соединенными с источником хладагента, шлюзовое устройство с подвижным штоком, источник молекулярного пучка и обьектодержатель, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения оперативности и качества электронномикроскопических исследований непосредственно в приборе, источник молекулярного пучка установлен на оконечной части штока шлюзового устройства, причем оконечная часть в поперечном сечении идентична по форме и размерам отверстию в боковой стенке цилиндра.2, Электронный микроскоп по п.1, о тл ич а ю щ и й с я тем, что оконечная часть штока шлюзового устройства снабжена посадочным местом объектодержателя.