Раствор для травления стекла

Номер патента: 1366489

Авторы: Жагиро, Живнов, Сватенко

ZIP архив

Текст

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИХРЕСПУБЛИК 50 4 С 03 С 15 00 ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ кл е ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТ(71) Минский радиотехнический институт(56) Авторское свидетельство СССР В 457673, кл, С 03 С 15/00, 1970.Заявка Японии Ф 47-6310,21 В 33, 1972.(54) РАСТВОР ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ СТЕКЛА(57) Изобретение относится к технологии оптоэлектронных приборов и можетбыть использовано для селективноготравления стекла по отношению к прозрачным проводящим пленкам 1 пОи 1 пО.ЯпО. Цель изобретения состоит в повышении селективности по отношению к пленке 1 п О:ЯпО. Раствор.для травления стекла содержит, г/л;ИН Р. 50-820; Н РО( 15, 14-75,7; водаостальное. Скорость травления термического Я 10 2-45 нм/мин, а селективность по отношению к 1 п О,ЯпО-120-300 раз, 1 табл.1366489 Компонент, показатель Составгз45 400 400 50 820 820 15,14 75,7 60,5 60,5 75,7 Н,РО,До 1 л До 1 л До 1 л До 1 л До 1 л Скорость травления термического ЯО , нм/мин 30 30 3,5 Селективность, раз 140 300 120 200 300 Составитель Г.Мурашова Техред И. Верес Корректор М,Демчик Редактор Н.Киштулинец Заказ 6764/22 Тираж 425 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграФическое предприятие, г,ужгород, ул,Проектная,4 Изобретение относится к технологии оптоэлектронных приборов и может быть использовано для селективного травления стекла по отношению к про зрачным проводящим пленкам типа 1 п О и 1 п 0 :ЯпО.Цель изобретения - повышение селективности по отношению к пленке 1 п О .ЯпО 10Для составления растворов используют деиониэованную воду марки "А", фтористый аммоний и ортофосфорную кислоту марки х.ч., Пленки 1 п 0:ЯпО на кремниевой подложке получают рас пылением в среде кислорода низкого давления с использованием металлической мишени, содержащей, мас.7: 1 п 95, Яп 5Толщина пленок 80 нм. Для получе ния термического ЯО (кварцевое стекло) используют термическое окисление кремниевых подложек. Толщина термического окисла 0,3-0,8 мкм. Применяют также пленки пиролитического стекла (фосфор-силикатные). В используемых растворах они травятся в 4,5 - 5 раз быстрее, чем термический окисел. Травление контролируют по изменению и исчезновению интерференционных цветов пленок.Изобретение поясняется на конкретных примерах, которые приведены в таблице. Технико-экономическими преимуществами изобретения являются ускорение технологического процесса, упрощение его контроля и повышение выхода годных в производстве изделий оптоэлектроники. Формула изобретения Раствор для травления стекла, включающий фтористый аммоний, фосфорную кислоту и воду, о т л и ч а ю - щ и й с я тем, что, с целью повышения селективности по отношению к плен-. ке 1 п ОфЯпО, он содержит указанные компоненты в следующем соотношении, г/л:ИН Р 50-820 Н РО 15, 14-75, 7 Вода Остальное

Смотреть

Заявка

4070097, 22.05.1986

МИНСКИЙ РАДИОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ

ЖАГИРО ПАВЕЛ ВИКТОРОВИЧ, ЖИВНОВ ВЛАДИМИР АНДРЕЕВИЧ, СВАТЕНКО ПАВЕЛ ГРИГОРЬЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: C03C 15/00

Метки: раствор, стекла, травления

Опубликовано: 15.01.1988

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1366489-rastvor-dlya-travleniya-stekla.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Раствор для травления стекла</a>

Похожие патенты