Устройство для измерения перемещений поверхностей по нормали

Номер патента: 1274028

Опубликовано: 30.11.1986

Авторы: Денисюк, Добролеж, Клименко, Мен

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном

...устройство работает врефлекторном режиме, т,е. с замкнутой цепью обратной связи. 25При изменении потенциала образца,например, в сторону отрицательныхзначений энергетический спектр вторичных электронов смещается в область более высоких энергий. При этом 30уменьшается глубина высокочастотноймодуляции потока электронов и, соответственно, уровень переменной составляющей сигнала на выходе энергоанализатора. Связанное с этим умень- З 5шение числового значения кода АЦП 11по сравнению с опорным ведет в результате работы цифрового процессора1.: к появлению на выходе ЦАП 13 управляющего сигнала обратной связи, 40который с помощью схемы 14 сравненияизменяет величину постоянной состав-ляющей напряжения задержки на анализирующем электроде 5, смещая...

Номер патента: 1058006

Опубликовано: 30.11.1983

Авторы: Ракитин, Трубин, Циунелис

МПК: H01J 37/26

Метки: микроскопе, поверхности, потенциала, растровом, электронном

...тем,что устройство для измерения потенциала поверхности в РЭМ, содержащееэнергоанализатор,включающий вытяги-вающий и анализирующий электроды, исцинтилляционный преобразовательс фотоэлектронным умножителем, соединенным с одним из входов схемысравнения, выход которой соединенс входом задающего генератора, аляющая.с ФЗУ с определенным коэффициентом, определяемым делителем 13. Принеравенстве сигнала с выпрямителя 10и опорногЬ выходного сигнала схемасравнения регулирует уровень постоян 5 ной составляющей потенциала задержки .на электрод 5 таким образом, чтобывосстановилось равенство сравниваемыхсигналов,Перед началом работы устройство10 измерения настраивается следующимобразом. При разорванной обратнойсвязи и потенциале образца 3 и...

Номер патента: 1778820

Опубликовано: 30.11.1992

Авторы: Бухараев, Губайдуллин, Назаров

МПК: H01L 21/66

Метки: исследования, микроскопом, поверхности, твердого, тела, туннельным

...иглы, реальный профиль которой зеркально отражен в плоскости, перпендикулярной направлению сканиро-.вания.Если при сканировании с помощью иглы обеспечивается туннельный контакт со всеми точками исследуемой поверхности, то предлагаемый способ обеспечивает полную реконструкцию реальной поверхности при произвольной форме, иглы, в частности:а) в случае, когда кончик иглы имеетсферическую форму;б) в случае несферической иглы, но имеющей симметричную форму;в) в случае несферической иглы, имеющей к тому же несимметричную форму.На фиг. 1 представлена блок-схема устройства, реализующего способ. Выход сканирующего туннельного микроскопа (СТМ) 1 связан с входом инвертора 2, который через аналого-цифровой преобразователь (АЦП) 3 соединен со...

Номер патента: 1837158

Опубликовано: 30.08.1993

Авторы: Греблер, Фрейберг

МПК: G01B 21/00

Метки: вдоль, микроскоп, оптической, оси, сканированием

...и дифракцией.Изобрегение более подробно поясняется с помощью чертежей: фиг. 1 показывает упрощенное схематическое изображение хода лучей растрового микроскопа, с конфокальным ходом лучей и г-сканированием, с устройством согласно изобретению; на фиг.1 а - устанавливаемую глубину фокуса к 1,г, в объекте и фиг. 2 и 3 - дальнейшие предпочтительные формы выполнения представленного на фиг. 1 основного варианта. Фиг. 1 показывает упрощенное схематическое изображение хода лучей, а также расположение существенных элементов растрового микроскопа, Созданный и испущенный точечным источником света 1 световой пучокпосле прохождения через первую оптическую систему 2, состоящую минимально из одной линзы/группы линз, попадает на объект 6. Под...

Номер патента: 1281970

Опубликовано: 07.01.1987

Авторы: Ляпина, Плотникова, Хафизова

МПК: G01N 1/28

Метки: изучения, металла, микроскопом, оптическим, оттисков, поверхности

...и подготавливают смесьдля заливки шлифа,В качестве материала для приготовления смеси используют пластмассу холодного отверждения на основе акри-латов,Порошок - мелкодисперсный окрашен. 35ный полимер метилового эфира метакриловой кислоты, пластифицированныйв процессе полимеризации дибутилфталатом или фталатами высших спиртов,содержащий в качестве инициатора полимеризации перекись бензоила (1,41,57) и в качестве наполнителя мел(35-407)Жидкость;. стабилизированный метилметакрилат, содержащий в качестве ак 45тиватора диметилпаратолуидин 1,0-1,27.Для определения оптимального соотношения компонентов и жидкости готовят составы с различным соотношениемкомпонентов.Порошок смешивают сжидкостью, тщательно перемешивают в емкости, например в тигле,...