Способ получения многослойных заготовок

Номер патента: 1819356

Опубликовано: 30.05.1993

Авторы: Иванковский, Куницин, Меерталь, Остапчук, Стасюк, Фоминых

МПК: H01L 21/302

Метки: кремний-металлосодержащего, многослойных, селективного, слоя, структурах, травления

...подложке, например пластине кремния, создают диэлектрические изолирующие слои, например термически выращенную двуокись кремния (3102, нитрида кремния (3 за), фосфорно-силикатного стекла (ФСС) или их комбинации, на которых формируют кремний-металлсодержащий слой на основе кобальта (Со) и (или) титана (Т) путем, например, совместимого катодного распыления мишени из металла и мишени из кремния с последующим отжигом наносимого слоя, либо в виде металл- кремниевого (кобальт-кремниевого или титан-кремниевого) сплава в виде резистивных слоев типа РС 3000 К(Со - 30, Я 1-707 ь), РС 2310 К (Соь, Т, 3-67) и других, например путем одновременно ионноплазменного распыления их из мишени, с содержанием металла в слое не более 40, после...

Номер патента: 688009

Опубликовано: 07.06.1991

Авторы: Грибов, Попов, Родионов, Тихонов

МПК: C23C 14/14

Метки: металлов, окислов, пленок, ряда, тонких, хромового

...для легколетучих и ском нагревании испарителя давление в ка труднолетучих веществ); Такая ее скоростьпрактически не изменяется, что охлаждениявыдерживаетсявконцепроцеской . указывает на отсутствие перегретых участ.- са получения пленок. При более высоко ков и слаб ю десорбцию реактивных газов, скорости выхода на режим увеличивается Посколь степень дегазации технологиче- концентрация испаряемого вещества и ре-.ской оснастки зависит от интенсивности ее 20 активных газов, в результате чего образует- прогревания,предложенныйспособисклю- ся рыхлая крупнозернистая структура чает возможность образования перегретых пленки, которая трудно залечивается после- участков, Иэ результатов измерения темпе- дующими слоями. Таким образом,...

Номер патента: 1099840

Опубликовано: 23.06.1984

Авторы: Александер, Петер

МПК: C03C 3/16

Метки: защитного, образования, печи, слоя, стекло

...состава, нес,Ъ: 5 РО 45-80; А 03 8-25; Я 10 1-30 2),Однако указанйые стекла образуют глазурь на огнеупорах и могут пре- дотвратить их раэъедание только в атмосфере, не содержащей КС. ИзвестО ное фосфатное стеклов системы Р,О АФ 0- Б 10 не образует с теклофазы; которая совместима с фазами Я 10 и муллитом, и не может применяться дл я аутоген ного образ онани я глазури на огнеупорах т,е. срок службы огнеупоров н случае их применения невысок (примерно 0,5-1 г) . от разъедания, Содержание каждогокомпонента шихты, применяемой дляполучения описываемого стекла, находится на диаграмме,Только указанный состав стеклаобеспечивает аутогенное образованиеглазури, защицаюцей кирпич от разъедания. При большем содержании Б 10происходит образование...

Номер патента: 26753

Опубликовано: 30.06.1932

Автор: Катунский

МПК: H01C 17/16

Метки: высокоомных, образованных, платины, слоем, сопротивлений, тонким, электрических

...электрического тока не достигнет желательной величины. По достижении последней процесс подогрева прекращают и удаляют с поверхности остатки не восстановленной солиСогласно этому способу на концах фарфоровой трубки наносится довольно толстый слой платины, являющийся контактным, После осаждения этого слоя фарфоровая трубка подвергается нагреванию до определенной температуры., и затем (в горячем виде) на мгновение погружается в платиновый раствор очень слабой концентрации. При этом проис. ходит мгновенное высыхание приставшего к трубке слоя раствора. После этого фарфоровую трубку помещают в особую печь и ее концы, где уженанесен кон тактный слой, включают в цепь постоянного тока (более высокого напряжения, чем то, при котором...

Номер патента: 65140

Опубликовано: 01.01.1945

Автор: Ларю

МПК: H01G 4/06

Метки: веществ, закрепления, конденсатора, металле, например, пластинах, полимеризующихся

...веществ, которы й о беспечивал бы отсутствие в этих последних морщин и трещин, а также малые диэлектрические потери и повышенную механическую прочность.Эти цели достигаются, согласно кзооретению, нанесением на покрысаемый металл промежуточного слоя более мягкого металла, например, баббита, спая Вуда и т. п, Промежуточный слой является как бы связывающим и по нему может как бы скользить наносимый наМ 65140 Фиг. 1 Фиг. 2 редактор Д. А, Михайлов Техн. редактор М. В. Смольякова 43624. Подписано к печати 18/1-1947 г. Тираж 500 экз. Цена 65 коп, Зак Типографии Госплащздата, им. Воровского, г. Калуга него слой полимеризующегося вещества, вследствие чего внутренние напряжения в последнем уменьшаются и он поэтому не трескается и не...