Живнов

Номер патента: 1366489

Опубликовано: 15.01.1988

Авторы: Жагиро, Живнов, Сватенко

МПК: C03C 15/00

Метки: раствор, стекла, травления

...И. Верес Корректор М,Демчик Редактор Н.Киштулинец Заказ 6764/22 Тираж 425 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5Производственно-полиграФическое предприятие, г,ужгород, ул,Проектная,4 Изобретение относится к технологии оптоэлектронных приборов и может быть использовано для селективного травления стекла по отношению к про зрачным проводящим пленкам типа 1 п О и 1 п 0 :ЯпО.Цель изобретения - повышение селективности по отношению к пленке 1 п О .ЯпО 10Для составления растворов используют деиониэованную воду марки "А", фтористый аммоний и ортофосфорную кислоту марки х.ч., Пленки 1 п 0:ЯпО на кремниевой подложке получают рас пылением в среде кислорода низкого...