Обрадович

Номер патента: 1700359

Опубликовано: 23.12.1991

Авторы: Буянов-Уздальский, Обрадович, Солодухо

МПК: G01B 11/30

Метки: анизотропной, высот, изделия, квадратического, неровностей, отклонения, поверхности, среднего

...с шириной, равной ширине отВерстия в маске, и длиной, меньшей длины Отверстия в маске на величину диаметра зеркально отраженного пучка,Именно предлагаемая форма отверстий в маске и шторках и смещение оптической оси объектива относительно зеркального вправления обеспечивают, согласно способу, измерение интегральных диффузных потоков вблизи плоскости падения и тем ,самым достижение цели. Это позволяет сде,лать вывод, что предлагаемый способ и уст,ройство связаны между собой единымзамыслом.На Фиг.1 изображена принципиальная схема устройства, реализующего предложенный способ; на фиг.2-4 - конфигурация маски и подвижных шторок; на фиг.5 и 6 - условно показаны взаимное расположение отверстий в маске и подвижных шторах в их 1 и П положениях...

Номер патента: 1582004

Опубликовано: 30.07.1990

Авторы: Буянов-Уздальский, Обрадович

МПК: G01B 11/30

Метки: изделия, параметров, поверхности, рефлектометрический, шероховатости

...поток Рэ при каждомзначении длины 21 волны излучения измеряют фотоприемником 3, подключенным к электронному блоку 1, а часть30диффузного потока, рассеянного вплоскости падения в малом телесномугле 1163 под углом бср к нормали поверхности 6 изделия, измеряют при каждомзначении 21 фотоприемником 4, подключенным к электронному блоку 1, Телесный угол Ь(д определяется расстоянием.от освещенного участка поверх,ности до диафрагмы э, установленнойгперед фотоприемником 4, и диаметром40диафрагмы 5Значение рассеянного потока, деленное на телесный угол Ьд),дает интенсивность излучения 1(в 1,6),рассеянного под углом бср. В электронном блоке 1 при каждом значении 1измеряется (с учетом телесного угла307 и чувствительности фотоприемников)...

Номер патента: 1262280

Опубликовано: 07.10.1986

Авторы: Обрадович, Попов, Солодухо

МПК: G01B 11/30

Метки: параметров, поверхностей, сверхгладких, шероховатости

...а также ловушку 13 зеркально отраженного от изделия излучения.Способ измерения осуществляется следующим образом. Монохроматический параллельный пучок от источника 1 излучения, пройдя через модулятор 2, поляризатор 3, ослабители 4 интенсивности, диафрагму 5 и бленду 8, падает на поверхность измеряемого изделия 6, установленного на вращающемся столике 7. Поворотом столика 7 устанавливается угол ф падения излучения. Приемник 10 излучения имеет возможность поворачиваться в плоскости падения так, чтобы измерять отраженный поток излучения 1(0) под различными углами отражения Й, отличными от зеркального, так как при этом имеется возможность измерять индикатрису рассеяния в плоскости падения.При отражении от шероховатой поверхности изделия 6,...

Номер патента: 1067350

Опубликовано: 15.01.1984

Авторы: Обрадович, Попов, Солодухо

МПК: G01B 11/30

Метки: изменения, поверхности, шероховатости

...9,попадает на приемник 10 излучения и регистрируется электронным блоком 11 обработки сигналон, При этом подвижныешторки б и 7 вдвинуты, а шторка 5выдвинута (фиг. 2). Затем привдвинутых подвижных шторках 5 и 7 ивыднинутой подвижной шторке б (фиг.3)регистрируется поток излучения, прошедший через внутреннее кольцевоеотверстие в маске 4. После чего,выдвинув подвижную шторку 7 и вдвинув шторки 5 и б (фиг. 4), регистры"руется поток излучения, прошедший через крайнее кольцевое отверстие вмаске 4, По отношению потоков иэлуЦель изобретения - повышение точ ности и чувствительности измерения.Указанная цель достигается гем, что устройство для измерения шероховатости поверхности, содержащее последовательно расположенные на одной 65...

Номер патента: 987381

Опубликовано: 07.01.1983

Авторы: Обрадович, Попов, Солодухо

МПК: G01B 11/30

Метки: параметров, поверхностей, рефлектометр, сверхгладких, шероховатости

...под углом 8, отличным от угла В зеркального отражения, и под углом 9, отличным от углов 8 и 8, нейтральные светофильтры 13- 15, электронно-измерительный блок обработки сигналов, включающий селективный нановольтметр 16, переключатель 17, блок 18 интерфейсных плат и микропроцессор 19, зеркало 20.Рефлектометр работает следующим образом.ЗОПучок монохроматического излучения,выходящий иэ лазера 1, модулируетсямодулятором, представляющим собойжидкокристаллическую .ячейку 2 с поляризатором 3, и оптической системой 5 З 5направляется под острым углом 91 наизмеряемую поверхность, Отраженное втрех направлениях излучение, пройдя через нейтральные светофильтры 13-15,попадает на приемники 7-9 излучения 40с диафрагмами 10-12, расположеннымив...

Номер патента: 868347

Опубликовано: 30.09.1981

Авторы: Обрадович, Попов, Солодухо

МПК: G01B 11/30

Метки: поверхностей, полированных, рефлектометрический, шероховатости

...и общий отраженный от поверхности изделия световой поток 1 О Л , по отношениям (1 Э + +д 1 )Л /1, и (1 + Ь)Л / ), судят о среднем квадратическом отклонении и об интервале корреляции высот неровностей.0СпоСоб может быть реализован с помощью серийно выпускаемых спектрофотометров с интегрирующей сферой типа СФи СФ.На чертеже представлена принципи альная схема спектрофотометра.Спектрофотометр содержит монохроматор 1 и интегрирующую схему 2, которая включает ловушку 3, заслонку 4, приемник 5 излучения и регистри рующее устройство 6.Способ осуществляется следующим образом.Контролируемое изделие 7 располагают в окне интегрирующей сферы 2, освещают поверхность изделия 7 с помощью монохроматора 1 монохроматическим излучением по крайней мере з...

Номер патента: 324489

Опубликовано: 01.01.1972

Авторы: Ахремчик, Голод, Никитин, Обрадович

МПК: G01B 11/255

Метки: автоколлимационный, кривизны, поверхностей, радиусов, сферических, сферометр

...ес це оа кривизиы с прсдмстиой плоскости обьг изооражсиия копцов итри:;ов сетки р." 30 ся в разиь 1 с стороны. Шторка 15 пГ25 30 35 перемещении перекрывает штрих сетки, при этом в цепи фотоприемников 12 и 13 возникает электрический ток. В случае совпадения концов штрихов сетки в электронный блок И с фотоприемников поступают совпадающие по времени электрические импульсы, и индикаторное устройство 17 покажет поль. Если совпадение концов штрихов сетки отсутствует, то в электроннын блок 14 поступят не совпадающие по времени электрические импульсы, и индикаторное устройство покажет значение, отличное от нулевого. Для отсечения электрических импульсов, возникающих при обратном ходе шторки 15, перед ней устанавливают обтюратор 18, выполненный в...