Способ изготовления штриховых мир с помощью электронно оптической системы

Номер патента: 1275583

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Васичев, Горелов, Камунин, Савкин, Смирнов

МПК: H01J 37/244

Метки: коллекторная, микроскопа, растрового, электронного

...может быть откалиброван на величины сигналов на соответ-.ствующих сцинтилляторах по углам наклона площадок микронеровностей, торазличие в величинах сигналов с различных сцинтилляторов или их нулевые значения позволяют получить более точную информацию о топологииобъекта.формула изобретения Изобретение относится к электрон-.но-оптическому приборостроению, вчастности к коллекторным системамэлектронно-зондовых приборов, например электронных микроскопов.Целью изобретения является повышение точности электронно-микроскопического анализа за счет регистрации вторичных электронов по азимутальным направлениям. 0На фиг. 1 показана коллекторнаясистема в электронном микроскопе;на фиг. 2 - то же, вид по электроннооптической оси.Коллекторная...

Номер патента: 150010

Опубликовано: 01.01.1962

Автор: Бахтин

МПК: G01N 23/00, G03B 33/02

Метки: изображения, исследуемого, микроскопа, объекта, позитивов, помощи, цветных, электронного

...производится либо непосредственным введением красителя в препарат объекта, либо при помощи оттенения деталей металлом. При таких способах окрашивания краситель или оттеняющий металл трудно отличить от исследуемого объекта. При более интенсивном окрашивании искажается собственная структура объекта,Предлагаемый способ окраски позитива изображения объекта состо в том, что при одном и том же увеличении элеронного кроскопа получают несколько негативов, причем первый получают с натив- ного препарата, а один или два последующих с того же участка препарата, окрашенного или оттененного металом. Полученные негативы отпечатывают через разные светофильтры на цветную фотобумагу.Применение этого способа окраски позитива изображения объекта...

Номер патента: 503316

Опубликовано: 15.02.1976

Авторы: Лукьянов, Петров, Рай, Спивак

МПК: H01J 37/26

Метки: коллекторная, микроскопа, растрового, электронного

...объективаизолятор 6, изолятор 7,10 электроды 8 и 9 линзы фильтра и светопровод 10 сцинтиллятора,Предлагаемое устройство работает следующим образом.Электронный пучок, сфокусированный объ 15 ективной линзой, попадает на образец 2 (например, полупроводниковый диод с р - и-переходом, на который подается запирающее напряжение Ц и выбивает вторичные электроны. Медленные вторичные электроны ускоря 20 ются электростатическим полем, созданнымвблизи образца сеткой-катодом 3, проходятее и фокусируются полем электростатическойлинзы - иммерсионного объектива, состоящего из электродов 3, 4, 5. Затем они проходят25 линзу-фильтр (на средний электрод 8 этойлинзы подается регулируемое напряжение задержки (7) и попадают на сцинтиллятор,...

Номер патента: 918993

Опубликовано: 07.04.1982

Авторы: Анаскин, Стоянов

МПК: H01J 37/06

Метки: микроскопа, осветительная, сверхвысоковольтного, электронного

...электрического тока через подогреватель 3до 1500-1900 К и эмитирует электроны, которые под действием электрического поля управляющего электрода 4 формируются в электронный пучок. Электронный пучок далее ускоряется. ускорителем б электронов, формируется короткофокусными конденсорными линзами 6 и7 и длиннофокусной конденсорной линзой8 и попадает на обьект. Поскольку эмитирующая поверхность 2 катода 1 имеетплоскую форму, то юстировка осветительной системы значительно упрощается,так как катод необходимо лишь установить параллельно поверхности управляющего электрода 4, что обеспечиваетсяпри монтаже осветительной системы.Такое упрощение юстировки позволяетзначительно уменьп 1 ть габариты катодного узла, исключить из...

Номер патента: 1275585

Опубликовано: 07.12.1986

Авторы: Панкратов, Рыбалко, Тихонов

МПК: H01J 37/28

Метки: зондоформирующая, микроскопа, растрового, электронного

...делам изобретений и открытий113035, Москва, Ж, Раушская наб., д, 4(5 Заказ 6572(48 Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4В 1 12755Изобретение относится к области электронной микроскопии, в частности к системам формирования электронного зонда в растровых электронных микроскопах (РЭМ), 5Целью изобретения является уменьшение времени анализа в РЭМ при упрощении конструкции системы, что достигается за счет компенсации, флуктуаций энергетических параметров зонда, 1 фНа чертеже представлена схема зондоформирующей системы РЭМ.Источник 1 электронов соединен с высоковольтным блоком 2 питания, вы" ход переменной составляющей напряже" ния которого электрически сбединен с магнитопроводом 3 фокуснрующей магнитной...