Устройство для измерения давления в электровакуумном приборе

;ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМПРИ ГКНТ СССР 21) 4475470/24-2122) 21,06.8846) 07.08.90. Бюл.2971) Рязанский радиотехнический институт72) В. А. Коротченко н В. Э. Скворцов53) 621,521(088.8)56) Авторское свидетельство СССРй 656126, кл. Н 01 3 9/42, 1976.54) УСТРОЙСТВО ДЛ Я ИЗМЕ РЕНИ ЯДАВЛЕНИЯ В ЭЛЕКТРОВАКУУМНОМ11 РИ БОРЕ(57) Изобретение относится к вакуумметрииможет быть использовано при измерениидавления в электровакуумных приборах. Целью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности. Устройство содержит источник 1 накала катода, источник 3 ускоряющего напряжения, клемму 4, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, клемму б, управляемый запоминающий вольтметр 7, источник 8 смещения катода, клемму 9, управляемый интегратор 0 электронного тока, компараторы 1 и 12, интегратор 13 ионного тока, Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить производительность. 1 з.п.ф-лы, 1 ил,1583994 10 15 20 формула изобретения Составитель Ю, ЯреськоРедактор А. Шандор Техред А. Кравчук Корректор С. ЧерниЗаказ 2258 Тираж 398 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиямпри ГКНТ СССР113035, Москва, Ж - 35, Раушская наб д, 4/5Производственно-издательский комбинат Патент, г. Ужгород, ул. Гагарина, 10 Изобретение относится к вакуумметрии и может быть использовано при измерении давления в элекровакуумных приборахЦелью изобретения является повышение чувствительности измерений путем увеличения помехозащищенности. На чертеже представлена блок-схема устройства.Устройство содержит источник 1 накала катода 2, источник 3 ускоряющего напряжения, соединенный с клеммой 4 для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок 5 компенсации фонового тока, вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр 7 и источник 8 смещения катода, первый вывод которого соединен с клеммой 9 для подключения катода. Второй вывод источника 8 смещения катода соединен с измерительным входом управляемого интегратора 1 О электронного тока, выход которого соединен с входами первого компаратора 11 и второго компаратора 12. Выход первого компаратора 11 соединен с управляющим входом управляемого запоминающего вольтметра 7, измери-, тельный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 13 ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой 6 для подключения анода прибора. Управляющие входы интеграторов 10 и 13 ионного и электронного токов и управляемого блока 5 компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора 12, вход которого соединен с выходом управляемого интегратора 10 электронного тока,Управляемый блок 5 компенсации фонового тока включен в цепь обратной связи управляемого интегратора 13 ионного тока.Устройство работает следующим образом.На электроды прибора подают ускоряющее напряжение от источника 3 и напряжение смещения катода от источника 8. Появляющийся при этом в цепи анода фоновый ток автоматически компенсируется при помощи блока 5 компенсации фонового тока. Включают источник 1 накала катода. Как только в некоторый момент времени электронный ток превысит значение порога срабатывания второго компаратора 12, на выходе компаратора 12 вырабатывается сигнал, включающий интегратор 10 электронного тока и интегратор 13 ионного тока и память блока 5 компенсации. Порог срабатывания второго компаратора 12 выбирается на несколько порядков ниже номинального значения электронного тока, поэтому ионный 25 30 35 ао 45 50 ток в первоначальный момент времени прак-. тически отсутствует, и в блоке 5 компенсации фиксируется только значение фонового тока. По мере накопления зарядов интгра торами 10 и 13 напряжение на их выходах растет, После того, как в следующий момент времени выходное напряжение интегратора 1 О электронного тока превысит порог срабатывания первого компаратора 11, на его выходе формируется импульс, включающий память вольтметра 7, регистрирующего накопленный интегратором 13 ионного тока заряд.Таким образом, мерой давления в устройстве является заряд ионов, полученный в результате прохождения через прибор фиксированного электронного заряда.Устройство позволяет увеличить чувствительность при измерении давления в приборах и, как следствие, повысить производительность. 1. Устройство для измерения давления в электровакуумном приборе, содержащее источник накала катода, источник ускоряющего напряжения, соединенный с клеммой для подключения управляющего электрода прибора, управляемый блок компенсации фонового тока, вход которого-соединен с клеммой для подключения анода прибора, управляемый запоминающий вольтметр и источник смещения, первый вывод которого соединен с клеммой для подключения катода, отличающееся тем, что, с целью повышения чувствительности измерений, второй вывод источника смещения соединен с измерительным входом управляемого интегратора электронного тока, выход которого соединен с входами первого и второго компараторов, при этом выход первого компаратора соединен с управляющим входом управляемого запоминающего вольтметра, измерительный вход которого соединен с выходом управляемого интегратора ионного тока, измерительный вход которого соединен с клеммой для подключения анода прибора, а управлякщие входы интеграторов ионного и электронного токов и управляемого блока компенсации фонового тока соединены с выходом второго компаратора; вход которого соединен с выходом управляемого интегратора электронного тока.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в цепь обратной связи управляемого интегратора ионного тока включен управляемый блок компенсации фонового тока.