Вакуумный сорбционный насос
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Номер патента: 1460407
Авторы: Захарченко, Фуголь
Текст
(И 4 Р 04 В 37/02 тер вал мым нстит Фугол о СССР 1985 Н ОСуменьшитобъема папазу 2ель 3 гетГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТНРЫТИЯПРИ ГННТ СССР(57) Изобретение позволяезагрязнение откачиваемогорами геттера. В продольнокорпуса 1 размещен испари а, По оси корпуса 1 установлен4. Корпус 1 выполнен охлаждаеи снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера. Пазы 2 выполнены цилиндрическими. Испарители 3 размещен по их оси. Вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской за" слонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1. Конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и тем самым развитую рабочую поверхность. 1 ил.1460407 Изобретение относится к области вакуумной техники, а именно к конструкциям сорбционных вакуумных насосов с распыпяемыми геттерами.Цель изобретения - уМеньшение загрязнения откачиваемого объема парами геттера.На чергеже представлена схема насоса. 10Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1 с продольным пазом 2, размещенный в пазу 2 испаритель 3 геттера и установленный по оси корпуса 1 вал 4. Корпус 1 выполнен охлаждаемым и снабжен дополнительными пазами 2 с размещенными в них испарителями 3 геттера, причем каждый паз 2 выполнен цилиндрическим и испаритель 3 размещен по егооси, а вал 4 снабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещения плоской заслонкой 5, перпендикулярной радиусу корпуса 1.Насос работает следующим образом. 25Заслонка 5 перемещается в положение, при котором . она полностью закрывает один из пазов 2. Испаритель 3 геттера в этом пазу 2 включается, и на поверхность паза 2 наносится слой сорбирующего покрытия. После завершения цикла напыления покрытия заслонка 5 перемещается путем поворота вала 4 в положение, где она перекрывает другой паз 2. Сорбирующая поверхность паза 2, в котором 35 было произведено напыление, включается в работу, поглощая газы, поступающие в полость корпуса 1. Такимобразом, попеременно происходит возобновление сорбирующего покрытия навнутренней поверхности охлаждаемогокорпуса 1, причем благодаря циклическому процессу напыления в условиях отделения напыпяемой эоны отполости корпуса 1 исключается попадание паров геттера в откачиваемыйобъем. Кроме того, конфигурация поверхности пазов 2 обеспечивает равномерность напыления геттера и темсамым развитую рабочую поверхность. Формула и э обретения1 Вакуумный сорбционный насос, содержащий корпус с продольным пазом,размещенный в пазу испаритель геттера и установленный по оси корпусавал, о т л и ч а ю щ и й с я тем,что, с целью уменьшения загрязненияоткачиваемых объемов, корпус выполнен охлаждаемым и снабжен дополнительными пазами с размещенными в нихиспарителями геттера, причем каждыйпаз выполнен цилиндрическим и испаритель размещен по его оси, и валснабжен установленной на нем с возможностью радиального перемещенияплоской заслонкой, перпендикулярнойрадиусу корпуса,Составитель В.Кряковкин Редактор Н.Тупица Техред Л,Сердюкова Корректор В.Гирняк.Заказ 520/40 Тираж 520 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 Производственно-издательский комбинат "Патент", г.ужгород, ул. Гагарина, 101
СмотретьЗаявка
4253432, 01.06.1987
ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НИЗКИХ ТЕМПЕРАТУР
ЗАХАРЧЕНКО ЮРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, ФУГОЛЬ ИРИНА ЯКОВЛЕВНА
МПК / Метки
МПК: F04B 37/02
Метки: вакуумный, насос, сорбционный
Опубликовано: 23.02.1989
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1460407-vakuumnyjj-sorbcionnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Вакуумный сорбционный насос</a>
Предыдущий патент: Электромагнитный компрессор
Следующий патент: Регулируемый экран
Случайный патент: Всесююзная iпаотно-.: -кг-: •б •— г7 1. 1. г л ••1dj. -t4j, c-i. асшиватель