Коллекторная система растрового электронного микроскопа

".,ЛЯблмтека Гм ЬА ОПИ АНИЕИЗОБРЕТЕН ИЯК АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ а 503316 Союз СоветскихоциалистическиРеспублик(23) ПриоритетОпубликовано 15.02.76, БюллеДата опубликования описания 5923/26(51)М К Н 01,1 Государственныи комитет авета Министров СССР нь Х(О 88.8) по делам изобретений ткрыти 04. 2) Авторы изобретения ов и Г, В, Спивак И. Рау, В. И, Петров,. Л 1) Заявитель Красногоомоносова Московский ордена Ленина намени государственный ун ордена Трудоврситет им. М,(54) КОЛЛЕКТОРНАЯ СИСТЕМА РАСТРОВО ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА 1 бретение относится икроскопии и може струкциях растрово И области электрон- быть использовано электронного микои м в кон роскоИзв па. естны коллекторны ектронного микро с иммерсионным о ром для сбора ме онов, энергетическ потенциалов на п образца.р астровоержащие и линзойторичныхи измеиссл едуе системы скопа, со бъективом дленных ого анали оверхностго элблокфильтэлектрренияемого Недостатк является то стемой созд приводит к нию астигм образец нел так как он объектива. системазца сиое часто увеличерешения, тировать, сионного ом таких коллекторных что на поверхности обр ется сильное поле, котор электрическим пробоям, тизма и ухудшению раз ьзя произвольно ориен является катодом иммер Для обеспечения возможности наблюдения микрополейизмерения энергетических спектров вторичных электронов и потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздействия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего поля предлагаемая система снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являю щейся катодом (предметной плоскостью) иммерсионного об ьектива. 5 На чертеже схематически изображенапредлагаемая коллекторная система и частьмикроскопа, содержащие колонку 1, образец2, сетку-катод 3, электроды 4 и 5 иммерсионного объективаизолятор 6, изолятор 7,10 электроды 8 и 9 линзы фильтра и светопровод 10 сцинтиллятора,Предлагаемое устройство работает следующим образом.Электронный пучок, сфокусированный объ 15 ективной линзой, попадает на образец 2 (например, полупроводниковый диод с р - и-переходом, на который подается запирающее напряжение Ц и выбивает вторичные электроны. Медленные вторичные электроны ускоря 20 ются электростатическим полем, созданнымвблизи образца сеткой-катодом 3, проходятее и фокусируются полем электростатическойлинзы - иммерсионного объектива, состоящего из электродов 3, 4, 5. Затем они проходят25 линзу-фильтр (на средний электрод 8 этойлинзы подается регулируемое напряжение задержки (7) и попадают на сцинтиллятор, нанесенный на торец светопровода 10. Далеесигнал усиливается обычным каналом видеоЗо тракта РЭМ, состоящим из ФЭУ, к которому503316 Формула изобретения Составитель Б. КалинТехред Т. Курилко Корректор Т. Гревцова Редактор И, Шубина.4 аказ 673 16 Изд. 1100 Тираж 977 Подписное ЦНИИПИ Государственого комитета Совета Министров СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская паб., д. 45Типография, пр, Сапунова, 2 подходит светопровод, и видеоусилителя, Изменяя напряжение на сетке 3, можно регулировать напряженность поля на образце, увеличивая напряженность при измерении поверхнс рных потенциалов с большими градиентамн, Меняя потенциал электрода 4, можно фокусировать пучок вторичных электронов на входное отверстие электрода 5 линзы-фильтра. Путем изменения потенциала Уз вручную 11 ли автоматически (подавая пилообразное напряжение) можно снимать кривые задержки, по сдвигу которых определяется разность потенциалов между исследуемыми точками поверхности образца. Анализируя кривыс задержки, можно определить энергетический спектр вторичных электронов, Можно также визуализировать и измерять магнитные микрополя на исследуемых образцах. Коллекторная система растрового электронного макроскопа, содержащая блок с им мерсионным объективом и линзой-фильтромдля сбора медленных вторичных электронов, энергетического анализа и измерения потенциалов на поверул 1 ости исследуемого образца, отличающаяся тем, что, с целью наблю О дения микрополей, измерения энергетическихспектров вторичных электронов и измерения потенциалов на образцах с поверхностной структурой любой сложности, увеличения полезного поля зрения, уменьшения воздей ствия на первичный пучок электронов, регулировки напряженности вытягивающего поля, она снабжена установленной между образцом и анализирующим блоком сеткой, являющейся катодом иммерсионного объектива,