Кислый раствор для химического никелирования
Похожие патенты | МПК / Метки | Текст | Заявка | Код ссылки
Текст
СОЮЗ СОВЕТСКИХСОЦИАЛИСТИЧЕСКИРЕСПУБЛИК 23 С 18/36 ИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИ К АВТОРСКОМУ СВИД":ТЕЛЬСТВУ ия 10-2 нат 20-3 12-1 ГлицинХлорид или сульфат марганца (в пересчете на марганец) О,-0 4 ь ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССРПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ(56) Авторское свидетельство СССРУ 775168, кл. С 23 С 3/02, 1977.Авторское свидетельство СССРВ 429483, кл. Н 01 Ь 21/306, 1970.(54)(57) КИСЛЫЙ РАСТВОР ДЛЯ ХИМИЧЕСКОГО БИКЕЛИРОВАНИЯ, содержащий хло"рид уикеля, гицофосфит натрия, ян в; талраа-кислый натрий и глицин, о т 8011804 личающиися тем, что, с целью повышения адгезии никелевого слоя к кремнию и снижения переходного электрического сопротивления на границе металл - полупроводник, он содержит дополнительно хлорнд или сульфат марганца при следующем соотношении компонентов, г/л:Хлорид никеля 25-35 Гипофосфит катр 0 Янтарно-кислый11 Ь 0404 10 Содержание компонентов раствора, г/л Переходноеэлектрическое соАдгезиямеждупокрытиеми кремнием,кг/см Состав Натрийянтарнокислый Глицин Марганецсолянокислый рН Марганецсериокислый Гипофосфатнатрия Хлорид никеля противление покрытия,Ом см10 1 25 10 20 2 30 15 25 3 35 20 302510 20 5 30 15 25 12 0,03 4,82 137 13,5 0,01 - 4,90 124 0,83 0,76 0,90 0,15 - 4,95 119 0,03 4,85 129 15 0,67 12 4, 92 126 0,78 0,1 13,5 0,70 5,0 131 0,15 6 35 20 30 1,06 108 5,0 15 7 25 25 Составитель В, СкопинцевРедактор Н, Гунько Техред Ж.Кастелевич Корректор М. Пожо Заказ 5855/23 Тираж 899 Подписное ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж, Раушская наб., д. 4/5 ФФилиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4 Изобретение относится к нанесе-, нию металлических покрытий, в частности никелевых, на диэлектрики химическим восстановлением из растворов и может быть использовано нри осаждении контактных слоев никеля на полупроводниковые структуры при изготовлении полупровоДниковых приборов.Цель изобретения - повьппение адгезии никелевого слоя к кремнию и снижение переходного электрического сопротивления на границе металл - полупроводник.Составы опробованных растворов, представленных в таблице, приготовляют последовательным растворением компонентов при перемешивании в подогретой до 50 - 55 С депонизованной воде, взятой в количестве 757. Переходное сопротивление определяют двухзондавым манипулятором по компенсационной мостовой схеме. Прочность сцепления определяют на динамоот номинального объема. После растворения компонентов объем растворадоводят до заданного и необходимоезначение рН устанавливают с помощьющелочи и янтарной кислоты.Проводят никелирование кремниевых структур, в качестве которыхвыбирают силовые диоды В-320 сдиаметром пластины 30 мм. Время никелирования составляет 4,5-5,0 мин.Толщина никелевого покрытия, определенная с помощью высокочастотногоиндуктивного измерителя типа ВИТИ-ЗП,составляет при этом 2,0 - 2,6 мкм,а средняя скорость осаждения 0,46 -0,52 мкм/мин,Составы использованных растворови полученные характеристики покрытий 2 О приведены в таблице,метрической разрывной установке путемотрыва припаянных к покрытию медныхпроводов с фиксированной площадьюспая.
СмотретьЗаявка
3538893, 10.01.1983
ВСЕСОЮЗНЫЙ ЭЛЕКТРОТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. В. И. ЛЕНИНА
ПИНЧУК ЯКОВ МОИСЕЕВИЧ, ЗАЙЦЕВ ВЛАДИМИР ЯКОВЛЕВИЧ, РЮМШИН ВЛАДИМИР МИХАЙЛОВИЧ, МИНКОВ ЕФИМ ИСАКОВИЧ
МПК / Метки
МПК: C23C 18/36
Метки: кислый, никелирования, раствор, химического
Опубликовано: 23.09.1985
Код ссылки
<a href="https://patents.su/2-1180404-kislyjj-rastvor-dlya-khimicheskogo-nikelirovaniya.html" target="_blank" rel="follow" title="База патентов СССР">Кислый раствор для химического никелирования</a>
Предыдущий патент: Парогазовая смесь для получения покрытий на основе карбида титана
Следующий патент: Способ производства гидролизатов крахмалсодержащего сырья
Случайный патент: Клавишная картонасекальная машина