Патенты с меткой «153975»

Номер патента: 153975

Опубликовано: 01.01.1963

МПК: C09D 183/04, H01L 21/027, H01L 21/312 ...

Метки: 153975

...вплавления,Светочувствительное покрытие (вязкость порядка 15 сек) наносят на поверхность пластины кремния с помощью центрифуги(150 - 200 об)мин) и высушивают под инфракрасной лампой, Далее пластина экспонируется в течение 15 лин под ультрафиолетовой лампой, расположенной на расстоянии 12 слт, через стеклянный шаблон с повторяющимся рисунком требуемой конфигурации и проявляется в толуоле 10 иин, После сушки в течение 30 мин под инфракрасной лампой пластину помещают в напы. лительную камеру и нагревают до нужной температуры (400 - 700), после чего производят напыление.После напыления и вплавления пленки металла заданной толщины пластину опускают на 10 мин в плавиковую кислоту для снятия фото- слоя. Оставшиеся участки металла имеют...