Горякин

Способ изготовления сорбционного элемента вакуумного криосорбционного насоса

Загрузка...

Номер патента: 1545007

Опубликовано: 23.02.1990

Авторы: Бакунин, Горякин, Громов, Ждановских, Клоцман, Коэмец, Матвеев, Плотников, Трахтенберг, Штейн

МПК: F04B 37/04

Метки: вакуумного, криосорбционного, насоса, сорбционного, элемента

...СОРБЦИОННОГО ЭЛЕМЕНТА ВАКУУМНОГО КРИОСОРБ-, ЦИОННОГО НАСОСА путем закрепления углеродного адсорбвнта на металлической подложке, о т л и ч а ю щ и й с я тем, что, с целью повышения механических характеристик соединения ад" сорбента с подложкой и улучшения от.- качных характеристик, предварительно напыляютна одну из поверхностей адсорбента слой высокотеплопроводного металла толщиной 15 - 30 мкм, затем слой припоя толщиной 5 - 20 мкм, наносят припой на поверхность подложки, размещают на ней адсорбент и создают механическую нагрузку, а закрепление адсорбента на подложке осу" ществляют путем их нагрева до темпе" ратуры плавления припоя в атмосферели в вакууме с послеем и снятием механинта слой высокотеплопроводного ла толщиной 15-30 мкм,...