153975
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 153975
Текст
ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯАВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ дписная группа М 9 Пресс, И. В. Каменский, И. К. Санин и В. Н. ЧудаковСВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНОЕ ПОКРЫТИЕ Заявлено 30 ноября 1961 г. за М 713762/26-9в Комитет по делам изобретений и открытий прп Совете Министров СССР изобретений н товарных знаков8 3 г. Бюллетен Опубликова Известное светочувствительное покрытие, используемое при фотолнтографическом способе защиты поверхности кремниевых полупроводниковых приборов от напыления металла при изготовлении контактов вакуумным напылением проводящего слоя на незащищенные участки поверхности прибора и последующего вплавления напыленного слоя, не обеспечивает возможности изготовления контактов при повышенных температурах вплавления.Предлагается светочувствительное покрытие (фторезист), в состав которого входят кремнийорганический лак К, толуол и политетрафурилоксисилан, взятые в объемном отношении 1:1:0,04. Такое покрытие термоустойчиво при температуре до 700, что позволяет применять его в качестве защитной маски при изготовлении контактов на кремниевых полупроводниковых приборах при повышенных температурах вплавления,Светочувствительное покрытие (вязкость порядка 15 сек) наносят на поверхность пластины кремния с помощью центрифуги(150 - 200 об)мин) и высушивают под инфракрасной лампой, Далее пластина экспонируется в течение 15 лин под ультрафиолетовой лампой, расположенной на расстоянии 12 слт, через стеклянный шаблон с повторяющимся рисунком требуемой конфигурации и проявляется в толуоле 10 иин, После сушки в течение 30 мин под инфракрасной лампой пластину помещают в напы. лительную камеру и нагревают до нужной температуры (400 - 700), после чего производят напыление.После напыления и вплавления пленки металла заданной толщины пластину опускают на 10 мин в плавиковую кислоту для снятия фото- слоя. Оставшиеся участки металла имеют четко очерченную заданну 1 о конфигурацию.Ло 153975 Предмет изобретения Составитель Ю. И. Теснек Корректор А. фомин Редактор Л. И. Колыбина Тереп Т, П. Курико 11 оди. к печ 1 О/-63 г. Формат бум. 70 Х 108, Объем 0,18 изл. л.Заказ 1371 1 ираж 1200 Цена 4 кои.ЦН 11 ИГ 111 Государстьениого комитета ио делам изобретений и открытий СССРМосква, Центр, проезд Серова, дом 4.Еиржачская типография отдела издательств и полиграфической промышленностиВладимирского областного Управления культуры,Светочувствительное покрытие, используемое при фотолитографическом способе защиты поверхности полупроводникового прибора от напыления металла при изготовлении контактов вакуумным напылением проводящего слоя ца незащищенные участки поверхности прибора и последующего вплавлеция напыленного слоя, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, для обеспечения возможности изготовления контактов на кремниевых полупроводниковых приборах указанным способом при повышенцыхтемцературах вплавления (до 700), в его состав входят кремцийорганиче. ский лак К-,толоул и полцтетрафурило 1(сисилац в объемном соотношении 1:1:0,04,
СмотретьЗаявка
713762
МПК / Метки
МПК: C09D 183/04, H01L 21/027, H01L 21/312
Метки: 153975
Опубликовано: 01.01.1963
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-153975-153975.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">153975</a>