Способ обнаружения дефектов в доменосодержащих эпитаксиальных пленках

(50 4 ИСАНИЕ ИЭОБРЕТЕ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИИ АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ(71) Донецкий физико-технический институт АН УССР(54) СПОСОБ ОБНАРУЖЕНИЯ ДЕФЕКТОВ В ДОМЕНОСОДЕРЖАЩИХ ЭПИТАК СИАЛЬНЬ)Х ПЛЕНКАХ(57) Изобретение относится к области магнитной микроэлектроники и может быть использовано для контроля качества и однородности доменосодержащих монокристаллических эпитаксиальных пленок. Целью изобретения является упрощение способа и повышение его быстродействия. Способ выявления дефектов заключается в следующем. На локальный участок размагниченной пленки воздействуют импульсом магнитного поля смещения, достаточным для полного перемагничивания этого участка. После окончания действия импульса на этом локальном участке происходит формирование либо радиально сходящихся полосовых доменов в случае отсутствия на нем дефектов, либо доменной структуры, в которой на фоне радиально сходящихся полосовых доменов присутствуют радиально-гребенчатые домены в виде чечевицы, в случае наличия дефектов. Дефекты обнаруживают по доменным структурам чечевица на установке, выполненной на базе поляризацнонного микроскопа.Изобретение относится к магнитной микроэлектронике и может быть использовано лля контроля качества и олнородности доменосолержзших монокристдллических эпитдксиальных пленок, применяемых ли я созлдния устройств хранения и перерабгкн информации11 ель изобретения - упрощение способа 1 повышение его Гыстролейсч иия..посоГ обнару кения деектон:дк,ю чаегся в следующема локальный у(5 дсток п,н нки, ндхоля.шейся в рдзчагниченном осгояпии и чею пей лдбиринтную доченнук с г 1 л ктуру, полают магнитное о.че см.11 ия, пе(1- 15 пендикулярное плоскости пленки, с ачпли тулой, величина которой достаточна чля перенолд пленки на локальном учдстк в ндсьпенно чонодоменное) состояние. В реультдте по крдям локального уча ткд Гб;11 уется лоченндя грани д, рд леляющдя 20 .61 чонолоче(нные области с протнвопо ,11 жЫЛ ДНД 5.5 ПЩ М НДМЗГПНЧЕННОСтн.,Ьтел полсч пс пня спичдк т, в резлльтз ЧЕГ РДЗВИВЗСЯ НЕУСтОйЧИПОСтЬ ЛОЧЕН- ной границы, сформированной по краям ,окольного участка. Это приволич к форчировдникч нз нес системы полосовых чз 1 ичпых лочено 5, улчинякцихсл по направ ;с. (1 к, и.рп плнку.ярночу границе лкдль.и го учдсткд о ск чднпи эгого процес СД Н ЛОКД.ЬНОЧ ) сДеть. 1 ЧС Л КаРтнНУ Р 1,ИДЛЬНОХОЛЯЦХСЯ ПО,ОВЫХ ЛОМЕНОВцентром строо середине локального (дсткд ри зли ии леректд нз иссле,счоч учасгк пленки после снятия по.чя смсщения перемдгпичивание пленки обуслдв.пинается двумя олновременно протекаюпили процессами: ростом радиально сходящихся голосовых доменов от границы локального участка н ростом радиа.чьно.гребецковых доменов, рзспростра няюпг 5 хся о г дефекта,служащего центром зародышеобразования внутренней лабиринтной структуры. Процесс перемагничивания заканчивается в месте встречи двух разрастающихся навстречу друг лругу доменных структур. Затем пронзво,гят наблюдение полученной на локальнм участке структуры магнитных доменов с использованием магнитооптического эффекта Фарздея на установке, выполненной нз базе поляризационного микроскопа.Длительность подачи поля смешения должна быть достаточной для полного перемдгничивания локального участка пленки. Обычно достаточно подать прямоугольный импульс поля смещения длительностью- 3 мкс, которое может быть создано с помощью катушки небольшого размера, например с внутренним диаметром 1- 3 мм.Преллзгаемый способ позволяет визуаль 1 о обн дружить дефекты в доменосодержзших пленках, которые обнаруживают себя в виде доменной структуры в форме чечевицы на фоне радиа.чьно сходящихся полосовых доменов, причем для этого испльзуотся простые аппаратные средства, д время наблюдения любого локального учдсткд не ограничено.форму,га изобретенияГ;пособ обнаружения дефектов в доменосодержащих эпитаксиальных пленках, включающий воздействие на локальный участок пленки импульсом магнитного поля смецения, отличаюцийся тем, что, с целью упрогцения способа и повышения его быстродействия, на размагниченную доменосолержарцую пленку подают импульс магнитного поля смещения до полного перемагничивания локального участка пленки и по радиально-гребенчатым доменам в доменной структуре в виде чечевицы на фоне радиально сходящихся полосовых доменов су дят о наличии дефектов.