Устройство для измерения перемещений поверхности объекта

.,801011505 СОЮЗ СОВЕТСКИХсаицаюпниснииРЕСПУБЛИК ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ В 11 О АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ ЬСТВУ ОРСКОМУ С(21) 3374217/25-28 ОБЪЕКТА, содеркащее поспедомтельно (22) 29.12.81 расположенные вдоль оптической оси ла- (46) 15.04.83. Бюп. М 14 зер, расширитель излучения, светодели (72) А.К. Полонин, Н.Т.Квасов. тель, первый и второй плоские отражатеи .А. Корешков ли, светофильтр, первый попяриза:ионный (71) Минский радиотехнический институт . элемент, третий плоский отражатель, (53) 531.781,2 (088.8) . регистратор, второй щаяриэационный еле (56) 1. Кольер Р., Беркхарт КПин Л. мент и четвертый плоский отражатель, . Оптическая голография, М., "Мир, 1973, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, а с. 200. целью повышения точюсти измерений,2. Голография. Под ред. В.М,1 инзбурга. оно снабжено оптичеаам диффузором, М., ".Советское радио, 1974, с. 34-35 сферическим отражателем и фокусирую- (прототип) . щей линзой, распоажэнными последом (54)(57) УСТРОЙОТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕ- тельно между регистратором и вторым НИЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ПОВЕРХНОСТИ полярнэапионным элементом. сСФ1011505 1 гИзобретение относится к измерению щей линзой, расположенными последова, деформаций объектов голографическим ме- тельно между регистратором и вторым тодсм. поляризационным алементом,Известно устройство для измерений На чертеже изображена схема преддеф а Й поверхности объекта содер 5 лагаемого устройства. жащее последовательно Расположенные Устройство содержит последовательно вдоль оптической оси лазер, затвор, све- Расположенные вдоль оптической оси ла тоделитель, зеркало, расширитель излу зер 1 Расширитель 2 излучения, свето чения и регистратор 11, делитель 3, первый плоский отражательНедостатком этого устройства являет О 4 е второй плоский отражатель 5, свето . ся то, что в нем нельзя устанавливать фильтр 6, первый поляриэационный алер а в опорном и обь мент 7, третий плоский отражатель 8, ектном пучках Из-еа того, что в нем от- Регистратор 9, оптический диффуэор 10, сутствуют поляризационные алементы, сферический отражатель 11, фокусирующуюНаиболее близким к изобретению яв линзу 12, второй поляризацнонный элеляется устройство для измерений пере- мент 13 и четвертый плоский отражамещений поверхности объекта, содержащее тель 14. Между сферическим отражатепоследовательно расположенные вдоль лем 11 и фокусирующей линзой 12 по- оптической оси лазер, расширитЕль из- мещен исследуемый объект 15. лучения, выпопненный в виде оптической 20 Устройство работает следующим об системы, светодэлитель первый и второй Разсм.плоские отражатели, светофильтр, первый На регистраторе 9 методом двойной поляризационный алемент, третий плос- экспозиции регистрируется голографикий отражатель, регистратор, второй по- ческая интерферограмма исследуемого ляриэационный элемент и четвертый 25 .объекта 3.5. Для этого на регистраторе плоский отражатель 2 ) 9 фиксируются две голограммы объектаНедостатком известного устройства в двух состояниях - в исходном и деявляется то, что оно не обеспечивает формированном. При атом повышение чув. высокой точности измерения перемеще- ствительности в предложенном устройстве ний поверхности объектов иэ-аа малой . ЗО достигается пУтем фокусировки объектной ",чувствительности, вызванной большой дли- волны излучения фокусирующей линзой 12 ной волны используемого излучения. и последовательным переотражением ееБель изобретения - повышение точнос- контролируемым объектом 15 и сферити .измерений. ческим отражателем 11 на регистратор 9.Укаэанная цель достигается тем, что З 5 ПРИ этом пространственное смещение устройство для измерения перемещений объектной волны, переотраже иной иссле поверхности объекта, содержащее последо дуемым объектом 15, усиливается при вательно расположенные вдоль оптической переотражении сферическим отражателем оси лазер, расширитель излучения, свето. и ато усиление тем больше, чем делитель, первый и второй плоские отра. 4 р больше кривизна поверхности сферическожатели, светофильтр, первый пзляриэаци- го отражателя 11 . оиный алемент, третий плосжий отража- ИзобРетение позволяет повысить точтель, регистратор, второй поляризацион,- ность опРеделения перемещений поверх-ный алемент и четвертый плоский отража ностей зеРкально отражающих объектовтель, снабжено оптичежим диффузором, 45 за счет применения более совершеннойсфврнческим отражателем и фокусирую- схемы измерения.Составитель Б.- Евстратов Редактор А. Химчук Техред ВЛалекорей Корректор Ю,МакаренкоЗаказ 2665/23 Тираж 460 ПодписноеВНИИПИ Государственного комитета СССРпо делам изобретений и открытий113035, .МоскваЖ, Раушская набд. 4/5Филиал ППП "Патентф, г. Ужгород, ул. Проектная, 4