Патенты с меткой «дифракционными»

Номер патента: 966491

Опубликовано: 15.10.1982

Авторы: Волков, Герасимов, Ларионов, Мичков, Склянкин

МПК: G01B 11/02

Метки: дифракционными, линейных, объектах, плоских, размеров, структурами, тестовыми, формы, элементов

...фотоприемник установлен с возможйостью поворота вокруг точки пересечения оптической оси и базовой плоскости держателя объекта измерения, плоскость входного окна фотоприемника расположена по касательной к траектории его перемещения.На чертеже изображена принципиальная схема устройства для измерения линейных размеров и формы элементов на плоских объектах с дифракционными тестовыми структурами.Устройство содержит последонательно расположенные на оптической оси источник 1 когерентного света, например квантовый генератор, первую лин 30 зу 2, апертурную диафрагму 3, вторую линзу 4, третью линзу 5, фото" приемник 6 с блоком 7 управления и обработки сигнала и держатель 8 объекта 9 измерения. Фотоприемник б 35 установлен с возможностью...

Номер патента: 1504497

Опубликовано: 30.08.1989

Авторы: Клишина, Лысов, Шац

МПК: G01B 11/02

Метки: дифракционными, линейных, объектах, плоских, размеров, структурами, тестовыми, формы, элементов

...света с помощью зеркала 2 световой пучок направляется насистему 3 формирования пучка, которая формирует в плоскости держателя5 на объекте 17 измерения луч света с.равномерно распределенной интенсив ностью, Каждый модуль (кристалл) объекта 17 измерения содержит тестовую дифракционную решетку, составленную из элементов, подлежащих измерению,Отражаясь от полупрозрачного зеркала 4, световой пучок проходит через диафрагму 7 в эллиптическом зеркале 6 и нормально падает на базовую поверхность держателя 5 объекта измерения, При попадании пучка на тестовую дифракционную структуру в плоскости, перпендикулярной штрихам структуры и базовой плоскости держателя 5, формируется дифракционное изображение структуры,...