Лазерный интерференционный плоскомер

Номер патента: 1668864

Авторы: Карпова, Смирнов, Шаркин

ZIP архив

Текст

(51)5 6 01 8 11/30 ПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН АВТОРСКО ВИДЕТЕЛЬСТВ КарпониЛ я промышлен- РЕНЦИОННЫЙ к средствам изолинейности и тения является ия отклонения ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР(57) Изобретение относитсямерения отклонения от прямплоскостности. Целью изобреповышение точности измере от плоскостности и прямолинейности. Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блок на уголковый отражатель 14, проходит оптические клинья 10 и 11 и попадает на уголковый отражатель 9, проходит через оптические клинья 12 и 13 и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3, При перемещении измерительного блока . по контролируемой поверхности происходит изменение оптической длины пути лазерного луча, который и характеризует отклонение. 1 ил.1668864 Составитель Н, ЗахаренкоРедактор О, Головач Техред М.Моргентал Корректор О, Кундрик Заказ 2649 Тираж 57Подписное ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР 113035, Москва, Ж, Раушская наб., 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г. ужгород, ул.Гагарина, 101 Изобретение относится к средствам измерения отклонения от прямолинейности иплоскостности,Цель изобретения - повышение точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности.На чертеже представлена схема плоскомера.Лазерный интерференционный плоскомер содержит последовательно расположенные лазерный интерферометр 1, плоскоезеркало 2, установленное с возможностьювращения перпендикулярно оптическойоси, визирную, марку 3 и блок обработкиинформации, измерительный блок в видеустановленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса 5 с тремя наконечниками 6 - 8, один из которыхустановлен с возможностью перемещенияперпендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оптической оси корпуса 5 уголкового отражателя9, двух пар оптических клиньев 10, 11 и 12,13 и второго уголкового отражателя 14.Плоскомер содержит также две оптические пластины 15 и 16, расположенные с-1противоположных сторон корпуса 5 и предназначенных для создания замкнутой оптической системыПлоскомер работает следующим образом,Луч лазерного интерферометра 1 направляется плоским зеркалом 2 через оптическую пластину 15 в измерительный блокна уголковый отражатель 14, отразившисьот которого проходит оптические клинья 10и 11, отражатель 9, отразившись от него, лучпроходит вторую пару оптических клиньев 12 и 13, преломляется и, отразившись от грани призмы 14, направляется в визирную марку 3. При перемещении измерительного блока по контролируемой поверхности на конечник 7 и измерительный блок перемещаются в вертикальной плоскости, что влечет за собой изменение оптической длины пути лазерного луча, величина которого характеризует отклонение от прямолиней ности и плоскостности,Формула изобретения Лазерный интерференционный плоскомер, содержащий последовательно распо ложенные лазерный интерферометр,плоское зеркало, установленное с возможностью перемещения в направлении, перпендикулярном оптической оси, визирную марку и блок обработки информации, свя эанный с лазерным интерферометром, о тл и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности измерения отклонения от плоскостности и прямолинейности, он снабжен измерительным блоком, выпол ненным в виде установленного с возможностью перемещения вдоль оси корпуса с тремя наконечниками, один из которых уС- тановлен симметрично относительно двух других с воэможностью перемещения пер пендикулярно оптической оси, и последовательно расположенных вдоль оси корпуса уголкового отражателя, ориентированного основанием параллельно оптической оси и скрепляемого с подвижным наконечником, 35 двух пар оптических клиньев, ориентированных основаниями в противоположные стороны, и второго уголкового отражателя, ориентированного аналогично первому,

Смотреть

Заявка

4663317, 16.03.1989

ПРЕДПРИЯТИЕ ПЯ В-2190

СМИРНОВ АЛЕКСЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ШАРКИН АНАТОЛИЙ МИХАЙЛОВИЧ, КАРПОВА ЛЮБОВЬ АНАТОЛЬЕВНА

МПК / Метки

МПК: G01B 11/30

Метки: интерференционный, лазерный, плоскомер

Опубликовано: 07.08.1991

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1668864-lazernyjj-interferencionnyjj-ploskomer.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Лазерный интерференционный плоскомер</a>

Похожие патенты