Способ удаления защитных полимерных покрытий
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
)5 СО ЕТЕ ПИСАН АВТОРСКОМУ И ДЕТЕЛ ЬСТВУ 0сследовательский инЖора, И,А,Тучинский к способа ых матер оверхнос ла, напр отказов м удаалов ь помер, икроСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИ И ГКНТ СССР. 252-100, опублик. 1968.ША. , 134/3, опублик. 1981. Изобретение относится ления защитных полимер (покрытий), нанесенных на лупроводникового криста при проведении анализа схем.Целью изобретения является повышение скорости удаления покрытий.Раствор неорганической кислотной смывки готовят следующим образом,Взвешивают расчетное количество хромового ангидрида и растворяют его в расчетном количестве воды при помощи стеклянной палочки.Затем в полученный раствор при перемешивании небольшими порциями добавляют соответствующие количества серной и азотной кислоты, В таблице представлены примеры, иллюстрирующие данный способ и данные по эффективности способа,Анализируемые микросхемы были защищены различными полимерными материалами-лаками 159 - 191, .159-167; АД, компаундами серии КЭН, при этом толщина 1719417 А 1(54) СПОСОБ УДАЛЕНИЯ ЗАЩИТНЫХ ПОЛИМЕРНЫХ ПОКРЫТИЙ(57) Изобретение относится к удалению покрытий, в частности к поверхности полупроводниковых кристаллов. Изобретение позволяет повысить скорость удаления покрытий за счет осуществления способа удаления путем обработки изделий с покрытием в водном растворе смывки при 70-80 С, в качестве которой используют кислотную смывку состава, мас.ч.: хромовый ангидрид 1 5 - 2,5; азотная кислота (уд, вес, 1,42 г/см4,0 - 7,0; серная кислота (уд, вес, 1,83 г/см ) 120,0 - 180,0; вода 1,5-2,5, 1 табл. покрытия составляла от нескольких десятков (для АД 9103 ИС) до нескольких сотен (для 159 - 191, 159 - 167,КЭН 1, КЭН 2, КЭНЗ) микрон. Лаки 159 - 191 и 159 - 167 представляют собой смесь коемнийорганического винилсодержащего каучука олигометилгидридметилсилоксана с катализатором-(П - 1 или АП - 1) и с различными наполнителями, например двуокисью титана, Лак АД - 9103 ИС является раствором полиамидокислоты в диметилформамиде, Компаунды серии КЭН представляютсобой кремний - органический эластичный низкомолекулярный материал с наполнителем.Микросхемы в соответствии с данным способом помещают в раствор и обрабатывают в соответствии с технологическими режимами, указанными в таблице, После обработки изделия промывают в проточной деионизированной воде не менее 2 мин. Полноту удаления материалов и устойчивость кристаллов микросхем контролируют с помощью микроскопа ПМТ - 3 при 130" уве-личении.1719417 Компоненты, мас. ч технологические ревимы и характеристики про- цесса Показатель по примеруб Известныйе г ее е Хромовый ангидридАзотная кислота (уд,вес1,42 г/смз) 2,0 2,0 2,5 2,5 11 52,0 52,0 15 . 15 Вода 2,5 2 5 Серная кислота (уд.вес1,83 г/смз)Температура,с 150802 120 120 150705 180 180 80 70 80 43"82 70 Время обработки, мин 2 120 Полная Полная Полная Полная Полная Полная ЧастичнаяБез под- Подтравлитравли- ванйе А 1вания Без подтравливания Без поде Без под- Без под- Без подтравли" травли- травли- травливания вания . вания вания Составитель Т.А. 5 ровкинаРедактор Т,Самерханов Техред М,Моргентал Корректор С,Шевкун Заказ 741 Тираж ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 Формула изобретения Способ удаления защитных полимерных покрытий с поверхности полуп роводниковых кристаллов путем обработки их водным раствором смывки на основе неорганической кислоты при 70 - 80 С, о т л и ч аю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости удаления покрытий. в качестве Степень удаления полимерных материаловСостояние поверхности под.ложки (межсоединения,кремний и др ) смывки используют водный раствор, включающий, мас,ч.;Хромовый ангидрид 1,5-2,5Азотная кислота (уд.вес. 1,42 г/смз) 5 4,0-7,0Серная кислота (уд,вес. 1,83 г/смз)120,0 - 180,0Вода 1,5-2,5
СмотретьЗаявка
4745529, 04.08.1989
КИЕВСКИЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ МИКРОПРИБОРОВ
ОСИПОВА ЕКАТЕРИНА ПЕТРОВНА, ЖОРА ВЛАДИМИР ДМИТРИЕВИЧ, ТУЧИНСКИЙ ИГОРЬ АМБРОЗОВИЧ, ШЕРЕВЕНЯ АНДРЕЙ ГРИГОРЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: C09D 9/00
Метки: защитных, покрытий, полимерных, удаления
Опубликовано: 15.03.1992
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1719417-sposob-udaleniya-zashhitnykh-polimernykh-pokrytijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ удаления защитных полимерных покрытий</a>
Способ удаления покрытий
Номер патента: 992554
Опубликовано: 30.01.1983
МПК: C09D 9/00
...5воды) удаление лаков и эмалей, применяемых для покрытия пищевой жести, например ФЛ, ФЛ, ЭП,ЭПг ЭП, ЭП, ФЛ.При обработке известным раствором 10перечисленных пОкрытий имеет местотолько ограниченное набухание полимерной пленки, Для полного удаленияпленки с поверхности необходимажесткая механическая обработка, при 15которой возникает опасность повреждения оловянного покрытия. Дальнейшееповторное использование такой жестипрактически невозможно для пищевыхцелей. 20Цель изобретения - воэможностьудаления покрытий с пищевой жестибез повреждения поверхности жести иуменьшение времени удаления покрытий,Поставленная цель достигаетсятем, что согласно способу удаленияпокрытий с поверхности изделий путемобработки их при иагреваниИ смынкойна...
Электролит для удаления покрытий
Номер патента: 1330219
Опубликовано: 15.08.1987
Авторы: Барсукова, Карпенко, Лойко, Павлюченко, Постникова
МПК: C25F 5/00
Метки: покрытий, удаления, электролит
...найти применение в различных областях техники при удалении покрытий на основе титана,Цель изобретения - обеспечение полного удаления покрытия без растравливация основы.Удаление покрытий проводят при анодцой плотности тока 0,31 А/дм и температуре электролита 70 С.Предлагаемый. электролит готовят растворением кислот в воде.При содержании азотной кислоты менее 6,8% продукты травления удаляются це полностью с поверхности металлической основы, что затрудняет ее пассивацию. При содержании в электролите азотной кислоты более 7,3% происходит частич 1 гое неравномерное растравливание поверхностного слоя основы. При концентрации соляной кислоты менее 6,8% требуются большая плотность тока и большая. временная выдержка обработки электролитом, что...
Раствор для удаления защитных полимерных масок
Номер патента: 540246
Опубликовано: 25.12.1976
Авторы: Новиков, Носков, Петров
МПК: G03C 1/68
Метки: защитных, масок, полимерных, раствор, удаления
...после проведения процесса зии сурьмы составляет 1102 - 2 м - 2 ом эффективно стов, следующе 6 - 4 2 - 34 0 - 64 Однако при удалении защитнойаски данный раствор частичнооверхность кремния.Целью изобретения являетсяечивающий высокую чистоту пеизменном ее рельефе.Эта цель достигается тем, чтоочной раствор введена перекисри следующем соотношенииес. %:Щелочь (например, едкое калиПерекись водородаВодаВ предлагаемый раствор перекведена для предотвращения траью кремния. При этом удается полимерной травливает раствор, обесоверхности при рован ды 12 центр этих диффу в водно-щеь водорода компонентов,) 0,4 - 4,02,0 в 1 0,0 Остальное ись водорода вления щелополучить боствор для удаления змасок с поверхностисодержащий воду ис я тем, что, с целью...
Способ удаления покрытия с поверхно-сти подложек
Номер патента: 835980
Опубликовано: 07.06.1981
Авторы: Зелионкайте, Кривенко, Сидаравичюс, Таурайтене
МПК: C03C 23/00
Метки: поверхно-сти, подложек, покрытия, удаления
...крупнопористого силикагеля, Колбу подсоединяют к обратномухолодильнику и кипятят в те чение 25 мин, После чего в этот раствор помещают образец дюралиминиевой подложки электрофотографического . цилиндра (размер образца 2 х 25 х 55 мм) с покрытием триселенида мышьяка тол щиной около 20 мкм и раствор.с образцом кипятят в течение 40 мин.,- т,е. примерно в 4 раза дольше, чем этого требуется для полного растворения покрытия. Поверхность подложки полностью сохранилась, на ней не обнаружено ни малейшего дефекта: ни цветных пленок, ни пятен, ни каких-либо заметных изменений,П р и м е. р 2. К 5 л 70-ного раствора эхилендиамина, в реакторе из нержавеющей стали добавляют 0,05 гранулированного мелкопористого силикагеля и .раствор...
Раствор для удаления покрытий на основе сплава олово-свинец
Номер патента: 1382881
Опубликовано: 23.03.1988
Авторы: Петрошень, Соловьева, Ткач
МПК: C25F 5/00
Метки: олово-свинец, основе, покрытий, раствор, сплава, удаления
...мл дистиллированной воды, к полученному раствору добавляют воду до(1000 мл-Б)р где Б - количество доливаемой кислоты (И = 370 - 430 мп),Затем осторожно доливают кремнейтористоводородную кислоту до объема,1 л.11 ри содержании кремнеФтористоводородной кислоты до 350 мл/л и азотнокислого аммония до 10 г/л удалениепокрытия происходит очень медленнои неравномерно, Увеличение количества кислоты (свыше 430 мл/л) и аммония азотнокислого (свыше 20 г/л)не ведет к уменьшению времени процесса, которое остается в пределах3-8 мин.Результаты исследований приведе 5ны в таблице, Травление ведут при плотности тока 23 А/дмр температуре 20 -22 С. Шлиф каждого контакта анализируют метвллографическим методом.Подтравливание подложки наблюдают визуально под...
Предыдущий патент: Способ получения пищевого красителя
Следующий патент: Термореактивная композиция для покрытия
Случайный патент: Способ выделения перекиси водорода из раствора