Способ определения параметров шероховатости оптической поверхности

СОВХОЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 83 19) (11) 5 С 01 В 11/30 8 й Н 33:-ц 4,ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ов им. Пательо, в вляют ым угГОСУДАРСТВЕ ННЫИ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬС(71) Университет дружбы народриса Лумумбы(56) Скрелина А.Л, Фотометрический способоценки высоты неровностей поверхностипрозрачных образцов. - Оптико-механическая промышленность, 1983, М 2, с. 1-3.(54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ ПАРАМЕТРОВ ШЕРОХОВАТОСТИ ОПТИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ(57) Изобретение относится к измеригельной технике и может быть использовано, вчастности, для определения параметров шероховатости оптической поверхности. Цельизобретения - повышение точности иэмереИзобретение относится к измерит ной технике и может быть использован частности для определения параметров шероховатости оптической поверхности.Целью изобретения является повышение точности измерения и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения, кроме величины среднеквадратичного отклонения поверхности, еще и характерного периода (шага) и интервала корреляции шероховатости поверхности.обраСпособ осуществляют следующимом. На оптическую поверхность напр учок когерентного излучения под остр ния и расширение информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости и за счет определения еще и характерного периода и интервала корреляции шероховатости поверхности. Предварительно на базе контролируемой поверхности создают планарный оптический волновод. Пучком света иэ свободного пространства возбуждают основную моду волновода, после чего производят измерение основных и вспомогательных параметров волновода. По индикатриссе рассеяния света определяют спектральную плотность шероховатости поверхности, по углу возбуждения основной моды определяют характерный период (шаг) и интервал корреляции шероховатости, а по рассеянной мощности определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности. лом к неи, падающего излучения и ховатости, П лируемой и оптический в лучения изм основной м угол р, изме сти рассеян от угла расс лучают инд рой опреде плоскости По максима плоскости и ределяют в затем измеряют интенсивность и рассеянного от поверхности определяют параметры шероредварительно на базе контрооверхности создают планарный олновод. Острый угол падения иэеняют до момента возбуждения оды в пленке, затем фиксируют ряют зависимость интенсивно- ного излучения основной моды еяния в плоскости падения, поикатриссу рассеяния, по котоляют функцию спектральной шероховатости поверхности. льному значению рассеянной в адения мощности излучения опеличину среднеквадратичного1620831 лны источн где А- длинаизлучения;(о) д(о) 2 Формула изобретени Способ определ ватости оптическоия параметров шеро- поверхности, заклюСоставитель Л.ЛобзоТехред М.Моргентал едактор Н.Го ректор А.Осаулен Заказ 4237 ВНИИПИ Гос Тираж; . Подписнотвенного комитета по изобретениям и откры 113035, Москва, Ж, Раушская наб 4/5 ям при ГКНТ СССР роизводственно-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород. ул.Гагарина, 1 отклонения поверхности, а по углу у определяют характерный период д ) и интервал В корреляции шероховатостей поверхности, характерный периодЛ) определяют по формуле: эффективный показатель преновной (нулевой) моды;пср - показатель преломления среды, в1 которой определяется угол р падения излучения. Интервал В корреляции шерохова(о)тостей определяют по формуле чающийся в том, что направляют на поверхность пучок когерентного излучения под острым углом к ней, измеряют интенсивность падающего и рассеянного от поверхности излучения и определяют параметры шероховатости, отл и чаю щи йс я тем, что, с целью повышения точности измерения и расширения информативности способа за счет определения функции спектральной плотности шероховатости, наносят на поверхность тонкую диэлектрическую пленку, изменяют угол падения излучения до момента возбуждения основной моды в пленке, фиксируют этот угол у, измеряют зависимость интенсивности рассеянного излучения основной моды от угла рассеяния в плоскости падения, получают индикатриссу рассеяния, по которой определяют функцию спектральной плотности шероховатости поверхности, по максимальному значению рассеянной в плоскости падения мощности излучения определяют величину среднеквадратичного отклонения поверхности, а по углу ропределяют характерный период и интервал корреляции шероховатостей поверхности.