Устройство для переноса образцов в вакууме

СОЮЗ СОВЕТСКИСОЦИАЛИСТИЧЕСНРЕСПУБЛИК 1324 4 В 25 1 1/О ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕН ВТОРСКОМУ С ЕЛЬСТ рукторско-техно альной электро- приборостро и3 ь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ(71) Специальное констлогическое бюро специники и аналитическогоения СО АН СССР(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕНОСА ОБРАЗЦОВ В ВАКУУМЕ(57) Изобретение относится к областмашиностроения и может быть использовано в устройствах манипуляторов,работающихв вакууме, Цель изобретения состоит в расширении технологических воэможностей за счет увеличения хода штока, повышения точности его перемещения и обеспечения жесткости фиксации при его максимальномвылете, Устройство содержит корпуск которому герметично присоединенываккумные рабочие камеры 4,5, разделенные сверхвысоковакуумным клапаном6. В корпусе и камерах установленыролики 2, 3 направляющих узлов, покоторым перемещается обойма 1 О, Вобойме с возможностью вращения размещен шток 8, на одном конце которого расположен держатель образцов 9,а другой установлен в поворотной опоре 7, имеющей возможность перемещения вместе со штокам в корпусе 1,Магнит 12, установленный с возможностью вращения и перемещения относительно корпуса, и магнитопровод 11образуют магнитный привод штока, Всдвижения магнита 2 передаются штокуЗаказ 3003/13 Тираж 952 Папи сна е БЦИИПИ Гасударственного комитета СССР па делам изобретений и открытий 113035, Москва, )К, Раушская наб д. 4/5Праэвадственна-полиграфческае предприятие, г. Ужгород, ул, Проектная, 4 Изобретение относится к мапицастраению в частцаст к устрайствям манипуляторов, работающих в вакууме,Цель изобретения - расширение технологических ваэмакностей за счет увеличения хода штока, повышения точности ега перемещения и обеспеченияжесткости фиксации при его максимальном вылете,11 аставленная цель достигается тем,что устройство снабжено дополнительными направляющими, а шток установленс возможностью вращения в обойме,при этом шаг между направляющими, которые установлены на элементах вакуумного объема по ходу штока, меньшедлины обоймы,Иа чертеже показано предлагаемоеустройство, продольный разрез,Устройство для переноса образцовв вакууме содержит корпус 1, ролики2 и 3 направляющих узлов, вакуумныерабочие камеры 4 и 5, сверхвысоковакуумный клапан 6, поворотную опору7, шток 8, держатель 9 образцов,обойму 10, магнитоправад 11 и постоянный магнит 12,Ролики 2 и 3 установлены в корпусе 1 и вакуумных камерах, Шток 8 передним концом через обойму 10 опирается на ролики 2 и 3, а задний егаконец установлен в поворотной опоре7, имеющейваэмажость перемещениявместе са штокам в ;.арпусе 1Магнит 12 совместна с магцитопровадам 11 образует магнитный привод,При любам перемещении или вращениимагнита 12 синхронна ему перемещается либо вращается шток 8,Устройство работает следующим образом,Крайнее заднее папажецие штока(ца чертеже) - исходное полажение,При перемепеции магнита 12 впередобойма 1 О прокатывается па роликам2 и 3 и переходит ца ролики следующей направляющей и т,д, Величина перемещения штока ранна длине корпусаВ связи с тем, что длина обоймы10 больше шага между направляющими,обойма 1 О не выходит из контакта сроликами 2 и 3 при любом положении10 и постоянно находится на двух разнесенных опарах, при этом опорная базапочти не изменяется и остается такойже, как и в исходном положении, Держатель 9 образцов совместно со што 15 ком 8 соверпает движения синхронно смагнитным приводом,1 Формула из обре т ения20 Устройство для переноса образцовв вакууме, содержап;ее корпус, выполненный в виде трубы, герметично соединенной с вакуумной камерой, шток,25 установленньпй в направляющей, расла"ложенной внутри корпуса, магнитныйпривод вращения и линейного переме щения штока, выполненный в виде постоян-,ного магнита, расположенного накорпусе,ЗО с вазможностью линейного перемещенияи вращения, и магнитопровода, закрепленного на штоке, о т л и ч а ю -щ е е с я тем, чта, с целью расширения технологических возможностей,ана снабжено дополнительными направляющими, установленными в корпусе ив вакуумной камере, и обоймой, рас-положенной в этих направляющих свозможностью линейного перемещения,40 а шток установлен в обойме с возможностью вращения, причем расстояниемежду дополнительными направляющимименьпе длины обоймы,