Способ соединения полупроводникового кристалла с кристаллодержателем
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1674293
Автор: Суворов
Текст
. Л, с,ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ И АВТОРСКО ИДЕТЕЛЬСТ томотоэОктября о 626, кл. 93/5 с 2 ство СССР58, 1979,ИЯ ПОЛУПРОВОДА С КРИСТАЛЛОся к микроэлектрользовано при изгоГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТПРИ ГКНТ СССР(71) Калужский завод аврудовэния им,.60-летия(56) Заявка Японии йг 501975.Авторское свидетельМ 730202, кл. Н 01 1. 21/(54) СПОСОБ СОЕДИНЕННИКОВОГО КРИСТАЛЛДЕРЖАТЕЛЕМ(57) Изобретение относинике и может быть испо Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полупроводниковых приборов.Цель изобретения - повышение надежности соединения.Сущность изобретения заключается в том, что на соединяемые поверхности кристалла и кристаллодержателя наносят слои металла: на кристалл - магний, на кристаллодержатель - алюминий, между ними размещают припойную прокладку из алюминий-магниевого сплава электрического состава, нагревают детали до 450- 750 С, при которой образуется жидкая прослойка, выдерживают и охлаждают до формирования паяного шва.П р и м е р. На кристаллодержатель наносят слой алюминия толщиной 2,7 мкм, а на кристалл напыляют слой магния толщитовлении полупроводниковых приборов. Цель изобретения - повышение надежности соединения. На кристаллодержатель наносят слой алюминия толщиной 2,7 мкм,а на кристалл напыляют слой магния толщиной 1,75 мкм, Температуру нэ рабочем столике устанавливают равной 450-750 С. Кристэллодержатель из ковара помещают на столик и прогревают, наносят на поверхность кристаллодержателя прокладку из звтектики магний - алюминий и присоединяют кристалл в течение 2 с в нейтральной среде, при этом повышается устойчивость полупроводниковых приборов к механическим и климатическим воздействиям. ной 1,75 мкм, Температуру на рабочем столике устанавливают равной 450-750 С. Кристаллодержатель из ковара помещают на столик и прогревают до заданной температуры. С помощью пинцета наносят на поверхность кристаллодержателя прокладку из эвтектики магний- алюминий площадью 0,16 мм, а затем присоединяют кристалл втечение 2 с в нейтральной среде.Применение данного способа позволяет повысить устойчивость полупроводниковых приборов к механическим и климатическим воздействиям.,Формула изобретения Способ соединения полупроводникового ристалла с кристэллодержателем, включащий нанесение слоев металла на соединяЗаказ 2931 Тираж 361 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 ПроизводствеРс издательский комбинат "Патент", г. Ужгород, ул.Гагарина, 101 емые поверхности кристалла и кристаллодержателя, размещение между ними припойной прокладки эвтектического состава, нагрев до образования из прокладки жидкой прослойки, выдержку и охлаждения до формирования паяного шва, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения надежности соединения, в качестве металла, наносимого на поверхность кристалла, используют магний, а на поверхность кристаллодержателя - алюминий, используют 5 прокладку из алюминий-магниевого сплава,а температуру нагрева выбирают равной 450-750 С.
СмотретьЗаявка
4441498, 15.06.1988
КАЛУЖСКИЙ ЗАВОД АВТОМОТОЭЛЕКТРООБОРУДОВАНИЯ ИМ. 60-ЛЕТИЯ ОКТЯБРЯ
СУВОРОВ ВЛАДИМИР АЛЕКСАНДРОВИЧ
МПК / Метки
МПК: H01L 21/58
Метки: кристалла, кристаллодержателем, полупроводникового, соединения
Опубликовано: 30.08.1991
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1674293-sposob-soedineniya-poluprovodnikovogo-kristalla-s-kristalloderzhatelem.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Способ соединения полупроводникового кристалла с кристаллодержателем</a>
Предыдущий патент: Газоразрядный источник света
Следующий патент: Носитель для монтажа интегральной схемы
Случайный патент: Способ определения вертикальных сил взаимодействия двух сцепленных вагонов