Устройство для стробирования электронного зонда

ОПИСАНИЕИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ и 1911650 Союз СоветскихСоциалистическихРеспублик(22) Заявлено 040680 (21) 2936135/18-21 с присоединением заявки Йо Н 01 7 37/26 Госуларствеипый йомитет СССР но лелам изобретений и открытий) УСТРОЙС кой ся ек- сов ин и техниче ьФ являе вания эл ройство рования их пласэким полагаемостробироЭто усды бланктклоняющ Наиболее бл сущности к пр устройство дл тронного зонд держит электр виде двух пар диафрагмы. 2 30 Изобретение относится к электронной микроскопии и предназначено длястробирования электронного зонда вэлектроннооптических системах (растровыйи просвечивающий электронныймикроскоп, электронограф, рентгеновские микроанализаторы и т.п.) при, исследовании динамических процессов.Известны системы стробированияэлектронного зонда, содержащие электроды той или иной конфигурации,на которые подаются бланкирующиеимпульсы напряжения, осуществляющие.периодическую отсечку электронныхпучков 1).Реализация таких устройств свя"зана с большими техническими трудностями, обусловленными переделкойотдельных узлов прибора. При этомтеряется разрешение, а быстродейст"Вие системы невелико,Однако такой электронный затвортребует .большого импульсного напряжения отсечки, обладает недостаточными чувствительностью и временнымразрешением. Вызваны эти недостаткитем обстоятельством, что система издвух плоскопараллельных пластин обла"дает довольно большой емкостью, чтоуменьшает быстродействие устройства,а также тем, что при отклонении высокоэнергетичных пучков требуется большая напряженность однородного полямежду пластинами, создание которогов импульсном режиме затруднительно.Цель изобретения - повышение чувствительности и временного разрешения.Указанная цель достигается тем, О что в УСтройстве стробирования электоронного зонда, содержащем электроды бланкирования и диафрагмУ, один из электродов выполнен в виде поло" вины полого цилиндра, ось которого совпадает с электронно-оптической осью, а другой т в виде заостренной пластины с линией острия, размещенной в продольной плоскости симметрии первого электрода.На чертеже представлена схема (устройства.911650 Формула изобретения ВНИИПИ Заказ 1141/47 Тираж 758 Подписи Филиал ППП "Патент", г,ужгород, ул.Проектная Электронный затвор образован аксиально-симметричными электродами для создания неоднородного радиального поля. Электрод 1-полуцилиндрическай Формы, ось внутреннего канала которого совпадает с оптической 5 осью микроскопа, Электрод выполнен в виде острия 2 пластины (лезвия), линия которого совпадает с образующей электронного зонада. Электрон" ный зонд 3 взаимодействует с диафраг )О мой 4. При подаче, постоянного или импульсного напряжения на электроды у отрия 2 создается большая напряженность электрического поля, под действием которого электронный зонд 3 сме 15 щается и прерывается на апертурной диафрагме 4,Напряженность радиального поля у края острия 2 достигает весьма значительной величины даже при малых амплитудах строб-импульсов. Так, при подаче на острие импульса амплитудой 3 В происходит полная отсечка электронного зонда 3 на диафрагме 4 при ускоряющем напряжении прибора 30 кВ (радиус цилиндрического канала 2 мм, радиус закругления острия лезвия 2 мкм, высота всего устройства 25 мм). Величина импульса отсечки на порядок меньше (т,е. чувствительность на порядок лучше), чем при использовании общепринятой известной системы с . однородным полем, создаваемым обычно устройством с двумя плоскими пластинами, или их вариациями,Временные характеристики предлагаемой системы в несколько раз лучше, чем у известных, так как уменьшается межэлектродная емкость.Эксперименты подтверждают целесообразность применения предлагаемого 4 Од стробирующего устройства для отсечки электронного пучка как при исследовании кинетики временных процессов и динамики явлений, так и в методах повышения пространственного разрешения, а также при резонансном вырелении слабых сигналов на Фоне спектрального неоднородного шума.Устройство можно легко использовать на всех серийных электронных микроскопах и других электроннозондовых приборах..Устройство для стробирования электронного зонда; содержащее электро.ды бланкирования и диафрагму, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения чувствительности и временного разрешения, один из.электродов бланкирования выполнен в виде половины полого цилиндра, ось которого совпадает с электронно-оптической осью, а другой - в виде заостренной пластины с линией острия, размещенной в продольной плоскости симметрии первого электрода. Источники информации,принятые во внимание при экспертизе1. Деркач В.П Кияшко Г.Ф.,Кухарчук М.С. Электроннозондовые устройства. Киев, "Наукова Думка", 1974,с. 136-138.2. Спивак Г.В. и др . О применениизатворов с отклоняющими пластинами встробоскопических электронных микро- .скопах Известия АН СССР, Серия физическая, 196.8, т.32, Р 7, с. 11111114 (прототип),