Раствор для химического меднения диэлектриков

/40 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТН А ВТОРСНОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ И с СУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИИ ГКНТ СССР(71) Институт хииии АН МССР(54) РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО МЕДНЕ1 ИЯДИЭЛЕКТРИКОВ(57) Изобретение относится к химич Изобретение относится к химическому нанесению металлических, в частности медных,покрытий на поверхность диэлектриков и может быть использовано в радиоэлектронике при создании межслойных металлизированных переходов, токопроводящих элементов на печатных платах и др.Целью изобретения является повышение скорости меднения.Готовят раствор для химического меднения, содержащий, г/л: сульфат меди, ентагидрат 25-50; тартрат калия-натрия, тетрагидрат 90-150; гидроксид натрия 35-45, формалин (40 Е- ный) 15-30; тиосемикарбазон 3-формилсалициловой кислоты (ТСК-ФСК) 0,01- 0,02,кому нанесению металлических, в частности медных, покрытий на поверхностьдиэлектриков. Цель изобретения - повьппение скорости иеднения, Согласноизобретению меднение ведут в растворе, содержащем, г/л; сульфат иеди(пентагидрат) 25-50; тартрат калиянатрия (тетрагидрат) 90-150; гидроксид натрия 35-45; формалин (40 Х-ный)15-30, стабилизирующая добавка тиосемикарбазон 3-фориилсалициловой кислоты 0,01-0,02. Введение в состав раствора укаэанной стабилизирующей добавки позволяет повысить скорость меднения до 13-20 икм/ч при комнатной температуре. При этом раствор стабилен6 иес, может иногократно корректироваться, обеспечивает получениеплотных, мелкокристаллических, равноиерных медных покрытий. 1 табл. ТСК-ФСК имеет следующие хкую и структурную формулы: Навески компонентов растворяют в дистиллированной воде, а ТСК-ФСК готовят по известной методике с последующим растворением в 0,17.-ном растворе гидроксида натрия. Рабочий раствор получают последовательно добавляя к 1 М раствору тартрата калия- натрия раствор сульфата меди, далее при перемешивании 5 М раствор гидро1520143 90-150 35-45 15-30 Данные рараметров раствора Параметры раствора Предлагаемый1 2 3 4 50 50. 5 1 О 10 7 О 4 а 21 О55зо0,025 45 45 28 28 15 15 0005 0,01 21 О55зо0,02 25060зо0,02 150 15045 45 15 ЗО0,01 0,02 903515О,О 1 212015О,О 1 1254 О15О,О 1 6 6 7-8Ппот 19-20 19-20Светло-розовое 19-20 Плот 18-19Плотное 6-7Плот" 1 з Плот"ное Плотное Неоднородное Не ное,светноемелконое,светлосплощное розо- вое розовое ло-розовое кристаллическое оксида натрия, растворы ТСК-6 ГК и формалина.0 браэцы из диэлектрика, например платы 50 х 100 мм, вырезанные из двухстороннего стеклотекстолита со сквозными отверстиями, обезжиривают этанолом, сенсибилизируют и активируют по стандартной методике, после чего погружают в раствор для химического ,меднения и проводят процесс при 20 С, рН раствора 12,8 (оптимальная величина), плотности загрузки 2,0 - 2,5 дм /л, перемешивании раствора и покачивании образцов. 15Конкретные составы растворов и полученные результаты представлены в таблице.При предлагаемых концентрациях компонентов (примеры 1-4) получают 20 плотные, иелкокристаллические, равномерно розового или светло-розового цвета, эластичные, без вздутий покрытия как на поверхности, так и в отверстиях со скоростью 13-20 мкм/ч 25 при комнатной температуре. При повышении температуры скорость медненияо увеличивается, в частности при 35 С она составляет 28-30 мкм/ч (пример 3) . Увеличение степени загрузки ванны до 5 дм /л не оказывает заметного элия 2ния на параметры процесса меднения.Предлагаемый раствор обеспечивает ф по сравнению с известными увеличение Компоненты, Г/лсульФат меди, пентагидрат 25тертрат калилнатрия, тетрагидратгидроксид натрия407.-ный формалинтСК-Э-ФСКСвойства:стабильность раствора,мес 6скорость осаялеиияпокрытия, ики/чкачество покрытия в 2-5 раэ скорости меднения при комнатной температуре. При этом растворсохраняет реально необходимую стабиль-ность, может быть многократно использован при соответствующих корректировках по расходуемым компонентам,не требует дополнительной фильтрациипосле внесения стабилизатора, обеспечивает высокое качество получаемыхпокрытий. Формула изобретения Раствор для химического меднения диэлектриков, содержащий сульфат меди, тартрат калия - натрия, гидроксид натрия, 40%-ный формалин и, серосодержащую стабилизирующую добавку, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения скорости меднения, в качестве стабилизирующей добавки он содержит тиосемикарбазон 3-Ьормилсалициловой кислоты при следующем соотношении компонентов, г/л:Сульфат меди, пента"гидрат 25-50Тартрат калиянатрия, тетрагидратГидроксид натрия40%-ный формалинТиосемикарбазон3-формилсалициловойкислоты 0,01-0,02 При запредельнык концентрациях2 Э 4 5