Турбомолекулярный вакуумный насос

Номер патента: 1302023

Авторы: Демихов, Лубенец, Мешков

ZIP архив

Текст

(19) 19/04 СУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССРО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИИ САНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТ 4 и 5 раэ-. ПП 5 петкачиваеную толщину, и. В ПП 4 31/ ,85 .87 Бюл. Р 13.Э,Бауманаов, В.Д,Лубе лнен ов278 н лот ельство СССР 19/04, 1980. вид04 виде енных орма пообуслов жение ско кл.(57) Изобретение относится к вакной техникестепень сжат оследуюперете(6) 91855 (21) 39807 (22) 28.10 (46) 07.04 (7) МВТУ (72) К.Е.Д и В.А.Мешк (53) 621. 5 (56) Автор В 918552,и позволяет повыситьия насоса. Ротор 2 по речными перегородками (ПП)делен на ряд ступеней (С).ред каждой четной по ходу омого газа С имеют переменуменьшающуюся к их перифериперед каждой нечетной С выпрадиальные прорези 6 и на уПП,4 в зазоре расположены упщие элементы, выполненные вконических выступов 7, обращвершинами к оси корпуса 1. Фверхностей ПП 5 и выступовливает преимущественное отрмолекул газа в направлении пщей С, что снижает обратныеки газа. 2 ил.130202Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям турбомолекулярных вакуумных насосов и является усовершенствованием изобретения по авт.св. 918552.5Цель изобретения - повышение степени сжатия насоса.На фиг, представлен насос с двухсторонней конусностью уплотняющих О элементов, продольный разрез; нафиг.2 - то же, с одноеторонней конусностью уплотняющих элементов,Турбомолекулярный вакуумныи насосн 5 содержит корпус 1 и размещенный в нем с зазором цилиндрический ротор 2. с лопатками 3, расположенными параллельно оси насоса. В роторе 2установлены поперечные перегородки 20 4 и 5, разделяющие его на ряд ступе - ней, причем в перегородках 4 перед каждой нечетной по ходу откачиваемого газа ступенью выполняют радиаль 25 ные прорези 6,в зазоре на уровне перегородок 4 с прорезями 6 расположены уплотняющие элементы, а лопатки 3 в четных и нечетных ступенях выполнены с противоположными углами наклона, Поперечные перегородки 3 перед каждой четной ступенью имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы вы 3 2полнены в виде конических выступов 7, обращенных вершинами к оси корпуса .Насос работает следующим образом.Газ из откачиваемого объема поступает в корпус 1 насоса, где молекулы его взаимодействуют с лопатками 3 ротора 2 и получают импульс в направлении откачки. Молекулы, попадающие в пространство между соседними ступенями, соударяются с поверхностями перегородок 5 и выступов 7, причем форма этих поверхностей обуславливает преимущественное отражение ударяющихся молекул газа в направлении последующей ступени и тем самым обеспечивается наименьшее отражение в сторону: предыдущей ступени, что позволяет снизить обратные перетечки газа в насосе и, следовательно, повысить его степень сжатия.Формула изобретенияТурбомолекулярный вакуумный насос по авт.св. 918552, о т л и ч а ющ и й с я тем, что, с целью повышения степени сжатия, поперечные перегородки перед каждой четной ступенью имеют переменную толщину, уменьшающуюся к их периферии, а уплотняющие элементы выполнены в виде конических выступов, обращенных вершинами к оси корпуса.

Смотреть

Заявка

3980731, 28.11.1985

МВТУ ИМ. Н. Э. БАУМАНА

ДЕМИХОВ КОНСТАНТИН ЕВГЕНЬЕВИЧ, ЛУБЕНЕЦ ВЛАДИСЛАВ ДИОМИДОВИЧ, МЕШКОВ ВАЛЕРИЙ АЛЕКСЕЕВИЧ

МПК / Метки

МПК: F04D 19/04

Метки: вакуумный, насос, турбомолекулярный

Опубликовано: 07.04.1987

Код ссылки

<a href="https://patents.su/2-1302023-turbomolekulyarnyjj-vakuumnyjj-nasos.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Турбомолекулярный вакуумный насос</a>

Похожие патенты