Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей

ОЮЗ СОВЕТСНИХОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИК А 1 19) ц 4 ь О 1 В 9/02 11/2 АНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 3 уманаМ.Романов8) л тоды конских повроение,хиос76,андии Н,С. Расчетинтерференционнономических эеркал. -КОНТРОЛЯ СФЕРИЧЕС ОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬ(56) Пуряев Д.Т. Моптических асферичтей, - М,: Машиносс. 192-212,Пуряев Д,Т., Шкомпенсатора дляго контроля астроОМП, 1982, Р 12, с(54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ ФОРМЫ ВОГНУТЫХ ОПТИЧЕСКИХ А КИХПОВЕРХНОСТЕЙ(57) Изобретение относится к измерительной технике и предназначено .для использования в оптическом производстве при контроле формы вогнутых оптических асферических поверхностей, например главных зеркал телескопов. Цель изобретения " упрощениеконструкции интерферометра, повышение производительности и точности контроля. Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей содержит последовательно расположенные источник 1 монохроматического излучения, телескопическую систему состоящую из линз 2 и 3, светоделитель 4, за которым в одной ветви расположено плоское зеркало 5, а в другой - объектив б, и регистратор 7 интерференционной картины.Объектив б рабочей ветви выполнен в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, Внутри обеих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фокусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плос- ( ковогнутой.линзы, Плоская поверхность плосковогнутой линзы использу- Я ется нри настройке интерферометра для правильной установки объектива 6 и в рабочем режиме для создания эталонного волнового фронта. 1 ил.1368623 ВНИИПИ Заказ 273/38 Тираж 680 Подписное Произв,-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул Проектная, 4 Изобретение относится к измерительной технике и предназначено дляиспользования в оптическом производстве при контроле формы вогнутыхоптических асферических поверхностей,например главных зеркал телескопов.Целью изобретения является упрощение конструкции интерферометра,повышение производительности и точности контроля за счет выполненияобъектива рабочей ветви в виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз,упрощения процесса установки объектива в заданное положение при на гблюдении сплошной юстировочной интерференционной картины и уменьшениявлияния децентрировок элементов рабочей ветви на результаты контроля.На чертеже показана принципиальная схема интерферометра и ход лучейв нем.Интерферометр содержит источник 1монохроматического излучения, телескопическую систему для создания параллельного пучка лучей, состоящуюиз линз 2 и 3, светоделитель 4 дляразделения излучения на две ветви,плоское зеркало 5, установленное водной ветви, объектив 6, установленный в другой рабочей ветви, и регистратор 7 интерференционной картины,Объектив 6 рабочей ветви выполненв виде плосковогнутой и двояковыпуклой линз, установленных так, что35плоская поверхность плоскбвогнутойлинзы. обращена к светоделителю 4,Внутри этих линз обеспечен параллельный ход параксиальных лучей благодаря тому, что задний фокус плосковогнутой линзы совмещен с передним фо-.кусом той выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы,. которая обращена квогнутой поверхности плосковогнутой 45линзы,Интерферометр работает следующимобразом,Лучи света, выходящие из источника 1 монохроматического излучения,поступают в телескопическую систему,состоящую иэ линз 2 и 3, которая уменьшает расходимость пучка и увеличивает его диаметр. Далее пучок света проходит сквозь светоделитель 4, падает на эталонную поверхность 8 объектива 6 и делится на два пучка. Лучи света, отраженные от поверхности 8, образуют эталонный пучок, который после отражения от светоделителя 4 поступает н регистратор 7 интерференционной картины,Лучи света, прошедшие через объектив 6, образуют рабочий пучок. Эти лучи падают на контролируемую поверхность 9 по нормалям к ней. Отразившись от нее, лучи проходят через объектив 6 в обратном направлении, отражаются от светоделителя 4 и поступают в регистратор 7 интерференционной картины. Интерференционная картина возникает в результате взаимодействия эталонного и рабочего пучков. Зеркало 5 используется для юстировки интерферометра и для Проверки качества светоделителя 4. В рабочем режиме зеркало 5 в образовании интерференционной картины не участвует. формула изобретения Интерферометр для контроля формы вогнутых оптических асферических поверхностей, содержащий последовательно .установленные источник моно- хроматического излучения, телескопическую систему и светоделитель для разделения излучения на две ветви, плоское зеркало, установленное в одной ветви, объектив, установленный в другой ветви, и регистратор интерференционной картины, о т.л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью упрощения конструкции интерферометра, повышения производительности и точности контроля, объектив выполнен в виде плосковсгнутой и двояковыпуклой линз, установленных так, что плоская поверхность плосковогнутой линзы обращена к светоделителю, а ее задний фокус совмещен с передним фокусом выпуклой поверхности двояковыпуклой линзы, которая обращена к вогнутой поверхности плосковогнутой линзы.