Устройство для перемещения в вакууме

СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСНИХРЕСПУБЛИН ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ В ВАКУУМЕ(57) Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для перемешения деталей электро- вакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме методом переноса и др. областях, Устроиство позволяет повысить долговечность и иагрузочную способность оборудоЯО 14150 1 А 1 би 416 К 31 50 Е 16 Н 25 22 вания. Для этого гайки имеют зубья на наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним допопнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеюшей на наружной поверхности зубья, обойма расположена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек, Промежуточные элементы установлены с возможностью врашения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми штоками. Элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с одной из планок. 1 з.п.ф-лы, 4 ил.15001 10 15 20 25 Формула изобретения 30 35 40 45 50 14Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к конструкции устройств для поступательного перемещения деталей в вакууме, и может быть использовано в микроэлектронике, электровакуумном производстве для перемещения деталей электро- вакуумных и фотоэлектронных приборов в вакууме методом переноса и других областях.Цель изобретения - повышение долговечности и нагрузочной способности устройства.На фиг. 1 показано предлагаемое устройство, продольный разрез; на фиг. 2 - вид А на фиг. 1; на фиг. 3 - вид Б на фиг. 1; на фиг. 4 - разрез В - В на фиг. 1.Устройство имеет корпус 1, в основании которого смонтированы две и более направляющие 2, скрепленные на противоположных концах фланцев 3. Фланец 3 и основание корпуса 1 снабжены опорами 4 качения с вращающимися планками 5 с полуосями, на которых симметрично продольной оси смонтированы два или более резьбовых штока 6, взаимодействующих с резьбой гаек 7. Резьбовые штоки 6 имеют резьбу одинакового направления (например, правую резьбу) и установлены внутри дисков 8. Гайки 7 через промежуточные опоры 9 качения и диски 8 с опорами качения К соединены с обоймой 10, на которой устанавливают перемещаемую деталь 11. Обойма 10 снабжена зубьями, выполненными на ее внутренней поверхности, и направляющими втулками 12, выполненными из неметаллических материалов (например, на основе керамики), охватывающими направляющие 2. Вращающиеся планки 5 с полуосями соединены через муфту 13 с ведомым звеном 14. Последнее выполнено в виде цилиндрического ротора с зубьями по его наружной поверхности, смонтированного на шарикоподшипниках 15 в вакуумном объеме, Ведущее звено 16 выполнено в виде охватывающего звено 14 толстостенного стакана (статора) с зубьями по его внутренней поверхности, смонтированного на шарикоподшипниках в корпусе 1 привода. Ведомое 14 и ведущее 16 звенья имеют одинаковое число зубьев. В зазоре между звеньями 14 и 16 расположен один элемент 17 герметизации - неподвижная герметичная немагнитная обечайка толщиной 0,5 мм в виде цилиндрического экрана с донышком, Элемент 17 уплотняется относительно плиты корпуса 1 прокладкой 18. Снаружи ведущего звена 15 установлена неподвижная электромагнитная катушка 19, а соединение звена 16 с электродвигателем 20 привода осуществлено с помощью муфты 21. Материалом для изготовления звеньев 14 и 16 служит специальная электротехническая сталь,Устройство для перемещения в вакууме работает следующим образом.При включении электромагнитной катушки 19 и электродвигателя 20 привода 1 вращение передается через муфту 21 ведущему звену 16 привода 1. Магнитный поток, создаваемый неподвижной электромагнитной катушкой 19, замыкается через зубья ведущего 16 (наружного) и ведомого 14 (внутреннего) звеньев, образуя своего рода их сцепление. При этом магнитный поток, создаваемый катушкой 19, заставляет вращаться ведомое звено4 синхронно ведущему звену 6. Ведомое звено 14, находящееся в рабочем пространстве вакуумной камеры, вращается в подшипниках 15 и через муфту 3 передает вращение резьбовым штоком 6, скрепленным планками 5 с полуосями, При их вращении витки резьбы штоков 6, находящиеся в за цеплении с внутренней резьбой гаек 7, обкатываются по ее внутренней поверхности и перемещают гайку 7 и установленные на ней промежуточные опоры 9 качения, диски 8 и обойму 10 с опорами качения К и с деталью 11 в направлении продольной оси устройств, совпадающей с осью делительной окружности зубчатого венца, нарезанного на внутренней поверхности обоймы 1 О. 1. Устройство для перемещения в вакууме, содержащее корпус с направляющими, эксцентриковую обойму, внутри которой размешена гайка, взаимодействующий с последней резьбовой шток, соединенный с корпусом посредством промежуточных элементов, и элемент герметизации, отличающееся тем, что, с целью повышения нагрузочной способности и долговечности, гайки имеют зубья на наружной поверхности, а устройство снабжено по крайней мере одним дополнительным, аналогичным основному, резьбовым штоком с гайкой, имеющей на наружной поверхности зубья, обойма размещена симметрично относительно оси корпуса и на ее внутренней поверхности выполнены зубья для взаимодействия с зубьями наружной поверхности гаек, а промежуточные элементы установлены с возможностью вращения вокруг оси обоймы и выполнены в виде планок, жестко связанных с резьбовыми штоками.2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что элемент герметизации выполнен в виде недеформируемого экрана, внутри которого установлено ведомое звено, соединенное с од. ной из планок, 145001пук Сост а в и тел ь Е. Я рная Текред И. Верес Корректор В. Романенк Тираж 784 Подписное сударственного комитета СССР по делам изобретений и от ии 13035, Москва, Ж - 35, Раушская набд. 4/5 венно.полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4