Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей и устройство для его осуществления

СО)ОЗ СО 8 ЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 119) (11) 42 4 С 01 В 9/021 ТЕНИЯ ЬСТВУ ГОСУДАРСТ 8 ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИ ПИСАНИЕ И АВТОРСКОМУ СВИДЕ(56) Авторское свидетельство СССР М 554467, кл. О 01 В 9/02, 1977.СЬапоЬа 8., Чйсгап Т., Чейап К. - ОрС 1 К, 1983, ч.64, У 2, рр.171-175. (54) ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫЙ СПОСОБ ИЗМЕРЕНИЙ ОТНОСИТЕЛЬНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДИФФУЗНО ОТРАЖАР)ЩИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЕГО ОСУЩЕСТВЛЕНИЯ(57) Изобретение относится к измерительной технике. Целью изобретения является повьппение точности и производительности измерений путем увеличения отношения сигнал/шум. Пучком когерентного излучения от лазера 1 посредством делителя 2 и зеркала 4 освещают диффузно отражающие повности 7 и 8 и отраженное от них излучение направляют в плоскость фоторегистратора 5, Для устранения непосредственного попадания на него излучения, минуя зеркало 4, перед зеркалом 4 установлена полуволновая пластинка 3, а между делителем 2 и фоторегистратором 5 -поляризационныйанализатор 6. Путем поступательногои вращательного:перемещения зеркала4 совмещают спекл-поля отраженногоизлучения до исчезновения регулярныхинтерференционных полос внутри покрайней мере одного из спеклов. Посредством фоторегистратора 5 определя- Яют интенсивность светового потока,проходящего через поперечное сечениеэтого спекла, и по полученным даннымопределяют относительное перемещение.1 ил.1374042 Тираж 680 Подписное ВНИИПИ Заказ 562/36 Произв.-полигр. пр-тие, г, Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения относительныхперемещений двух диффузно отражающихобъектов,Целью изобретения является повышение точности и производительности измерений путем обеспечения возможности увеличения входного окна фо- Оторегистратора до размеров спекласуперпозиционного спекл-поля,чтоприводит к увеличению отношения сигнал/шум.На чертеже представлена оптическая схема устройства для осуществления способа.Устройство содержит последовательно расположенные по ходу лучалазер 1, делитель 2 пучка, полуволновую пластину 3 и зеркало 4, установленные с возможностью поступатель.,ного перемещения вдоль лазерного луча и регулирования угла его наклона, фоторегистратор 5, установленныйс возможностью перемещения в своейплоскости, и поляризационный анализатор 6 между делителем 2 и фоторегистратором 5,Пучок когерентного излучения от лазера 1. с помощью делителя 2 направляется на диффуэно отражающие поверхности 7 и 8. Отраженное от поверхностей излучение совмещают в плоскости фоторегистратора 5. Ири этом для устранения попадания на фоторегистратор 5 излучения, отраженного поверхностью 8, минуя зеркало 4, осуществляют развязку излучения путем 40 прохождения его через полуволновую пластину 3 и поляризационный анализатор 6, ориентация оптической оси которого соответствует максимальному пропусканию линейно поляризованного 45 излучения от лазера 1. Затем путем поступательного перемещения зеркала 4 вдоль лазерного пучка и его наклона осуществляют совмещение спеклструктур Отраженного излучения до ис чезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере. одного из спеклов и посредством фоторегистратора 5 регистрируют интенсивность светового потока,.проходящего через поперечное сечение этогоспекла, по которой измеряют относительные перемещения диффуэно отражающих поверхностей 7 и 8. Формула изобретения 1, Интерференционный способ измерений относительных перемещений диффузно отражающих поверхностей, зак" лючающийся в том, что освещают поверхности когерентным излучением, осуществляют пространственное совмещение отраженных этими поверхностями спекл-полей и в плоскости совмещения Регистрируют интенсивность суммарного спекл-поля,.по которой определяют относительные перемещения поверхностей, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, совмещение спекл-полей осуществляют до исчезновения регулярных интерференционных полос внутри по крайней мере одного из спеклов, а регистрацию интенсивности производят по потоку излучения, проходящему через поперечное сечение этого спекла.2. Интерференционное устройство для измерений относительных перемещений диффуэно отражающих поверхностей, содержащее последовательно расположенные лазер и делитель пучка и фоторегистратор, о т л и ч а ю щ е - е с я тем, что, с целью повышения точности и производительности измерений, оно снабжено последовательно размещенными за делителем по ходу одного иэ разделенных пучков полуволновой пластиной.и зеркалом, установленным с возможностью поступательного перемещения вдоль лазерного пучка и регулирования угла его наклона, и по" ляризационным анализатором, расположенным между фоторегистратором и делителем, а фоторегистратор установлен с возможностью перемещения в своей плоскости.