Система компенсации угловых смещений объекта для двухлучевых интерференционных измерителей перемещений
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
(19) (И) АОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕНИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ юл, 945икладной физики СССР980.УГЛОВЫХВЫХПЕРЕГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(71) Институт прАН БССР(54)(57) СИСТЕМА КОМПЕНСАЦИИСМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА ДЛЯ ДВУХЛУЧЕИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙМЕЩЕНИЙ, содержащая оптическую фокусирующую систему., расположенную в объектном пучке интерферометра, о т л и ч а ю щ а я с я тем,что, с целью повьдпения точностиизмерений, она снабжена линзой изеркалом, фокусирующая система ори-.ентируется таким образом, что ее оп-,тическая ось располагается под уг"лом относительно объекта, линзаразмещается по ходу излучения, отра"жаемого от объекта, на расстоянии,равном ее фокусному расстоянию, азеркало устанавливается за линзойперпендикулярно ее оптической оси.Заказ 7553/38 Тираж 650 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д.4(5Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 1Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объектов, параметров вибраций и т.п,Цель изобретения - повышение точности измерений.Система компенсации угловых смещений объекта для двухлучевых интерференционных измерителей перемещений содержит оптическую фокусирующую систему 1, расположенную в объектном пучке интерферометра, собирающую линзу 2, располагаемую по ходу излучения, отражаемого от объекта 3 на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию, и плоское зеркало 4, расположенное перпендикулярно оптической оси линзы 2, а фокусирующая система 1 ориентируется,таким образом, что ее оптическая ось располагаемтя под углом относительно объекта 3.Устройство работает следующим образом.Объектный. пучок интерферометра падает на оптическую фокусирующую систему 1, которая фокусирует излучение на поверхности объекта 3. Излучение отражается от объекта 3 196686 2, и падает на линзу 2. Так как линза 2 расположена на расстоянии от объекта 3, равном ее фокусному расстоянию, то после линзы 2 распространяется параллельный пучок излучения. При угловых смещениях объекта происходят наклоны пучка излучения, падающего на линзу 2.При этом параллельный пучок.излучения, распространяющийся после линзы 2, перемещается параллельно самому себе. Он падает на зеркало 4 и отражается им в обратном направлении на линзу 2, затем отражается объектом 3 в направлении, обратном направлению излучения объектного пучка. Таким образом, при угловых смещен ниях объекта 3 отраженный от негопучок распространяется в направлении, обратном направлению падающего на него объектного пучка, независимо от угловых смещений, 2 З Повышение точности компенсации угловых смещений объекта вызывает повышение точности измерений, производимых интерференционным измерителемперемещений.
СмотретьЗаявка
3620578, 11.07.1983
ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ АН БССР
АРАНЧУК ВЯЧЕСЛАВ МИХАЙЛОВИЧ, ДРИК ФЕДОР ГРИГОРЬЕВИЧ, ЗУБКО СЕРГЕЙ АЛЕКСЕЕВИЧ, КАРПОВ ВЛАДИМИР ЕВГЕНЬЕВИЧ
МПК / Метки
МПК: G01B 11/00
Метки: двухлучевых, измерителей, интерференционных, компенсации, объекта, перемещений, смещений, угловых
Опубликовано: 07.12.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1196686-sistema-kompensacii-uglovykh-smeshhenijj-obekta-dlya-dvukhluchevykh-interferencionnykh-izmeritelejj-peremeshhenijj.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Система компенсации угловых смещений объекта для двухлучевых интерференционных измерителей перемещений</a>
Предыдущий патент: Автоматизированный гониометр
Следующий патент: Способ определения деформаций цилиндрических оболочек
Случайный патент: Многофазный контактный аппарат